公开(公告)号：KR1020050067403A

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020057005429

申请日：2003-09-22

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 버키,조지,이. ,  북바인더,다나,씨. ,  피아코,리차드,엠. ,  콜리,제프리,티. ,  파워즈,데일,알.

IPC: C03B37/018 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/22 ,  C03B2203/22 ,  C03C13/047 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/22 ,  C03C2203/54

Abstract: A method of forming an optical fiber preform that comprises depositing a layer of silica soot onto an outer surface of a consolidated glass preform to form a composite preform having an inner consolidated glass portion and an outer silica soot portion, and exposing the composite preform to an atmosphere containing a concentration of a deuterium compound for a time and at a temperature sufficient to cause the deuterium compound to penetrate the consolidated glass portion without pervading the entire glass portion. Preferably, the deuterium compound penetrates the glass portion to a desired depth, e.g. to the point RD1, at a desired radial distance from the centre axis of the core.

Abstract translation: 一种形成光纤预制棒的方法，包括在固结的玻璃预制件的外表面上沉积二氧化硅烟灰层以形成具有内固化的玻璃部分和外部二氧化硅烟灰部分的复合预制件，并将复合预制件暴露于 含有浓度的氘化合物的气氛一段时间并且足以使氘化合物渗透固结的玻璃部分的温度，而不会渗透整个玻璃部分。 优选地，氘化合物将玻璃部分穿透到期望的深度，例如。 到距离芯的中心轴的期望的径向距离处的点RD1。

公开(公告)号：KR1020020012547A

公开(公告)日：2002-02-16

申请号：KR1020017013675

申请日：2000-04-07

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 벌키,죠지,이. ,  북바인더,다나,씨. ,  피아코,리차드,엠. ,  지룩스,신티아,비. ,  하우토프,다니엘,더블유. ,  파워스,데일,알. ,  시르칸트,브이.

IPC: G02B6/00

CPC classification number: C03B37/01486 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01473 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/31 ,  C03C3/06 ,  C03C13/047 ,  C03C2201/22 ,  C03C2203/54 ,  G02B6/02

Abstract: 본발명은낮은물 함량의중심선영역을갖는원주형의유리몸체및 광도파관섬유의제조에사용하기위한원주형유리몸체의제조방법에관한것이다. 상기원주형유리몸체의중심선영역은본 발명의원주형유리몸체로부터제조된광도파관섬유가 1380㎚의측정파장에서약 0.35dB/㎞미만, 바람직하게 0.31dB/㎞미만의광학감쇠를나타내도록충분히낮은물 함량을가져야한다. 본발명은또한이러한원주형유리몸체에사용되는낮은물 함량플러그(46, 54), 낮은물 피크를갖는광도파관섬유및 이러한광도파관섬유를포함하는광섬유통신시스템에관한것이다.

公开(公告)号：KR101363182B1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：KR1020087013869

申请日：2006-11-01

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 북바인더,다나,씨. ,  피아코,리차드,엠. ,  노이키르히,울리히

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

Abstract: 개시되는 내용은 약 300nm 미만의 파장에서 작동하는 리소그래피 장치의 리소그래피 조사의 광 경로에 사용될 수 있는 OD-도핑 합성 실리카 유리를 포함한다. OD-도핑된 합성 실리카 유리는 동등한 OH 농도를 갖는 비-OD-도핑된 실리카 유리에 비하여 현저히 낮은 편파-유발 복굴절을 갖는다는 것이 확인되었다. 또한 OD-도핑된 합성 실리카 유리를 제조하는 방법이 개시되며, 그러한 유리를 포함하는 광학 부재, 그러한 광학 부재를 포함하는 리소그래피 시스템이 개시된다. 상기유리는 특히, 약 193nm에서의 현저히 낮은 편파-유발 복굴절 값 때문에 이머젼 리소그래피 시스템에 적합하다.
리소그래피, 복굴절, 광학부재, 실리카 유리, 도핑

公开(公告)号：KR1020080065703A

公开(公告)日：2008-07-14

申请号：KR1020087013869

申请日：2006-11-01

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 북바인더,다나,씨. ,  피아코,리차드,엠. ,  노이키르히,울리히

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-dopes synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制备OD-掺杂合成二氧化硅玻璃，包括这种玻璃的光学部件以及包括这种光学部件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：KR1020010099882A

公开(公告)日：2001-11-09

申请号：KR1020017007902

申请日：1999-11-30

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 알란,더글러스,시. ,  보렐리,니콜라스,에프. ,  파자르도,제임스,시. ,  피아코,리차드,엠. ,  하우토프,데니얼,더블유. ,  웨스트,제임스,에이.

IPC: G02B6/028 ,  G02B6/02

Abstract: 복수의 클래드 로드(10)에 의해 둘러싸인 하나 또는 그 이상의 코어 로드(14)의 어셈블리인 광도파관 섬유 예형이 개시된다. 클래드 로드(10)는 중심부(12) 및 둘러싸는 층(22)를 갖고, 중심부의 굴절율은 둘러싸는 층의 굴절율보다 낮다. 예형은 두개의 성분의 클래드 층을 갖는 광도파관 섬유로 인발된다. 중심부(12) 및 둘러싸는 층의 적절한 선택은 무한한 단일 모드인 도파관 섬유를 제공한다. 선택적인 실시예는 섬유 감광성을 향상시키거나 또는 도파관 섬유에서 응력 유도 또는 비대칭 굴절율 유도 복굴절을 제공하는 도펀트를 함유하는 섬유를 포함한다.