실리콘 기판위에 단결정 CdTe 박막을 제조하는 방법
    4.
    发明授权
    실리콘 기판위에 단결정 CdTe 박막을 제조하는 방법 有权
    Si衬底上单晶CdTe层的生长方法

    公开(公告)号:KR101134568B1

    公开(公告)日:2012-04-13

    申请号:KR1020100036773

    申请日:2010-04-21

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 본 발명은 실리콘 기판위에 단결정 카드늄텔루라이드 (CdTe) 박막을 성장시키는 방법에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명에 따른 제조 방법은 1) 실리콘 기판 위에 자연산화막을 제거하는 단계; 2) 자연산화막이 제거된 상기 실리콘 기판위에 이종 화합물의 완충층을 두께를 조절하여 증착하는 단계; 3) 상기의 완충층 위에 CdTe 단결정을 성장하는 단계를 포함하는, 우수한 물성을 가지는 단결정의 CdTe 단결정 웨이퍼를 저가의 실리콘 기판위에 제조하는 방법을 제공한다.

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