公开(公告)号：KR1020130000373A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：KR1020127018995

申请日：2011-01-21

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  반랜드게헴,안토니 ,  마튼즈,피터

IPC: B05D7/24 ,  H05K3/28 ,  H01J37/32 ,  H01L23/29

CPC classification number: H05K3/284 ,  B05D1/62 ,  B05D3/0493 ,  B05D3/142 ,  B05D5/083 ,  B05D2506/10 ,  H01J37/32541 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12044 ,  H05K3/282 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/09872 ,  H05K2203/095 ,  Y10T428/239 ,  H01L2924/00

Abstract: 본발명은 저압 플라즈마 공정에 의해 도포되는 나노코팅에 관한 것이다. 본발명은 또한 3차원 나노구조체, 특히 전기적으로 전도성 및 비-전도성 요소를 함유하는 3차원 구조체 상에 그러한 공형 나노코팅을 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020160097326A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：KR1020167018570

申请日：2014-12-10

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  로게,에바 ,  마튼즈,피터

IPC: H05K3/28 ,  C09D5/24 ,  B05D1/00 ,  B05D5/08

CPC classification number: H05K3/285 ,  B05D1/62 ,  B05D5/08 ,  C09D183/04 ,  C09D183/16 ,  H05K3/282 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/09872 ,  H05K2203/095 ,  C09D5/24

Abstract: 미코팅인쇄회로기판상의솔더-관통고분자코팅증착공정에관한것이고, 캐리어가스에의하여상기중합챔버에주입되는유기실란전구체단량체의중합챔버에서평균저전력및 저압플라스마중합을이용하는것을포함하고, 상기유기실란은화학식 Y1-X-Y2 (I) 또는 -[Si(CH3)2-X-]n- (II)의유기실란이고, 여기서: X는 O 또는 NH이고; Y1은 - Si(Y3)(Y4)Y5이고; Y2는 Si(Y3')(Y4')Y5'이고; Y3, Y4, Y5, Y3', Y4', 및 Y5'는각각독립적으로 H 또는최대 10 탄소원자의알킬기이고; 화학식 (II)의단량체는환형이고여기서 n은 2 내지 10이고, 여기서 Y3, Y4 및 Y5 중최대하나가수소이고, Y3', Y4' 및 Y5' 중최대하나가수소이고, 탄소원자의총 수는 20 이하임.