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公开(公告)号:KR101530703B1
公开(公告)日:2015-06-22
申请号:KR1020130121591
申请日:2013-10-11
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: 상변화메모리소자및 이의제조방법이제공되고, 본발명의일 구현예에서상변화메모리소자는기판, 상기기판위에위치하는하부전극, GeBiSbTe, GeBiSnTe, GeBiSeTe, InBiSbTe, InBiSnTe, 또는 InBiSeTe 중어느하나이상을포함하는 4원소계상변화물질층, 그리고상기 4원소계상변화물질층위에위치하는상부전극을포함할수 있다.
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公开(公告)号:KR1020150042654A
公开(公告)日:2015-04-21
申请号:KR1020130121591
申请日:2013-10-11
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: 상변화메모리소자및 이의제조방법이제공되고, 본발명의일 구현예에서상변화메모리소자는기판, 상기기판위에위치하는하부전극, GeBiSbTe, GeBiSnTe, GeBiSeTe, InBiSbTe, InBiSnTe, 또는 InBiSeTe 중어느하나이상을포함하는 4원소계상변화물질층, 그리고상기 4원소계상변화물질층위에위치하는상부전극을포함할수 있다.
Abstract translation: 提供一种相变存储器件及其制造方法。 根据本发明的一个实施例,相变存储器件包括衬底,位于衬底上的底电极,包含GeBiSbTe,GeBiSnTe,GeBiSeTe,InBiSbTe,InBiSnTe或InBiSeTe的基于4元素的相变材料层 ,以及位于基于4元素的相变材料层上的顶部电极。
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