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公开(公告)号：KR101346583B1
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：KR1020130058564
申请日：2013-05-23
Applicant: 한국기계연구원 , (주)에스엠인스트루먼트
CPC classification number: H04R31/006 , G01S3/808 , H04R1/04 , H04R2201/003
Abstract: The present invention relates to a sound measuring apparatus with a flexible substrate using a MEMS microphone and a manufacturing method thereof. The purpose of the present invention is to provide the sound measuring apparatus with the flexible substrate using the MEMS microphone and the manufacturing method thereof, capable of easily and stably being attached to a complex structure by flexibly changing a shape by forming the MEMS microphone on the flexible substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用MEMS麦克风的柔性基板的声音测量装置及其制造方法。 本发明的目的是提供具有使用MEMS麦克风的柔性基板的声音测量装置及其制造方法，其能够通过在MEMS传感器上形成MEMS麦克风来灵活地改变形状而容易且稳定地附着到复杂结构 柔性基材。
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公开(公告)号：WO2018101635A2
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：PCT/KR2017/012644
申请日：2017-11-09
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G06K9/00
Abstract: 본 발명은 트랜스듀서의 특성이 변화됨으로써, 초음파를 이용하여 손가락의 생체정보를 인식할 때, 초음파의 인식율을 높이고, 손가락의 생체정보 인식에 대한 정밀도를 향상시킬 수 있도록 하는 손가락 생체정보 인식모듈과, 이것이 적용된 전자기기, 그리고 이를 위한 트랜스듀서의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 손가락 생체정보 인식모듈은 손가락을 향해 초음파를 출력하고 손가락에서 반사되어 되돌아오는 초음파를 수신하는 트랜스듀서 및 트랜스듀서가 초음파를 출력하도록 하고 트랜스듀서와 송수신되는 초음파가 손실없이 전달되도록 트랜스듀서에 적층되는 음파제어부재 및 전기적으로 접속되어 수신되는 초음파에 따라 손가락의 생체정보를 감지하는 신호처리유닛을 포함한다.
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公开(公告)号：WO2020130608A2
公开(公告)日：2020-06-25
申请号：PCT/KR2019/017939
申请日：2019-12-18
Applicant: 재단법인 파동에너지 극한제어연구단 , 한국기계연구원
IPC: C01B32/184 , B01J19/08 , B01J8/00
Abstract: 본 발명은 도체에 전류를 흘려 열을 발생시키는 줄 히팅(Joule heating)을 이용한 그래핀 제조장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 그래핀 합성을 위한 공간이 마련되는 챔버; 및 상기 챔버 내부에서 서로 이격되게 배치되어, 상기 챔버 내부를 관통하는 촉매금속을 지지하고 그래핀 합성을 위해 전류를 공급받아 상기 촉매금속을 줄 히팅하는 제1 롤러부 및 제2 롤러부;를 포함하며, 상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부 사이를 통과하는 상기 촉매금속의 온도편차를 보상하기 위하여, 상기 제1 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제1 영역과 상기 제2 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제2 영역이 서로 마주하는 이동경로를 가지도록 배치되는 특징을 개시한다.
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4.发明申请
公开(公告)号：WO2017176008A1
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：PCT/KR2017/003535
申请日：2017-03-31
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G06K9/00 , A61B5/1172 , H03H7/38
Abstract: 초음파의 인식율을 높이고, 지문 인식에 대한 정밀도를 향상시킬 수 있는 지문인식모듈과, 이것이 적용된 전자기기, 그리고 이를 위한 음파제어부재의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 지문인식모듈은 지문이 접촉되는 접촉부재와, 접촉부재로 초음파 신호를 출력하고 접촉부재에서 반사되는 초음파 신호를 수신하는 트랜스듀서와, 접촉부재와 트랜스듀서 사이에 충진되어 접촉부재와 트랜스듀서 사이에서 초음파 신호를 전달하는 임피던스매칭부재와, 접촉부재와 트랜스듀서 사이에 삽입되고 임피던스매칭부재가 내부에 충진되는 음파제어부재 및 트랜스듀서와 전기적으로 접속되어 수신되는 초음파 신호에 따라 지문을 감지하는 신호처리유닛을 포함한다.
Abstract translation:
提高超声波的识别率，制造用于指纹模块的声波控制构件，以改善指纹识别的准确度的方法，以及电子设备施加到这一点，并于此。 为此，所述指纹模块的换能器和输出的超声波信号，以一个接触部件和接触部件，其是指纹之间填充是在接触和接收超声信号从接触构件，所述接触构件和所述换能器接触构件和所述换能器反射的 和阻抗，用于发送所述接触构件和所述变压器之间的超声波信号匹配部件被插入所述换能器阻抗匹配元件之间连接到所述声波控制部件和换能器和电，以在其中，用于根据接收到的超声波信号来检测指纹被填充 和一个信号处理单元。
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公开(公告)号：WO2018101635A3
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：PCT/KR2017/012644
申请日：2017-11-09
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G06K9/00
Abstract: 본 발명은 트랜스듀서의 특성이 변화됨으로써, 초음파를 이용하여 손가락의 생체정보를 인식할 때, 초음파의 인식율을 높이고, 손가락의 생체정보 인식에 대한 정밀도를 향상시킬 수 있도록 하는 손가락 생체정보 인식모듈과, 이것이 적용된 전자기기, 그리고 이를 위한 트랜스듀서의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 손가락 생체정보 인식모듈은 손가락을 향해 초음파를 출력하고 손가락에서 반사되어 되돌아오는 초음파를 수신하는 트랜스듀서 및 트랜스듀서가 초음파를 출력하도록 하고 트랜스듀서와 송수신되는 초음파가 손실없이 전달되도록 트랜스듀서에 적층되는 음파제어부재 및 전기적으로 접속되어 수신되는 초음파에 따라 손가락의 생체정보를 감지하는 신호처리유닛을 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2013168868A1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：PCT/KR2012/010259
申请日：2012-11-29
Applicant: 한국기계연구원 , 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0257 , B81C1/00698 , C25D1/08 , C25D3/04 , C25D3/12 , C25D3/38 , C25D3/44 , C25D3/46 , C25D3/54 , C25D3/56 , C25D5/02 , C25D5/34 , C25D7/12 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 듀얼 백플레이트를 갖는 MEMS 마이크로폰 및 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 마이크로폰은 중앙부에 제1 백플레이트가 형성되는 기판; 상기 기판 상부 양측에 형성되는 제1 지지부 상부에 배치되고, 외부 음압에 따라 진동하는 멤브레인판; 상기 멤브레인판 상부 양측에 형성되는 제2 지지부 상부에 배치되는 제2 백플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 公开了具有双背板的MEMS麦克风及其制造方法。 根据本发明的实施例的MEMS麦克风包括：基板，第一背板设置在基板的中心部分上; 设置在设置在所述基板的上表面的两侧的每一侧上的第一支撑部上的膜板，所述膜板根据外部声压而振荡; 以及第二背板，其设置在设置在所述膜板的上表面的两侧的每一侧的第二支撑部上。
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公开(公告)号：KR1020160054832A
公开(公告)日：2016-05-17
申请号：KR1020140154343
申请日：2014-11-07
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은유연소재가적용된압전박막소자의제작방법및 이를적용한박막소자에관한것이다. 또한, 본발명은기판(100) 상에지지막(200)을적층하는지지막적층단계(S1); 상기지지막(200) 상에제1 전극막(300)을적층하는제1 전극막적층단계(S2); 상기제1 전극막(300) 상에압전소재(400)를증착또는적층하는압전소재적층단계(S3); 상기압전소재(400) 상에제2 전극막(500)을적층하는제2 전극막적층단계(S4); 상기지지막(200) 상에적층된층들을둘러싸도록유연소재(600)로코팅하는유연소재코팅단계(S5); 및상기기판(100)의일부또는전체를제거하는기판제거단계(S6); 로이루어지는유연소재가적용된압전박막소자의제작방법에관한것이며, 이를이용한유연소재가적용된압전박막소자에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造柔性材料的压电薄膜元件的制造方法和使用其的压电薄膜元件。 本发明的目的是通过在该过程中施加柔性材料来提供压电元件。 制造方法包括：（S1）用于在基板（100）上层叠支撑膜（200）的支撑膜层压步骤; （S2）第一电极膜层压步骤，用于将第一电极膜（300）层压在支撑膜（200）上; （S3）用于在第一电极膜（300）上沉积或层叠压电元件（400）的压电元件层压步骤（S3）; （S4）第二电极层叠步骤，用于将第二电极膜（500）层压在压电元件（400）上; （S5）柔性元件涂布步骤，用于涂覆柔性材料（600）以围绕层压在支撑膜（200）上的膜; 以及去除基板（100）的全部或一部分的基板去除工序（S6）。
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公开(公告)号：KR101615106B1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：KR1020150044053
申请日：2015-03-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판의두께방향중앙에진동막이배치되도록기판의일측과타측을습식식각법을이용하여가공하여공정시 진동막과후판의손상을최소화하고, 제조비용을절감한 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风及其制造方法在基板的厚度方向的中心配置振动膜，以处理一侧和另一侧 通过湿式蚀刻来最小化振动膜和后板的损坏，并节省制造成本。
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公开(公告)号：KR1020140137158A
公开(公告)日：2014-12-02
申请号：KR1020130057711
申请日：2013-05-22
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: 본 발명은 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 1칩형 MEMS 마이크로폰의 구조를 개선하여 부품 수 및 공정 수 저감, 부품 재질 교체를 통한 강성 강화 및 비용 절감, 감도 및 성능 향상을 얻을 수 있도록 하는, 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법을 제공함에 있다.
Abstract translation: 1芯片型MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。 本发明的目的是提供一种1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。 改进了现有的1芯片式MEMS麦克风的结构，从而减少了部件和工艺的数量，通过更换部件材料来提高刚性，节省成本，提高灵敏度和性能。
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公开(公告)号：KR101462375B1
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR1020140080800
申请日：2014-06-30
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H01L29/84 , H04R19/04 , H04R2201/003
Abstract: 본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种微机电系统（MEMS）麦克风。 根据本发明的实施例的MEMS麦克风包括：多个侧槽，其沿着膜的周边以预定的间隙形成在其间并且从膜的周边凹陷到中心; 连接单元，其形成在相邻的侧槽之间，以固定到支撑单元; 以及形成在联接单元上的多个船队。
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