公开(公告)号：KR1020150079208A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：KR1020130169274

申请日：2013-12-31

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 남연희 ,  김혜정 ,  김상균 ,  김성환 ,  김윤준 ,  문준영 ,  송현지

IPC: C09D4/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/11 ,  C08G69/32 ,  C08G73/1039 ,  C08G73/1046 ,  C08G73/105 ,  C08G73/1071 ,  C09D177/10 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  C09D4/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

Abstract: 하기화학식 1로표현되는부분을가지는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물을제공한다. [화학식 1]상기화학식 1에서, A 및 B는명세서내에서정의한바와같다.

Abstract translation: 提供一种聚合物，其包含由下式1表示的部分; 和包含溶剂的硬盘组合物。 [式1]在式1中，A和B如说明书中所定义。

公开(公告)号：KR1020150109225A

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：KR1020140032392

申请日：2014-03-19

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 김혜정 ,  김성환 ,  남연희 ,  김윤준 ,  문준영 ,  송현지 ,  윤용운 ,  이충헌

IPC: C07C217/84 ,  C07C217/86 ,  G03F7/06 ,  G03F7/004

CPC classification number: C09D7/63 ,  C07C233/80 ,  C07C251/24 ,  C07C2603/18 ,  C07C2603/24 ,  C07C2603/50 ,  C09D5/006 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/094 ,  C07C217/84 ,  C07C217/86 ,  G03F7/0041 ,  G03F7/066

Abstract: 하기화학식 1로표현되는하드마스크조성물용모노머, 상기모노머를포함하는하드마스크조성물및 상기하드마스크조성물을사용한패턴형성방법에관한것이다. [화학식 1]A, B, B′, L, L′, X 및 X′의정의는명세서에기재된바와같다.

Abstract translation: 本发明涉及由化学式1表示的硬掩模组合物单体，包含单体的硬掩模组合物，以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。 A，B，B'，L，L'，X和X'的定义与说明书中的定义相同。

公开(公告)号：KR101667788B1

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：KR1020130169274

申请日：2013-12-31

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 남연희 ,  김혜정 ,  김상균 ,  김성환 ,  김윤준 ,  문준영 ,  송현지

IPC: C09D4/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/11 ,  C08G69/32 ,  C08G73/1039 ,  C08G73/1046 ,  C08G73/105 ,  C08G73/1071 ,  C09D177/10 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086

Abstract: 하기화학식 1로표현되는부분을가지는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물을제공한다. [화학식 1]상기화학식 1에서, A 및 B는명세서내에서정의한바와같다.

Abstract translation: 硬掩模组合物包括包含由以下化学式1表示的部分的聚合物和溶剂。 在上述化学式1中，A和B如说明书中所定义。

公开(公告)号：KR1020150117174A

公开(公告)日：2015-10-19

申请号：KR1020140042631

申请日：2014-04-09

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 박유정 ,  김미영 ,  김윤준 ,  남연희 ,  송현지 ,  문준영 ,  이충헌 ,  정슬기 ,  정태홍

IPC: G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/033

CPC classification number: G03F7/094 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/0332

Abstract: 하기화학식 1로표현되는구조단위및 하기화학식 2로표현되는구조단위를포함하는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물에관한것이다. [화학식 1][화학식 2]상기화학식 1 및 2에서, Ar, Ar, M및 M는명세서내에서정의한바와같다.

Abstract translation: 本发明涉及一种硬掩模组合物，其包含：包含化学式1表示的结构单元和化学式2表示的结构单元的聚合物; 和溶剂。 [化学式1] [化学式2]在式11和式2中，Ar 1，Ar 2，M 1和M 2与说明书中所定义相同。

公开(公告)号：KR101788093B1

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：KR1020140032392

申请日：2014-03-19

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 김혜정 ,  김성환 ,  남연희 ,  김윤준 ,  문준영 ,  송현지 ,  윤용운 ,  이충헌

IPC: C07C217/84 ,  C07C217/86 ,  G03F7/06 ,  G03F7/004

CPC classification number: C09D7/63 ,  C07C233/80 ,  C07C251/24 ,  C07C2603/18 ,  C07C2603/24 ,  C07C2603/50 ,  C09D5/006 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/094

Abstract: 하기화학식 1로표현되는하드마스크조성물용모노머, 상기모노머를포함하는하드마스크조성물및 상기하드마스크조성물을사용한패턴형성방법에관한것이다. [화학식 1]A, B, B′, L, L′, X 및 X′의정의는명세서에기재된바와같다.

Abstract translation: 包含该单体的硬掩模组合物，以及使用该硬掩模组合物的图案形成方法。 A，B，B'，L，L'，X和X'的定义如说明书中所述。

公开(公告)号：KR101754901B1

公开(公告)日：2017-07-06

申请号：KR1020140059252

申请日：2014-05-16

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 남연희 ,  김미영 ,  박유정 ,  김윤준 ,  김혜정 ,  문준영 ,  송현지 ,  이충헌 ,  최유정

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/075 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/094 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/091 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32139

Abstract: 하기화학식 1로표현되는부분을포함하는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물에관한것이다. [화학식 1]상기화학식 1에서, A 및 B는명세서내에서정의한바와같다.

Abstract translation: 包含由下式（1）表示的部分的聚合物和溶剂。 其中A和B如说明书中所定义。

公开(公告)号：KR101767080B1

公开(公告)日：2017-08-10

申请号：KR1020140042631

申请日：2014-04-09

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 박유정 ,  김미영 ,  김윤준 ,  남연희 ,  송현지 ,  문준영 ,  이충헌 ,  정슬기 ,  정태홍

IPC: G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/033

Abstract: 하기화학식 1로표현되는구조단위및 하기화학식 2로표현되는구조단위를포함하는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물에관한것이다. [화학식 1][화학식 2]상기화학식 1 및 2에서, Ar, Ar, M및 M는명세서내에서정의한바와같다.

公开(公告)号：KR1020150131867A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：KR1020140059252

申请日：2014-05-16

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 남연희 ,  김미영 ,  박유정 ,  김윤준 ,  김혜정 ,  문준영 ,  송현지 ,  이충헌 ,  최유정

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/075 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/094 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/091 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32139 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/0276

Abstract: 하기화학식 1로표현되는부분을포함하는중합체, 그리고용매를포함하는하드마스크조성물에관한것이다. [화학식 1]상기화학식 1에서, A 및 B는명세서내에서정의한바와같다.

Abstract translation: 本发明涉及一种硬掩模组合物和使用该硬掩模组合物形成图案的方法，更具体地说，涉及包含由化学式1表示的部分和溶剂的聚合物的硬掩模组合物。 [化学式1]：-A-B-在化学式1中，A和B与说明书中定义相同。