公开(公告)号：KR1020130000373A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：KR1020127018995

申请日：2011-01-21

Applicant: 유로플라즈마 엔브이

Inventor： 레게인,필립 ,  반랜드게헴,안토니 ,  마튼즈,피터

IPC: B05D7/24 ,  H05K3/28 ,  H01J37/32 ,  H01L23/29

CPC classification number: H05K3/284 ,  B05D1/62 ,  B05D3/0493 ,  B05D3/142 ,  B05D5/083 ,  B05D2506/10 ,  H01J37/32541 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12044 ,  H05K3/282 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/09872 ,  H05K2203/095 ,  Y10T428/239 ,  H01L2924/00

Abstract: 본발명은 저압 플라즈마 공정에 의해 도포되는 나노코팅에 관한 것이다. 본발명은 또한 3차원 나노구조체, 특히 전기적으로 전도성 및 비-전도성 요소를 함유하는 3차원 구조체 상에 그러한 공형 나노코팅을 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.