公开(公告)号：KR1020140091689A

公开(公告)日：2014-07-22

申请号：KR1020147011962

申请日：2012-11-08

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 뤼초브노르베르트 ,  톰스마르틴 ,  엑스너아니카 ,  클로피쉬미르코

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/46 ,  C23F1/44 ,  H05K3/06 ,  H01L21/3213

CPC classification number: C23F1/18 ,  C23F1/44 ,  C23F1/46 ,  C25D5/34 ,  H01L21/32134 ,  H05K3/067 ,  H05K3/108 ,  H05K2203/0789

Abstract: 본 발명은 수성 조성물 및 구리 및 구리 합금의 에칭 방법에 관한 것이다. 상기 수성 조성물은 Fe
3
+ 이온, 산 및 N-알콕실화 폴리아미드를 포함한다. 상기 수성 조성물은 인쇄 회로 기판, IC 기판 등의 제조에서 미세 구조물을 제조하는데 있어서 특히 유용하다.