Abstract:
(과제) 대면적의 그래핀을 고품질이며 저비용으로 생산 가능한 그래핀 제조용 동박 및 그것을 사용한 그래핀의 제조 방법을 제공한다. (해결 수단) 표면 조도 (Rz) 가 0.5 ㎛ 이하이고, 표면에 있어서 (111) 면의 비율이 60 % 이상이며, Cu 도금층 및/또는 Cu 스퍼터층으로 이루어지는 그래핀 제조용 동박 (10) 이다.
Abstract:
Provided is a copper foil with a carrier which can suppress bending of a copper foil regardless of kinds and thicknesses of ultrathin copper layers and carriers. The copper foil includes a carrier having a copper foil carrier, a middle layer laminated on the copper foil carrier and an ultrathin copper layer laminated on the middle layer. The copper foil attached with the carrier has difference between a value of multiplying the thickness of the copper foil carrier and residual stress of the outside surface of the copper foil carrier and a value of multiplying the thickness of the ultrathin copper layer and the residual stress of the outside surface of the ultrathin copper layer within a range of -150μm·MPa to 500μm·MPa, inclusively, when the difference is a positive value if the residual stress is in the contracting direction, and the difference is a negative value if the residual stress is in the tensile direction.
Abstract:
두께가 12.5 ∼ 50 ㎛ 인 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에, 산소 가스 분위기 중에서 글로우 방전에 의한 플라스마 처리에 의한 개질 처리를 실시하고, 그 개질 처리 후의 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에, 스퍼터링 또는 전해 도금에 의해 두께가 1 ∼ 5 ㎛ 인 구리층을 형성한 2 층 구리 피복 적층재로서, 상기 플라스마 처리 후의 폴리이미드 필름 표면의 광전자 분광법 (XPS) 판정량에 의해 구한 C1S 에서 기인하는 피크 283 ∼ 287 eV 와 287 ∼ 290 eV 의 각 피크의 면적 강도비가 0.03 내지 0.11 의 범위인 것을 특징으로 하는 2 층 구리 피복 적층재. 플라스마 처리 전후의 PI 필름 표면의 XPS 분석을 실시하여 표면 캐릭터제이션을 실시하고, 추가로 플라스마 처리 전후의 PI 필름의 용해 특성 및 밀착력을 평가하여, 습식 PI 에칭 공정에서의 가공에 최적인 2 층 구리 피복판 및 그 제조 방법을 알아내는 것을 과제로 한다.