公开(公告)号：KR101446332B1

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：KR1020080020200

申请日：2008-03-04

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김덕기 ,  유하영 ,  주영창 ,  성정헌 ,  황수정 ,  정성엽

IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

CPC classification number: H01L27/101 ,  G11C11/5692

Abstract: 멀티 플러그를 이용한 멀티 비트 OTP 메모리 소자와 그 제조 및 동작 방법에 관해 개시되어 있다. 여기서, 캐소드, 애노드, 상기 애노드에 연결된 링크 및 상기 링크와 상기 캐소드를 연결하는 제1 연결수단을 포함하는, 한번의 동작으로 데이터를 저장하거나 읽을 수 있는 멀티 비트 메모리 소자를 제공한다. 상기 링크와 상기 애노드는 상기 캐소드보다 낮은 위치에 구비될 수 있다. 그리고 상기 링크와 상기 애노드는 상기 캐소드보다 높은 위치에 구비될 수도 있다. 또한, 상기 캐소드, 상기 애노드, 상기 링크 및 상기 제1 연결수단은 모두 동일면 상에 구비될 수도 있다.

公开(公告)号：KR101003870B1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：KR1020080056563

申请日：2008-06-16

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  유하영 ,  김병준

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은, 복수개의 시편에 대하여 동시에 일렉트로마이그레이션 특성을 측정할 시에, 직류 전원 대신 펄스 신호를 이용함으로써 시편의 구조상 특정 부분에 국부적 전류 밀집현상이 많이 발생하는 시편 구조에서 줄 열의 발생을 최소화시키는 일렉트로마이그레이션 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 일렉트로마이그레이션(Electromigration; EM) 측정을 위한 복수개의 시편이 상호 직렬 연결되도록 구성되어 있는 일렉트로마이그레이션 측정 장치로서, 상기 복수개의 시편에 펄스 신호를 인가하는 펄스 생성기를 포함하는 것을 특징으로 하는 일렉트로마이그레이션 측정 장치가 제공된다.
일렉트로마이그레이션(electromigration), 줄 열(Joule Heating), 저항,펄스 전류(pulse current)

公开(公告)号：KR1020100008705A

公开(公告)日：2010-01-26

申请号：KR1020080069301

申请日：2008-07-16

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 유하영 ,  황수정 ,  김덕기 ,  주영창 ,  정성엽

IPC: H01L23/62

CPC classification number: H01L23/5256 ,  H01L21/324 ,  H01L21/76838 ,  H01L21/76897

Abstract: PURPOSE: A fuse device and a method for operating the same are provided to reduce power consumption by performing a programming operation after heating a fuse. CONSTITUTION: A fuse device includes a fuse(F1) and a current applying unit. The fuse has a pre-heated area for programming. The fuse includes at least one of metal and silicide. The current applying unit applies a programming current to the fuse and includes a driving device(Tr1) and a power source. The driving device is connected to the fuse. The power source is connected to the driving device with a conductive connection structure. The connection structure includes a conductive plug(P1) and a wire(W1). The height of the fuse is equal to or smaller than the height of the wire.

Abstract translation: 目的：提供一种保险丝装置及其操作方法，以在加热保险丝之后执行编程操作来降低功耗。 构成：保险丝装置包括保险丝（F1）和电流施加单元。 保险丝具有用于编程的预热区域。 保险丝包括金属和硅化物中的至少一种。 电流施加单元向保险丝施加编程电流，并包括驱动装置（Tr1）和电源。 驱动装置连接到保险丝。 电源通过导电连接结构连接到驱动装置。 连接结构包括导电插头（P1）和导线（W1）。 保险丝的高度等于或小于电线的高度。

公开(公告)号：KR1020090095096A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：KR1020080020200

申请日：2008-03-04

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김덕기 ,  유하영 ,  주영창 ,  성정헌 ,  황수정 ,  정성엽

IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

CPC classification number: H01L27/101 ,  G11C11/5692

Abstract: An OTP(One Time Programmable) memory device using multi plug, and a manufacturing and operating method thereof are provided to store data more than 2 bit by connecting four or more plugs between a link and a cathode. A link(44) is connected to an anode(42). A first connection unit connects the link and a cathode(40). The link and anode are included in a position lower than the cathode. The link and the anode are included in a position higher than the cathode. The cathode, the anode, the link, and the first connection unit are included in the same plane. The first connection unit includes at least one plug.

Abstract translation: 提供使用多插头的OTP（一次可编程）存储器件及其制造和操作方法，以通过在链路和阴极之间连接四个或更多个插头来存储超过2位的数据。 连接件（44）连接到阳极（42）。 第一连接单元连接连杆和阴极（40）。 链路和阳极被包括在比阴极低的位置。 链路和阳极被包括在比阴极高的位置。 阴极，阳极，连接件和第一连接单元包括在同一平面内。 第一连接单元包括至少一个插头。

公开(公告)号：KR1020090050431A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：KR1020070116852

申请日：2007-11-15

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  유하영 ,  이신복

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2856 ,  G01R19/1659 ,  G01R27/08 ,  H01L22/30

Abstract: 일렉트로마이그레이션 특성을 측정하는 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 일렉트로마이그레이션 측정 장치는 복수개의 시편(DUT1~DUT20)이 상호 직렬 연결되어 있어서 복수개의 시편(DUT1~DUT20)에 대하여 동시에 일렉트로마이그레이션 측정이 가능한 장치로서, 복수개의 시편(DUT1~DUT20) 각각에는 측정 과정 중에 시편 단락시 전체 회로의 오픈을 방지해 주는 스위치(BPSW1~BPSW20) 및 저항(R1~R20)이 병렬 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
일렉트로마이그레이션(electromigration), 측정

公开(公告)号：KR1020090130780A

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：KR1020080056563

申请日：2008-06-16

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  유하영 ,  김병준

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for measuring electromigration are provided to increase the reliability of measurement by minimizing joule's heat in measuring an electromigration. CONSTITUTION: In a device, a test block(120) includes a plurality of specimens(DUT1~DUT20). The specimens are connected with each other in series. Bypass switch(BPSW1~BPSW20) are connected to specimens in parallel. The test block is connected to a pulse generator(124a). The first pulse generation switch(PGSW1) control connection between the test block and the pulse generators(on). The secondary pulse generation switch(PGSW2) controls connection between the test unit and the ground according to connection between of the pulse generator and the test unit. The pulse generator supplies signal to apply current of a pulse wave form to the specimens.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量电迁移的装置和方法，以通过在测量电迁移时最小化焦耳的热量来增加测量的可靠性。 构成：在装置中，测试块（120）包括多个试样（DUT1〜DUT20）。 试样串联连接。 旁路开关（BPSW1〜BPSW20）与试样并联连接。 测试块连接到脉冲发生器（124a）。 第一个脉冲发生开关（PGSW1）控制测试块与脉冲发生器（on）之间的连接。 次脉冲发生开关（PGSW2）根据脉冲发生器和测试单元之间的连接来控制测试单元与地之间的连接。 脉冲发生器提供信号以将脉搏波形的电流施加到样本。

公开(公告)号：KR1020090102555A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：KR1020080028068

申请日：2008-03-26

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황수정 ,  유하영 ,  김덕기 ,  성정헌 ,  주영창 ,  정성엽

IPC: H01L23/62

CPC classification number: H01L23/5256 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: PURPOSE: An electrical fuse device and method of operating the same are provided to use the existing processing of semiconductor device using the material of the metal gate of the cell region or the metal wiring. CONSTITUTION: The electrical fuse device includes the cathode(100) and the anode(200), and the fuse link(150). The cathode is separated from the anode. The fuse link connects a cathode and anode. The fuse link includes laminated two metal layers. The number of the metal layer which becomes blowing is changed according to the voltage applied in the fuse link and the intensity.

Abstract translation: 目的：提供一种电熔丝装置及其操作方法，以使用半导体器件的现有处理，其使用电池区域的金属栅极或金属布线的材料。 构成：电熔丝装置包括阴极（100）和阳极（200）以及熔断体（150）。 阴极与阳极分离。 熔断体连接阴极和阳极。 熔断体包括层压的两层金属层。 根据施加在熔断体中的电压和强度，变成吹塑的金属层的数量变化。