公开(公告)号：KR102132229B1

公开(公告)日：2020-07-13

申请号：KR1020180109632

申请日：2018-09-13

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  박진우 ,  김두산 ,  이원오

IPC: H01L21/67 ,  H05B3/00 ,  H05H1/46

公开(公告)号：KR102264112B1

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：KR1020190031564

申请日：2019-03-20

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김기석 ,  오종식 ,  김기현 ,  지유진 ,  변지영 ,  박진우 ,  김두산 ,  이원오

IPC: G03F1/62 ,  G03F7/20 ,  H01L29/16 ,  H01L21/324 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027

公开(公告)号：KR102247692B1

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：KR1020200103982

申请日：2020-08-19

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김기석 ,  오종식 ,  김기현 ,  지유진 ,  변지영 ,  박진우 ,  김두산 ,  이원오

IPC: G03F1/62 ,  G03F7/20 ,  H01L29/16 ,  H01L21/324 ,  H01L21/027

Abstract: 펠리클구조체가개시된다. 펠리클구조체는다층그래핀으로형성된그래핀막; 및그래핀막의하부에부착또는결합되고, 가운데부분에상기그래피막을노출시키는관통개구가형성된프레임지지체를구비한다. 그리고프레임지지체는 n-형실리콘(n-type Si) 또는 p-형실리콘(p-type Si)으로형성된실리콘프레임부; 및그래핀막과실리콘프레임부사이에배치되어실리콘프레임부와그래핀막사이의원소확산을방지하는확산방지프레임부를구비한다.

公开(公告)号：KR101932859B1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：KR1020170134023

申请日：2017-10-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김기현 ,  김기석 ,  지유진 ,  박진우 ,  김두산 ,  이원오 ,  송창훈 ,  변지영 ,  오지수 ,  탁현우

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR101939481B1

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：KR1020170095219

申请日：2017-07-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  박진우 ,  김두산 ,  오종식 ,  성다인 ,  지유진 ,  이원오 ,  문무겸 ,  양경채 ,  김기석 ,  오지수 ,  김기현

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/30 ,  H01J37/32