公开(公告)号：KR1020130000373A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：KR1020127018995

申请日：2011-01-21

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  반랜드게헴,안토니 ,  마튼즈,피터

IPC: B05D7/24 ,  H05K3/28 ,  H01J37/32 ,  H01L23/29

CPC classification number: H05K3/284 ,  B05D1/62 ,  B05D3/0493 ,  B05D3/142 ,  B05D5/083 ,  B05D2506/10 ,  H01J37/32541 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12044 ,  H05K3/282 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/09872 ,  H05K2203/095 ,  Y10T428/239 ,  H01L2924/00

Abstract: 본발명은 저압 플라즈마 공정에 의해 도포되는 나노코팅에 관한 것이다. 본발명은 또한 3차원 나노구조체, 특히 전기적으로 전도성 및 비-전도성 요소를 함유하는 3차원 구조체 상에 그러한 공형 나노코팅을 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020160097326A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：KR1020167018570

申请日：2014-12-10

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  로게,에바 ,  마튼즈,피터

IPC: H05K3/28 ,  C09D5/24 ,  B05D1/00 ,  B05D5/08

CPC classification number: H05K3/285 ,  B05D1/62 ,  B05D5/08 ,  C09D183/04 ,  C09D183/16 ,  H05K3/282 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/09872 ,  H05K2203/095 ,  C09D5/24

Abstract: 미코팅인쇄회로기판상의솔더-관통고분자코팅증착공정에관한것이고, 캐리어가스에의하여상기중합챔버에주입되는유기실란전구체단량체의중합챔버에서평균저전력및 저압플라스마중합을이용하는것을포함하고, 상기유기실란은화학식 Y1-X-Y2 (I) 또는 -[Si(CH3)2-X-]n- (II)의유기실란이고, 여기서: X는 O 또는 NH이고; Y1은 - Si(Y3)(Y4)Y5이고; Y2는 Si(Y3')(Y4')Y5'이고; Y3, Y4, Y5, Y3', Y4', 및 Y5'는각각독립적으로 H 또는최대 10 탄소원자의알킬기이고; 화학식 (II)의단량체는환형이고여기서 n은 2 내지 10이고, 여기서 Y3, Y4 및 Y5 중최대하나가수소이고, Y3', Y4' 및 Y5' 중최대하나가수소이고, 탄소원자의총 수는 20 이하임.

公开(公告)号：KR1020160068871A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：KR1020167012029

申请日：2014-10-07

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  로게,에바 ,  세르쿠,마르크

IPC: H01J37/32 ,  C23C16/50 ,  B05D1/00

CPC classification number: H01J37/32146 ,  B05D1/62 ,  B05D5/08 ,  B05D7/02 ,  B05D7/14 ,  C03C17/32 ,  C03C2217/20 ,  C03C2217/76 ,  C03C2218/15 ,  C04B41/009 ,  C04B41/4523 ,  C04B41/83 ,  C09D133/16 ,  C23C16/50 ,  C23C26/00 ,  D21H23/22 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/3326 ,  H05H2245/123

Abstract: 본발명은코팅될표면을포함하는기판을저압반응챔버에공급하는단계와, 상기반응챔버내에서처리주기동안플라즈마에상기표면을노출시키는단계와, 전력입력을인가함으로써안정한플라즈마점화를보장하는단계를포함하는방법에관한것이며, 전력입력은상기처리주기중 0와트(W)보다연속적으로엄격하게높고, 적어도하나의하측임계전력과, 상기하측임계전력보다엄격하게큰 적어도하나의상측임계전력을포함하며, 따라서, 코팅된표면을가진기판을획득할수 있다. 본발명은저압플라즈마프로세스로기판을처리하기위한장치와, 이와같이처리된기판에또한관련된다.

公开(公告)号：KR1020150067364A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：KR1020157012350

申请日：2013-10-09

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  로게,에바

IPC: D06M10/02 ,  D06B19/00 ,  D06M13/203 ,  D06M13/21 ,  D06M13/213 ,  D06M15/263 ,  D06M15/277

CPC classification number: D06M15/277 ,  B01D67/0037 ,  B01D69/06 ,  B01D71/38 ,  B01D2325/20 ,  B01D2325/38 ,  C09D133/16 ,  D06B19/007 ,  D06M10/02 ,  D06M10/025 ,  D06M13/203 ,  D06M13/21 ,  D06M13/213 ,  D06M15/263 ,  D06M2200/11 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T442/20 ,  Y10T442/2262

Abstract: 본발명은원단, 예를들어직물재료를중합체코팅으로코팅하는방법을제공하고, 상기방법은원단을단량체와접촉시키고단량체가저출력플라즈마중합을거치고, 여기서단량체는일반식 (I)을포함하고: CFCXCRY-OCO-C(R) = CH), 여기서 n은 2 내지 6, m은 0 내지 9, X 및 Y는 H, F, Cl, Br 또는 I, R는 H 또는알킬또는치환된알킬, 예를들면적어도부분적으로할로-치환된알킬이고, R는 H 또는알킬또는치환된알킬, 예를들면적어도부분적으로할로-치환된알킬이다.

Abstract translation: 本发明的织物，例如用于用聚合物涂层涂覆织物材料提供了一种方法，该方法包括与该单体接触织物和单体正经历低功率等离子体聚合，其中所述单体包括通式（I）中： CFCXCRY-OCO-C（R）= CH），其中n为2至6，m为0〜9，X和Y是H，F，Cl，Br或I，R为H或烷基或取代的烷基，例如 例如，至少部分是一个 - 取代的烷基，R g为H或烷基或取代的烷基，例如，至少部分地被取代的烷基。

公开(公告)号：KR1020150065890A

公开(公告)日：2015-06-15

申请号：KR1020157012353

申请日：2013-10-09

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 로게,에바 ,  레게인,필립

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3277 ,  B01D2239/0478 ,  B05D1/62 ,  C08F2/52 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32752 ,  H01J37/32761 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/332

Abstract: 본발명은예를들어원단시트에표면코팅을제공하는방법을제공하며추가로예를들어직물재료와같은원단시트를중합체층으로코팅하기위한플라즈마챔버(10)를제공하는데, 상기플라즈마챔버(10)는플라즈마챔버내에서연속으로배열된복수의전극층(RF, M)을포함하며, 2개이상의서로인접한전극층은고주파전극층(RF) 또는접지전극층(M)이며이에따라원단시트의양쪽면에표면코팅을제공한다.