公开(公告)号：KR1020100008705A

公开(公告)日：2010-01-26

申请号：KR1020080069301

申请日：2008-07-16

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 유하영 ,  황수정 ,  김덕기 ,  주영창 ,  정성엽

IPC: H01L23/62

CPC classification number: H01L23/5256 ,  H01L21/324 ,  H01L21/76838 ,  H01L21/76897

Abstract: PURPOSE: A fuse device and a method for operating the same are provided to reduce power consumption by performing a programming operation after heating a fuse. CONSTITUTION: A fuse device includes a fuse(F1) and a current applying unit. The fuse has a pre-heated area for programming. The fuse includes at least one of metal and silicide. The current applying unit applies a programming current to the fuse and includes a driving device(Tr1) and a power source. The driving device is connected to the fuse. The power source is connected to the driving device with a conductive connection structure. The connection structure includes a conductive plug(P1) and a wire(W1). The height of the fuse is equal to or smaller than the height of the wire.

Abstract translation: 目的：提供一种保险丝装置及其操作方法，以在加热保险丝之后执行编程操作来降低功耗。 构成：保险丝装置包括保险丝（F1）和电流施加单元。 保险丝具有用于编程的预热区域。 保险丝包括金属和硅化物中的至少一种。 电流施加单元向保险丝施加编程电流，并包括驱动装置（Tr1）和电源。 驱动装置连接到保险丝。 电源通过导电连接结构连接到驱动装置。 连接结构包括导电插头（P1）和导线（W1）。 保险丝的高度等于或小于电线的高度。

公开(公告)号：KR1020090095096A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：KR1020080020200

申请日：2008-03-04

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김덕기 ,  유하영 ,  주영창 ,  성정헌 ,  황수정 ,  정성엽

IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

CPC classification number: H01L27/101 ,  G11C11/5692

Abstract: An OTP(One Time Programmable) memory device using multi plug, and a manufacturing and operating method thereof are provided to store data more than 2 bit by connecting four or more plugs between a link and a cathode. A link(44) is connected to an anode(42). A first connection unit connects the link and a cathode(40). The link and anode are included in a position lower than the cathode. The link and the anode are included in a position higher than the cathode. The cathode, the anode, the link, and the first connection unit are included in the same plane. The first connection unit includes at least one plug.

Abstract translation: 提供使用多插头的OTP（一次可编程）存储器件及其制造和操作方法，以通过在链路和阴极之间连接四个或更多个插头来存储超过2位的数据。 连接件（44）连接到阳极（42）。 第一连接单元连接连杆和阴极（40）。 链路和阳极被包括在比阴极低的位置。 链路和阳极被包括在比阴极高的位置。 阴极，阳极，连接件和第一连接单元包括在同一平面内。 第一连接单元包括至少一个插头。

公开(公告)号：KR1020090050431A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：KR1020070116852

申请日：2007-11-15

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  유하영 ,  이신복

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2856 ,  G01R19/1659 ,  G01R27/08 ,  H01L22/30

Abstract: 일렉트로마이그레이션 특성을 측정하는 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 일렉트로마이그레이션 측정 장치는 복수개의 시편(DUT1~DUT20)이 상호 직렬 연결되어 있어서 복수개의 시편(DUT1~DUT20)에 대하여 동시에 일렉트로마이그레이션 측정이 가능한 장치로서, 복수개의 시편(DUT1~DUT20) 각각에는 측정 과정 중에 시편 단락시 전체 회로의 오픈을 방지해 주는 스위치(BPSW1~BPSW20) 및 저항(R1~R20)이 병렬 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
일렉트로마이그레이션(electromigration), 측정

公开(公告)号：KR1020080077441A

公开(公告)日：2008-08-25

申请号：KR1020070016963

申请日：2007-02-20

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  황상수 ,  이신복

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R31/2601

Abstract: An apparatus for testing electrical characteristic and reliability of semiconductors is provided to reduce exchange frequency by performing inspection of DUTs using plural manipulators having a probe. An apparatus for testing electrical characteristic and reliability of semiconductors includes plural manipulators(110), probes(120), and phase control units. The manipulators are implemented corresponding to DUTs(Device Under Test). Each of the probes mounted on the manipulators includes a tip for detecting electrical characteristic and reliability of the DUTs. Each of the phase control units mounted on the manipulators adjusts movement of a corresponding probe on the DUTs.

Abstract translation: 提供一种用于测试半导体的电特性和可靠性的装置，以通过使用具有探针的多个操纵器执行DUT的检查来减少交换频率。 用于测试半导体的电特性和可靠性的装置包括多个操纵器（110），探针（120）和相位控制单元。 操纵器对应于DUT（被测设备）实现。 安装在操纵器上的每个探针包括用于检测DUT的电特性和可靠性的尖端。 安装在操纵器上的每个相位控制单元调节DUT上相应探头的移动。

公开(公告)号：KR1020050078688A

公开(公告)日：2005-08-08

申请号：KR1020040006427

申请日：2004-01-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 송성진 ,  민경덕 ,  주영창 ,  전병선

IPC: G01P3/36

CPC classification number: G01P3/366 ,  G01J1/44 ,  G01J2001/446

Abstract: 본 발명은 공간 및 사용 환경에 제약을 받지 않아 다양한 응용 범위를 갖는 회전 속도 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명은 측정 대상물 외부의 광섬유 탐침을 이용하여 회전체에 광을 조사함으로써, 회전 속도의 측정이 가능한 범용 회전체 회전 속도 측정 장치 및 측정 방법을 제공한다. 본 발명은 공간이 협소하거나 연소 이물질 등으로 측정 환경이 열악한 경우에도 회전체의 회전 속도를 정확하게 측정할 수 있어 다양한 응용 분야에 적용 가능하다.

公开(公告)号：KR100471744B1

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：KR1020020018215

申请日：2002-04-03

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 민경덕 ,  주영창 ,  송성진 ,  김세준 ,  민홍석 ,  박건중

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: B81C1/00087 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0112 ,  B81C2201/0132 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/32134

Abstract: 공정을 단순화시키며, 기판의 냉각을 효율적으로 수행시키고, 플라즈마 이온 플럭스의 흐름을 일정하게 유지할 수 있는 기판 관통 식각방법이 개시된다. 본 발명의 일 형태에 따른 기판 관통 식각방법은, 기판의 제1 면 상에 버퍼층과 금속층을 형성하고, 상기 제1 면과 반대되는 상기 기판의 제2 면 상에 식각마스크 패턴을 형성한 후 이를 식각마스크로 하여 상기 기판을 관통 식각한다. 바람직하게는 버퍼층은 이산화실리콘층이며, 금속층은 알루미늄층을 사용한다.

公开(公告)号：KR1020100005607A

公开(公告)日：2010-01-15

申请号：KR1020080065702

申请日：2008-07-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  이신복

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/00

Abstract: PURPOSE: A hydrogen sensor and a manufacturing method thereof to save manufacturing cost by simplifying a sensor structure and a manufacturing process is provided to improve the sensitivity of the sensor and to detect hydrogen gas of the low concentration. CONSTITUTION: First and second electrodes are formed on a substrate(110). Voltage is sanctioned between the first and second electrodes in order to form a nano-wire(160). A reaction film is formed on the nano-wire. The first and second electrode comprise silver. An interval between the first and second electrode is within a range of 50-500 micrometer. The applied voltage is in the range of 0.5-5V.

Abstract translation: 目的：提供一种通过简化传感器结构和制造工艺来节省生产成本的氢传感器及其制造方法，以提高传感器的灵敏度并检测低浓度的氢气。 构成：在基板（110）上形成第一和第二电极。 为了形成纳米线（160），在第一和第二电极之间施加电压。 在纳米线上形成反应膜。 第一和第二电极包括银。 第一和第二电极之间的间隔在50-500微米的范围内。 施加电压在0.5-5V的范围内。

公开(公告)号：KR1020090130780A

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：KR1020080056563

申请日：2008-06-16

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 주영창 ,  유하영 ,  김병준

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for measuring electromigration are provided to increase the reliability of measurement by minimizing joule's heat in measuring an electromigration. CONSTITUTION: In a device, a test block(120) includes a plurality of specimens(DUT1~DUT20). The specimens are connected with each other in series. Bypass switch(BPSW1~BPSW20) are connected to specimens in parallel. The test block is connected to a pulse generator(124a). The first pulse generation switch(PGSW1) control connection between the test block and the pulse generators(on). The secondary pulse generation switch(PGSW2) controls connection between the test unit and the ground according to connection between of the pulse generator and the test unit. The pulse generator supplies signal to apply current of a pulse wave form to the specimens.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量电迁移的装置和方法，以通过在测量电迁移时最小化焦耳的热量来增加测量的可靠性。 构成：在装置中，测试块（120）包括多个试样（DUT1〜DUT20）。 试样串联连接。 旁路开关（BPSW1〜BPSW20）与试样并联连接。 测试块连接到脉冲发生器（124a）。 第一个脉冲发生开关（PGSW1）控制测试块与脉冲发生器（on）之间的连接。 次脉冲发生开关（PGSW2）根据脉冲发生器和测试单元之间的连接来控制测试单元与地之间的连接。 脉冲发生器提供信号以将脉搏波形的电流施加到样本。

公开(公告)号：KR1020090112390A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：KR1020080038256

申请日：2008-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황수정 ,  김덕기 ,  주영창

IPC: H01L23/62

CPC classification number: H01L23/5256 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: PURPOSE: An electrical fuse element is used for various purposes by containing a fuse link which is electrically blown. CONSTITUTION: An electrical fuse element is comprised of a cathode(100) and an anode(200), and a fuse link. The cathode and the anode are separated from each other. The fuse link connects the cathode and the anode. The cathode includes the first area and the second part which is equipped between the first area and the fuse link. The width of the second part is wider than the width of the first area.

Abstract translation: 目的：电熔丝元件用于各种目的，包含电熔丝的熔丝。 构成：电熔丝元件由阴极（100）和阳极（200）以及熔断体构成。 阴极和阳极彼此分离。 熔丝连接阴极和阳极。 阴极包括设置在第一区域和熔丝连接点之间的第一区域和第二部分。 第二部分的宽度比第一区域的宽度宽。

公开(公告)号：KR101446332B1

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：KR1020080020200

申请日：2008-03-04

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김덕기 ,  유하영 ,  주영창 ,  성정헌 ,  황수정 ,  정성엽

IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108

CPC classification number: H01L27/101 ,  G11C11/5692

Abstract: 멀티 플러그를 이용한 멀티 비트 OTP 메모리 소자와 그 제조 및 동작 방법에 관해 개시되어 있다. 여기서, 캐소드, 애노드, 상기 애노드에 연결된 링크 및 상기 링크와 상기 캐소드를 연결하는 제1 연결수단을 포함하는, 한번의 동작으로 데이터를 저장하거나 읽을 수 있는 멀티 비트 메모리 소자를 제공한다. 상기 링크와 상기 애노드는 상기 캐소드보다 낮은 위치에 구비될 수 있다. 그리고 상기 링크와 상기 애노드는 상기 캐소드보다 높은 위치에 구비될 수도 있다. 또한, 상기 캐소드, 상기 애노드, 상기 링크 및 상기 제1 연결수단은 모두 동일면 상에 구비될 수도 있다.