公开(公告)号：KR102070536B1

公开(公告)日：2020-01-29

申请号：KR1020187018109

申请日：2016-11-28

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 발터안드레아스 ,  주헨트룬크크리슈토프 ,  벡크토마스 ,  슈타인베르거게르하르트 ,  베라홀거 ,  브루너하이코 ,  프뢰제베른트

IPC: C23C18/44 ,  C23C18/16 ,  H05K3/18

公开(公告)号：KR102080421B1

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：KR1020187018098

申请日：2016-11-28

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 발터안드레아스 ,  주헨트룬크크리슈토프 ,  벡크토마스 ,  슈타인베르거게르하르트 ,  베라홀거 ,  브루너하이코 ,  뤽브로트슈펜

IPC: C23C18/44 ,  C23C18/16 ,  H05K3/18