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    실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법
    3.
    发明授权
    실리카에 세리아/실리카가 코팅된 화학적 기계적 연마용연마재 및 그 제조방법 有权
    用于CMP浆料的二氧化硅/二氧化铈/二氧化硅复合颗粒及其制备方法

    公开(公告)号：KR100574225B1

    公开(公告)日：2006-04-26

    申请号：KR1020030070684

    申请日：2003-10-10

    Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) ,  주식회사 동진쎄미켐

    Inventor： 정수철 ,  이승호 ,  임형미 ,  유대선 ,  고경범 ,  박종대

    IPC: C09K3/14

    CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1445 ,  C09K3/1463

    Abstract: 본 발명은 실리카 코어 100 중량부에 대해 제 1쉘로서 세리아 입자가 5 내지 30 중량부의 비율로 코팅한 코어/쉘 입자를 100℃ 이상 350℃ 이하의 온도에서 수열처리하여 코어/쉘 입자의 외부 표면이 제 2쉘인 실리카로서 2 ㎚ 이하의 두께로 얇게 재코팅된 것을 특징으로 하는 실리카에 세리아/실리카가 코팅된 CMP용 연마재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
    본 발명의 CMP용 연마재는 첫째 방법으로서는 ⅰ) 질산세륨 수용액에 암모니아수를 첨가하고 교반시켜 세리아 입자가 생성된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)에서 제조한 세리아 입자 현탁액에 콜로이달 실리카 슬러리를 첨가하여 교반시켜 세리아 입자가 실리카 코어의 표면에 코팅된 실리카-세리아 코팅 입자를 제조하는 단계; ⅲ) 교반이 끝난 상기 ⅱ)의 반응물을 세척액인 증류수를 사용하여 원심분리 및 필터링하여 슬러리 속에 포함된 과잉의 염을 세척하는 단계; ⅳ) 상기 ⅲ)에서 세척한 슬러리를 수열처리하여 실리카-세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
    둘째 방법으로서는 ⅰ) 세리아 졸을 실리카 졸과 혼합하여 세리아 입자가 실리카 입자 표면에 정전기적으로 코팅된 현탁액을 제조하는 단계; ⅱ) 상기 ⅰ)의 현탁액을 수열처리하여 세리아 입자 표면에 실리카가 얇게 코팅된 입자를 제조하는 단계; 를 거쳐 제조되어진다.
    본 발명의 CMP용 연마재는 실리카 코어에 세리아 입자를 코팅하고, 그리고 수열처리에 의해 실리카 입자와 세리아 입자 간에 결합력이 향상하고, 실리카 표면에 세리아 입자 수와 결정성이 증가하며, 세리아 입자 표면을 실리카로 코팅하므로서 수열처리하지 않은 실리카-세리아 슬러리보다 연마율이 향상될 뿐만 아니라 스크래치가 발생되지 않고, 사용되는 원자재가 저렴하며, 단순한 제조공정으로 인하여 대량생산이 가능하다.
    특히, 세리아 입자 표면에 실리카의 코팅으로 넓은 pH 영역에서도 상당히 안정하여 응집이 일어나지 않아 장기간 보관이 가능하고, 웨이퍼의 세척이 용이하며, 슬러리의 분산성이 우수하여 연마공정 동안 웨이퍼들 간 혹은 웨이퍼 내에 거의 동일한 연마율을 나타내어 사용 유효기간이 길다는 장점이 있다.
    실리카, 코어, 세리아, 혼합, 쉘, 코팅, CMP용, 연마재, 수열처리, 세륨염

    항균력이 우수한 나노 크기의 은 담지 인산지르코늄분말의 제조방법
    6.
    发明授权
    항균력이 우수한 나노 크기의 은 담지 인산지르코늄분말의 제조방법 失效
    具有改善抗菌性能的Ag掺杂纳米磷酸锆粉末的制备方法

    公开(公告)号：KR100495698B1

    公开(公告)日：2005-06-20

    申请号：KR1020020041932

    申请日：2002-07-18

    Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)

    Inventor： 최현규 ,  오경식 ,  김경자 ,  정영근 ,  정수철

    IPC: B82B3/00 ,  B82Y40/00

    Abstract: 본 발명은 항균력이 우수한 나노 크기의 은 담지 인산지르코늄 분말의 제조방법에 관한 것으로서, 지르코늄화합물과 인산화합물을 이용하여 수용액 침전법으로 인산지르코늄을 제조하는 방법에 있어서 P/Zr의 몰 비 및 교반속도를 조절, 세척공정, 이온교환공정을 확립하여 높은 수율과 단시간에 결정질의 인산지르코늄을 얻을 뿐만 아니라 교반속도의 증가에 따른 균일 핵생성에 의해 입자를 미립화 시켜 항균제의 담체로 사용 시 수십 나노 크기를 가지는 은 이온 담지 인산지르코늄 항균분말의 제조방법에 관한 것이다.

    표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법
    8.
    发明授权
    표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
    具有用于化学机械抛光的表面涂层的胶体二氧化硅的制造方法

    公开(公告)号：KR100613147B1

    公开(公告)日：2006-08-17

    申请号：KR1020040041496

    申请日：2004-06-07

    Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) ,  주식회사 동진쎄미켐

    Inventor： 정수철 ,  이승호 ,  임형미 ,  유대선 ,  박종대 ,  신영섭

    IPC: C01B33/14

    Abstract: 반도체 회로 배선용 금속막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는, 표면 코팅층을 포함하는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸에 포함된 금속이온을 제거하는 단계; 금속 이온이 제거된 실리카 졸에 가수분해 촉매 및 알코올 화합물을 첨가하고 가열하는 단계; 상기 가열된 실리카 졸 반응물에 실리콘 알콕사이드와 알코올 화합물의 혼합액을 첨가하는 단계; 및 상기 혼합액이 첨가된 반응액을 숙성(aging)시켜, 상기 금속 이온이 제거된 실리카 졸 시드(seed)에 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물을 코팅하는 단계를 포함한다. 또한 상기 콜로이달 실리카는 실리카 입자; 및 상기 실리카 입자의 표면에 코팅되어 있으며, 실리콘 알콕사이드 가수분해 생성물로 이루어진 표면 코팅층을 포함한다.
    콜로이달 실리카, TEOS, 표면 코팅, 가수분해, 고순도, 반도체, 금속막, 연마

    화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법
    9.
    发明授权
    화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조방법 有权
    用于化学机械抛光的胶体二氧化硅的制备方法

    公开(公告)号：KR100613142B1

    公开(公告)日：2006-08-17

    申请号：KR1020040041498

    申请日：2004-06-07

    Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) ,  주식회사 동진쎄미켐

    Inventor： 정수철 ,  이승호 ,  임형미 ,  유대선 ,  박종대 ,  신영섭

    IPC: C01B33/14

    Abstract: 반도체 회로 배선용 금속 막에 대한 연마속도 및 연마선택비가 우수하며, 순도가 높을 뿐만 아니라, 저가로 제조될 수 있는 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 화학 기계적 연마용 콜로이달 실리카의 제조 방법은 양이온 교환체에 염기성 실리카 졸을 통과시켜, 염기성 실리카 졸을 산성 실리카졸로 만드는 단계; 생성된 산성 실리카 졸을 수열 처리하는 단계; 및 수열 처리된 실리카 졸을 여과 및 정제하는 단계를 포함한다.
    콜로이달 실리카, 수열 처리, 양이온 교환체, 고순도, 구리막, 연마속도

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