-
1.发明授权폴리머 패턴 형성방법 및 이를 이용한 금속 박막 패턴,금속 패턴, 플라스틱 몰드 구조 및 이들의 형성방법 有权形成聚合物图案和金属膜图案的方法，金属图案，使用其的塑料模具结构及其形成方法
公开(公告)号：KR100649937B1
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：KR1020060082969
申请日：2006-08-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/0272 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00166 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2014 , H01L21/0274 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , Y10T428/24479 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 종래 리소그래피 공정에 따른 수단 및 방법을 달리하여 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴, 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴 및 플라스틱 몰드구조 및 그 형성방법 등에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 폴리머 패턴 형성방법은 기판 위에 폴리머 패턴을 형성하는 방법에 있어서, (a) 상기 기판 위에 감광성 폴리머를 도포하여 폴리머 막을 형성하는 단계와, (b) 상기 폴리머 막 상에 포토마스크를 배치하는 단계 및 (c) 상기 포토마스크를 통하여 임의의 방향으로 진행하는 광을 상기 폴리머 막에 조사하여, 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 상기 기판과 수직방향으로 오목한 패턴을 형성하고 상기 기판과 수평방향으로 연장되도록 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 오목한 패턴의 수직 단면은 하나 이상의 곡면을 갖는 원 또는 타원의 형상이고, 상기 원 또는 타원의 중심 위쪽의 상부가 일직선상으로 절단되어 있다.
둥근 단면, 커브드(curved), 폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 칸틸레버 빔(cantilever beam), 마이크로렌즈(microlens), 마이크로 플루이틱 채널(micro fluidic channel)-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100634315B1
公开(公告)日：2006-10-16
申请号：KR1020050009815
申请日：2005-02-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00
CPC classification number: H01L21/0272 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00166 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2014 , H01L21/0274 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , Y10T428/24479 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 종래 리소그래피 공정에 따른 수단 및 방법을 달리하여 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴, 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴 및 플라스틱 몰드구조, 그의 형성방법에 관한 것이다.
이와 같은 본 발명의 폴리머 패턴은 기판 위에 소정의 형상으로 형성된 폴리머 패턴에 있어서, 상기 폴리머 패턴은 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 상기 기판과 수직방향으로 오목한 패턴으로 형성되고, 상기 기판과 수평방향으로 연장되는 하나 이상의 패턴을 가지며, 상기 오목한 패턴의 수직 단면은 하나 이상의 곡면을 갖는 원 또는 타원의 형상이고, 상기 원 또는 타원의 중심 위쪽의 상부가 일직선상으로 절단되어 있다.
둥근 단면, 커브드(curved), 폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 칸틸레버 빔(cantilever beam), 마이크로렌즈(microlens), 마이크로 플루이틱 채널(micro fluidic channel)-
公开(公告)号：KR1020060029125A
公开(公告)日：2006-04-04
申请号：KR1020050009815
申请日：2005-02-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00
CPC classification number: H01L21/0272 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00166 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2014 , H01L21/0274 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , Y10T428/24479 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 종래 리소그래피 공정에 따른 수단 및 방법을 달리하여 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴, 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴 및 플라스틱 몰드구조, 그의 형성방법에 관한 것이다.
이와 같은 본 발명의 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴의 형성방법은 (a) 상기 기판 위에 감광성 폴리머를 도포하여 막을 형성하는 단계; (b) 상기 폴리머 막 상에 포토마스크를 위치하는 단계; 및 (c) 상기 포토마스크 상에서 임의의 방향으로 진행하는 광을 이용하여 상기 폴리머 막에 조사하여, 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 기판과 수직방향으로 오목한 패턴으로 형성하고 기판과 수평방향으로 연장되도록 하나 이상의 패턴을 형성하 는 단계;를 포함하며, 본 발명의 폴리머 패턴은 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 기판과 수직방향으로 오목한 패턴으로 형성되고, 상기 기판과 수평방향으로 연장되는 하나 이상의 패턴을 가지며, 상기 오목한 패턴의 수직 단면은 하나 이상의 곡면을 갖도록 형성된다.
둥근 단면, 커브드(curved), 폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 칸틸레버 빔(cantilever beam), 마이크로렌즈(microlens), 마이크로 플루이틱 채널(micro fluidic channel)-
公开(公告)号：KR100726737B1
公开(公告)日：2007-06-11
申请号：KR1020050059825
申请日：2005-07-04
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H04N5/7458
Abstract: 본 발명은 마이크로렌즈 어레이와 마이크로미러 어레이를 이용한 프로젝션 디스플레이 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마이크로렌즈 어레이와 마이크로미러 어레이를 이용한 프로젝션 디스플레이 장치는, 광원으로부터 소정 거리만큼 이격된 기판과 입사되는 입사광에 대하여 일정한 크기의 입사각을 가지도록 기판의 표면에 회동가능하게 설치되는 다수의 마이크로미러 어레이와 각각의 마이크로미러 어레이에 대응되는 다수의 마이크로렌즈 어레이가 형성되며, 광원과 기판 사이의 소정의 위치에 설치되는 제1 마이크로렌즈 어레이에 대응되는 다수의 마이크로미러가 형성되며, 마이크로미러로부터 반사된 반사광이 진행하는 경로상에 설치되는 제2 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 프로젝션 디스플레이 장치를 특징으로 이루어진다.
제1 마이크로렌즈 어레이, 제2 마이크로렌즈 어레이, 마이크로미러 어레이, 제3 마이크로렌즈 어레이, 초점-
5.发明公开폴리머 패턴 형성방법 및 이를 이용한 금속 박막 패턴,금속 패턴, 플라스틱 몰드 구조 및 이들의 형성방법 有权形成聚合物图案和金属膜图案的方法，金属图案，使用其的塑料模具结构及其形成方法
公开(公告)号：KR1020060100340A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020060082969
申请日：2006-08-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/0272 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00166 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2014 , H01L21/0274 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , Y10T428/24479 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 종래 리소그래피 공정에 따른 수단 및 방법을 달리하여 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴, 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴 및 플라스틱 몰드구조 및 그 형성방법 등에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 폴리머 패턴 형성방법은 기판 위에 폴리머 패턴을 형성하는 방법에 있어서, (a) 상기 기판 위에 감광성 폴리머를 도포하여 폴리머 막을 형성하는 단계와, (b) 상기 폴리머 막 상에 포토마스크를 배치하는 단계 및 (c) 상기 포토마스크를 통하여 임의의 방향으로 진행하는 광을 상기 폴리머 막에 조사하여, 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 상기 기판과 수직방향으로 오목한 패턴을 형성하고 상기 기판과 수평방향으로 연장되도록 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 오목한 패턴의 수직 단면은 하나 이상의 곡면을 갖는 원 또는 타원의 형상이고, 상기 원 또는 타원의 중심 위쪽의 상부가 일직선상으로 절단되어 있다.
둥근 단면, 커브드(curved), 폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 칸틸레버 빔(cantilever beam), 마이크로렌즈(microlens), 마이크로 플루이틱 채널(micro fluidic channel)-
公开(公告)号：KR1020070004320A
公开(公告)日：2007-01-09
申请号：KR1020050059825
申请日：2005-07-04
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H04N5/7458
Abstract: A projection display device is provided to increase light utilizing efficiency and improve the picture quality of a projection screen by using a micro-lens array and a micro-mirror array. A substrate(40) is distanced from a light source at a predetermined interval. A plurality of micro-mirrors(30) is rotatively installed on a surface of the substrate so that each of the micro-mirrors has a predetermined sized incident angle with respect to an incident light. A first micro-lens array(70) is disposed between the light source and the substrate, and has a plurality of first micro-lenses corresponding to the micro-mirrors. A second micro-lens array(80) is disposed on an advancing path of a reflected light, which is reflected from the micro-mirrors. The second micro-lens array has a plurality of second micro-lenses corresponding to the micro-mirrors.
Abstract translation: 提供投影显示装置，以通过使用微透镜阵列和微镜阵列来增加光利用效率并提高投影屏的图像质量。 衬底（40）以预定的间隔与光源隔开。 多个微反射镜（30）被旋转地安装在基板的表面上，使得每个微反射镜相对于入射光具有预定尺寸的入射角。 第一微透镜阵列（70）设置在光源和衬底之间，并且具有对应于微镜的多个第一微透镜。 第二微透镜阵列（80）设置在从微反射镜反射的反射光的前进路径上。 第二微透镜阵列具有对应于微镜的多个第二微透镜。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.019 seconds)
