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公开(公告)号：KR101630585B1
公开(公告)日：2016-06-14
申请号：KR1020157008237
申请日：2013-09-16
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D17/06 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/004 , H05K3/007 , Y10T29/49117
Abstract: 제품 (5) 의처리를위한홀딩기기에관한것으로, 상기홀딩기기는제 1 홀딩부 (41) 및제 2 홀딩부 (42) 를포함한다. 제 1 홀딩부 (41) 는제품 (5) 의제 1 측면 (6) 과접촉을형성하기위해적어도하나의제 1 전기접촉요소 (13) 를포함한다. 제 2 홀딩부 (42) 는제품 (5) 의제 2 측면 (7) 과접촉을형성하기위해적어도하나의제 2 전기접촉요소 (14) 를포함하고, 제 2 측면은제 1 측면 (6) 과대향하게놓여있다. 제 1 홀딩부 (41) 와제 2 홀딩부 (42) 는, 제품 (5) 을홀딩하기위해탈착가능하게서로체결될수 있도록배열된다. 제품시일 (15, 16) 과하우징시일 (17) 은, 처리상태에서적어도하나의제 1 전기접촉요소 (13) 및적어도하나의제 2 전기접촉요소 (14) 로유체의침투를방지하도록실링배열체를제공한다.
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公开(公告)号：KR102010731B1
公开(公告)日：2019-08-14
申请号：KR1020197006333
申请日：2017-09-14
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
IPC: H01L21/677 , C23C18/16 , C25D17/00 , C25F7/00 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/306
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公开(公告)号：KR101613406B1
公开(公告)日：2016-04-29
申请号：KR1020157019240
申请日：2013-12-03
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D5/08 , C25D3/38 , C25D7/00 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/06 , C25D17/12
Abstract: 본발명은, 기판상의수직방향갈바닉금속, 바람직하게는구리성막을위한디바이스로서, 상기디바이스는적어도제 1 디바이스요소및 제 2 디바이스요소를포함하고, 디바이스요소들은수직방식으로서로평행하게배치되고, 상기제 1 디바이스요소는복수의관통도관들을갖는적어도제 1 애노드요소및 복수의관통도관들을갖는적어도제 1 캐리어요소를포함하고, 상기적어도제 1 애노드요소및 상기적어도제 1 캐리어요소는서로확고하게연결되고, 상기제 2 디바이스요소는처리될적어도제 1 기판을수용하도록되어있는적어도제 1 기판홀더를포함하고, 상기적어도제 1 기판홀더는처리될상기적어도제 1 기판을수용한후에그의외부프레임을따라처리될상기적어도제 1 기판을적어도부분적으로둘러싸고, 상기적어도제 1 디바이스요소의상기제 1 애노드요소와상기제 2 디바이스요소의상기적어도제 1 기판홀더사이의거리가 2 내지 15 ㎜인, 디바이스에관한것이다. 또한, 본발명은일반적으로, 그러한디바이스를사용하여기판상에수직방향갈바닉금속을성막하기위한방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于垂直电镀金属沉积在诸如晶片（优选铜）的衬底上的器件，其中该器件包括以彼此平行的垂直方式布置的第一器件元件和第二器件元件，其中 第一装置元件包括第一阳极元件和第一载体元件，它们都具有多个贯穿导管并彼此牢固地连接; 并且其中所述第二装置元件包括适于接收至少第一待处理基板的第一基板保持器，其中所述第一基板保持器在接收之后沿其外框部分地或完全地围绕所述第一基板; 并且其中所述第一器件元件的第一阳极元件与所述第二器件元件的所述第一衬底保持器之间的距离为2至15mm。 此外，本发明一般涉及使用这种装置在基板上垂直电偶金属沉积的方法。
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4.发明授权
公开(公告)号：KR101612242B1
公开(公告)日：2016-04-26
申请号：KR1020157017342
申请日：2013-12-03
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
IPC: C25D17/00 , C25D17/12 , C25D17/06 , C25D5/08 , H01L21/768
CPC classification number: C25D17/001 , C25D5/08 , C25D7/123 , C25D17/004 , C25D17/06 , C25D17/12
Abstract: 본발명은기판상에수직갈바닉금속, 바람직하게는구리, 성막을위한디바이스, 이러한디바이스및 처리할기판을수용하는데적합한적어도기판홀더를수용하는데적합한컨테이너, 기판상에갈바닉금속, 특히구리, 성막을위해상기컨테이너의내측에서이러한디바이스의용도에관한것이다.
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Patent Agency Ranking5.发明公开기판상에 수직 갈바닉 금속, 바람직하게는 구리, 성막을 위한 디바이스 및 이 디바이스를 수용하는데 적합한 컨테이너 有权用于垂直气体金属，优选铜，底物沉积的装置和适用于接收这种装置的容器
公开(公告)号：KR1020150086547A
公开(公告)日：2015-07-28
申请号：KR1020157017342
申请日：2013-12-03
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
IPC: C25D17/00 , C25D17/12 , C25D17/06 , C25D5/08 , H01L21/768
CPC classification number: C25D17/001 , C25D5/08 , C25D7/123 , C25D17/004 , C25D17/06 , C25D17/12
Abstract: 본발명은기판상에수직갈바닉금속, 바람직하게는구리, 성막을위한디바이스, 이러한디바이스및 처리할기판을수용하는데적합한적어도기판홀더를수용하는데적합한컨테이너, 기판상에갈바닉금속, 특히구리, 성막을위해상기컨테이너의내측에서이러한디바이스의용도에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101978627B1
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：KR1020197004650
申请日：2017-08-18
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
Inventor： 바인홀트라이
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公开(公告)号：KR1020150088911A
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：KR1020157019240
申请日：2013-12-03
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D5/08 , C25D3/38 , C25D7/00 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/06 , C25D17/12
Abstract: 본발명은, 기판상의수직방향갈바닉금속, 바람직하게는구리성막을위한디바이스로서, 상기디바이스는적어도제 1 디바이스요소및 제 2 디바이스요소를포함하고, 디바이스요소들은수직방식으로서로평행하게배치되고, 상기제 1 디바이스요소는복수의관통도관들을갖는적어도제 1 애노드요소및 복수의관통도관들을갖는적어도제 1 캐리어요소를포함하고, 상기적어도제 1 애노드요소및 상기적어도제 1 캐리어요소는서로확고하게연결되고, 상기제 2 디바이스요소는처리될적어도제 1 기판을수용하도록되어있는적어도제 1 기판홀더를포함하고, 상기적어도제 1 기판홀더는처리될상기적어도제 1 기판을수용한후에그의외부프레임을따라처리될상기적어도제 1 기판을적어도부분적으로둘러싸고, 상기적어도제 1 디바이스요소의상기제 1 애노드요소와상기제 2 디바이스요소의상기적어도제 1 기판홀더사이의거리가 2 내지 15 ㎜인, 디바이스에관한것이다. 또한, 본발명은일반적으로, 그러한디바이스를사용하여기판상에수직방향갈바닉금속을성막하기위한방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于垂直电镀金属沉积在诸如晶片（优选铜）的衬底上的器件，其中该器件包括以彼此平行的垂直方式布置的第一器件元件和第二器件元件，其中 第一装置元件包括第一阳极元件和第一载体元件，它们都具有多个贯穿导管并彼此牢固地连接; 并且其中所述第二装置元件包括适于接收至少第一待处理基板的第一基板保持器，其中所述第一基板保持器在接收之后沿其外框架部分地或完全地围绕所述第一基板; 并且其中所述第一器件元件的第一阳极元件与所述第二器件元件的所述第一衬底保持器之间的距离为2至15mm。 此外，本发明一般涉及使用这种装置在基板上垂直电偶金属沉积的方法。
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公开(公告)号：KR1020150043522A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：KR1020157008237
申请日：2013-09-16
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25D17/06 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/004 , H05K3/007 , Y10T29/49117 , C25D17/08
Abstract: 제품 (5) 의처리를위한홀딩기기에관한것으로, 상기홀딩기기는제 1 홀딩부 (41) 및제 2 홀딩부 (42) 를포함한다. 제 1 홀딩부 (41) 는제품 (5) 의제 1 측면 (6) 과접촉을형성하기위해적어도하나의제 1 전기접촉요소 (13) 를포함한다. 제 2 홀딩부 (42) 는제품 (5) 의제 2 측면 (7) 과접촉을형성하기위해적어도하나의제 2 전기접촉요소 (14) 를포함하고, 제 2 측면은제 1 측면 (6) 과대향하게놓여있다. 제 1 홀딩부 (41) 와제 2 홀딩부 (42) 는, 제품 (5) 을홀딩하기위해탈착가능하게서로체결될수 있도록배열된다. 제품시일 (15, 16) 과하우징시일 (17) 은, 처리상태에서적어도하나의제 1 전기접촉요소 (13) 및적어도하나의제 2 전기접촉요소 (14) 로유체의침투를방지하도록실링배열체를제공한다.
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