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公开(公告)号:KR100576609B1
公开(公告)日:2006-05-04
申请号:KR1020030034680
申请日:2003-05-30
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 금강쿼츠
IPC: C03C10/14
Abstract: 본 발명은 반도체 장치 등에 사용되는 내플라즈마성 부재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 쿼츠 모재상에 졸겔법에 의해 형성된 플라즈마 내식성 코팅층을 포함하는 플라즈마 내식성 부재에 관한 것이다. 본 발명은 쿼츠 모재와, 상기 쿼츠 모재상에 형성되는 조밀한 제1층과, 상기 쿼츠 모재와 상기 제1층과의 사이에 개재되며 상기 제1층보다 높은 기공율을 갖는 완충층으로 구성된 코팅 구조를 포함하는 플라즈마 내식성 부재를 제공한다. 본 발명에 따르면 쿼츠 모재에 형성된 코팅층에 발생한 잔류 응력을 완화시킬 수 있다.
이트리아, 코팅, 잔류 응력, 기공성 완충층-
公开(公告)号:KR100481189B1
公开(公告)日:2005-04-11
申请号:KR1020020041930
申请日:2002-07-18
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
IPC: C01B25/32
Abstract: 본 발명은 항균력이 우수한 수산화 아파타이트의 제조방법에 관한 것으로서, 칼슘염과 인산염을 사용하여 침전법으로 수산화 아파타이트를 제조하는 방법에 있어서 침전된 수산화 아파타이트를 일정조건하에서 동결건조시킴으로써 건조과정에서 수산화 아파타이트 자체의 응집현상을 억제시켜 분산력을 개선함으로써 항균제의 담체로 사용시 항균특성을 향상시킬수 있는 수산화 아파타이트의 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020040101618A
公开(公告)日:2004-12-03
申请号:KR1020030033286
申请日:2003-05-26
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
IPC: C01B25/32
Abstract: PURPOSE: To prepare an inorganic silver doped hydroxy apatite that maintains an antimicrobial effect for a longer period of time. CONSTITUTION: In a method for preparing silver doped hydroxy apatite by using calcium compound and phosphorus compound as starting materials, the method comprises first process of coprecipitating silver ions when reacting the calcium compound and phosphorus compound in a Ca/P ratio range of 1.7 to 2.1; and second process of evaporating ammonia water by heating an obtained precipitate, wherein the first process is performed in an aqueous solution state, wherein the first process is performed under the condition that the aqueous solution has a pH of 9 to 12, and wherein an injection quantity of Ag in the first process is 0.01 to 10 mole% of that of Ca.
Abstract translation: 目的:制备无机银掺杂羟基磷灰石,保持长时间的抗菌效果。 构成:在以钙化合物和磷化合物为起始原料制备掺杂银的羟基磷灰石的方法中,该方法包括当Ca / P比范围为1.7至2.1时使钙化合物和磷化合物反应时,使银离子共沉淀的第一种方法 ; 以及通过加热获得的沉淀物来蒸发氨水的第二过程,其中第一工艺在水溶液状态下进行,其中第一工艺在水溶液的pH为9至12的条件下进行,并且其中注入 第一工序中的Ag的量为Ca的0.01〜10摩尔%。
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公开(公告)号:KR1020040008316A
公开(公告)日:2004-01-31
申请号:KR1020020041932
申请日:2002-07-18
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
CPC classification number: B22F9/24 , B22F1/0018 , B22F2301/205 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A method for making a silver-supported zirconium phosphate powder is provided to obtain crystalline zirconium phosphate at a high yield in the form of a microparticle for use as an inorganic anti-bacterial agent. CONSTITUTION: The method for making a nano-sized silver-supported zirconium phosphate powder comprises the step of forming zirconium phosphate by an aqueous solution precipitation process using a zirconium compound and a phosphate compound. In the method, the mole ratio of P/Zr is 2.5-4. Further, the method comprises the steps of: agitating at a speed of 500-1000 rpm, washing completely with distilled water and aqueous NaOH solution, and supporting silver by using a silver compound by an ion-exchange process.
Abstract translation: 目的:提供一种制造银负载型磷酸锆粉末的方法,以无机抗菌剂形式的微粒形式高收率地得到结晶性磷酸锆。 构成:制造纳米尺寸的银负载型磷酸锆粉末的方法包括通过使用锆化合物和磷酸盐化合物的水溶液沉淀法形成磷酸锆的步骤。 在该方法中,P / Zr的摩尔比为2.5-4。 此外,该方法包括以500-1000rpm的速度搅拌,用蒸馏水和NaOH水溶液彻底洗涤,并通过离子交换法使用银化合物负载银。
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公开(公告)号:KR100776252B1
公开(公告)日:2007-11-13
申请号:KR1020060057785
申请日:2006-06-27
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: A method for forming oxidation resistant multi-coating on carbon material is provided to manufacture the multi-coating having superior airtight property by coating a surface after a CVR process with carbosilane polymer. A method for forming anti-oxidative multi-coating on carbon material comprises a step of allowing carbon material to react with silicon gas or silicon oxidation gas, which is provided by pack power containing carbide, to deposit a first coating layer containing SiC on the surface of the carbon material. The carbon material having the first coating layer is coated with polycarbosilane solution to form a second coating layer. The carbon material is subject to a heat treatment process in order to form carbide by thermally decomposing the second coating layer. The polycarbosilane comprises at least one selected from the group consisting of polymethylcarbosilane, polymethylphenylcarbosilane, polyvinylcarbosilane and polymethylsilane.
Abstract translation: 提供了一种在碳材料上形成耐氧化多层涂层的方法,以通过在碳氢硅烷聚合物进行CVR处理之后涂覆表面来制造具有优异气密性的多层涂层。 用于在碳材料上形成抗氧化多层涂层的方法包括使碳材料与包含碳化物的包装电力提供的硅气体或硅氧化气体反应的步骤,以在表面上沉积含有SiC的第一涂层 的碳材料。 具有第一涂层的碳材料涂覆有聚碳硅烷溶液以形成第二涂层。 碳材料经受热处理工艺,以通过热分解第二涂层形成碳化物。 聚碳硅烷包括选自聚甲基碳硅烷,聚甲基苯基碳硅烷,聚乙烯基碳硅烷和聚甲基硅烷中的至少一种。
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公开(公告)号:KR1020050119541A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:KR1020040044659
申请日:2004-06-16
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 오스코텍
CPC classification number: A61L27/12 , A61F2/28 , A61L2430/02 , C01B25/32
Abstract: 본 발명은 골절 등으로 결함이 발생된 골조직을 수복하는 데 사용되는 골 충전재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 입도 및 치밀도를 조절함으로써 골유합성을 개선하는 골 충전재 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 서로 다른 상대밀도를 갖는 최소한 제1 유형 및 제2 유형의 인산칼슘계 화합물 입자로 구성되며, 상기 제1 유형 입자는 상대밀도가 90% 이상이며, 상기 제2 유형의 응집체의 입자는 상대밀도가 약 70% 이하이며, 상기 입자들은 평균 입경이 약 100 ~ 400 ㎛인 것을 특징으로 하는 분말형 골 충전재를 제공한다. 본 발명의 골 충전재는 밀도차에 의해 결정되는 선택적 용해 특성을 발휘하도록 설계되어 시술 후 골 전도 경로를 확보하고 효과적 골 수복 특성을 나타낸다.
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公开(公告)号:KR100495698B1
公开(公告)日:2005-06-20
申请号:KR1020020041932
申请日:2002-07-18
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 본 발명은 항균력이 우수한 나노 크기의 은 담지 인산지르코늄 분말의 제조방법에 관한 것으로서, 지르코늄화합물과 인산화합물을 이용하여 수용액 침전법으로 인산지르코늄을 제조하는 방법에 있어서 P/Zr의 몰 비 및 교반속도를 조절, 세척공정, 이온교환공정을 확립하여 높은 수율과 단시간에 결정질의 인산지르코늄을 얻을 뿐만 아니라 교반속도의 증가에 따른 균일 핵생성에 의해 입자를 미립화 시켜 항균제의 담체로 사용 시 수십 나노 크기를 가지는 은 이온 담지 인산지르코늄 항균분말의 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020040103632A
公开(公告)日:2004-12-09
申请号:KR1020030034680
申请日:2003-05-30
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 금강쿼츠
IPC: C03C10/14
CPC classification number: C03C17/3411 , C03C2217/228 , C03C2217/78 , C03C2218/113 , H01L23/15
Abstract: PURPOSE: A quartz glass coated with Y2O3, plasma-resistant member for a semiconductor manufacturing apparatus, is provided. The coating layers formed with Y2O3 prepared by sol-gel process have high porosity to reduce residual stress formed on the quartz preform. CONSTITUTION: The plasma-resistant member, quartz glass coated with Y2O3, has a quartz preform, a dense first Y2O3 layer formed on the quartz preform, a porous second Y2O3 layer between quartz preform and the first layer. The porous Y2O3 coating layer(more than 95% of porosity) is formed by the following steps of: (a) spin coating a quartz preform with Yttrium(Y) solution prepared by sol-gel process; (b) thermal-treating quartz preform coated with Y-solution at a lower temperature than the crystallization temperature of Y2O3, 600 deg.C; (c) quenching the preform to room temperature, preferably at a rate more than 300deg.C/min; (d) thermal-treating the quenched preform over the crystallization temperature(1000deg.C) and cooling slowly. The dense Y2O3 coating layer(37% of porosity) is formed by coating the porous Y2O3 layer with Y-solution, thermal-treating quartz preform coated with Y-solution at lower than 600deg.C, cooling slowly to room temperature, thermal-treating at 1000deg.C and cooling slowly. The thickness of layers is controlled by repeating the steps of a-c.
Abstract translation: 目的:提供涂覆有Y 2 O 3的石英玻璃,用于半导体制造装置的耐等离子体构件。 由溶胶 - 凝胶法制备的Y2O3形成的涂层具有高孔隙率,以减少在石英预制件上形成的残余应力。 构成:涂有Y2O3的耐等离子体构件石英玻璃具有石英预成型体,在石英预成型体上形成致密的第一Y 2 O 3层,在石英预制件与第一层之间的多孔第二Y 2 O 3层。 通过以下步骤形成多孔Y2O3涂层(孔隙率大于95%):(a)通过溶胶 - 凝胶法制备的钇(Y)溶液旋涂石英预制件; (b)在比Y2O3,600℃的结晶温度低的温度下热处理涂有Y溶液的石英预制件; (c)将预成型件淬火至室温,优选以大于300℃/分钟的速度淬火; (d)在结晶温度(1000℃)下热处理淬火预制件并缓慢冷却。 通过用Y溶液涂覆多孔Y 2 O 3层,用低于600℃的Y溶液涂覆的热处理石英预制件,缓慢冷却至室温,热处理形成致密的Y 2 O 3涂层(孔隙率的37%) 在1000℃,缓慢冷却。 通过重复a-c的步骤来控制层的厚度。
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公开(公告)号:KR100750190B1
公开(公告)日:2007-08-31
申请号:KR1020040044659
申请日:2004-06-16
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) , 주식회사 오스코텍
Abstract: 본 발명은 골절 등으로 결함이 발생된 골조직을 수복하는 데 사용되는 골 충전재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 입도 및 치밀도를 조절함으로써 골유합성을 개선하는 골 충전재 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 서로 다른 상대밀도를 갖는 최소한 제1 유형 및 제2 유형의 인산칼슘계 화합물 입자로 구성되며, 상기 제1 유형 입자는 상대밀도가 90% 이상이며, 상기 제2 유형의 응집체의 입자는 상대밀도가 약 70% 이하이며, 상기 입자들은 평균 입경이 약 100 ~ 400 ㎛인 것을 특징으로 하는 분말형 골 충전재를 제공한다. 본 발명의 골 충전재는 밀도차에 의해 결정되는 선택적 용해 특성을 발휘하도록 설계되어 시술 후 골 전도 경로를 확보하고 효과적 골 수복 특성을 나타낸다.
인산칼슘 화합물, 골 수복, 골 전도, 다공성 과립, 치밀성 과립, 골 충전재-
公开(公告)号:KR100495517B1
公开(公告)日:2005-06-14
申请号:KR1020030033286
申请日:2003-05-26
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
IPC: C01B25/32
Abstract: 본 발명은 항균지속력이 우수한 은담지 수산화 아파타이트 합성에 관한 것으로 칼슘염과 인산염을 이용한 침전법으로 수산화 아파타이트를 제조하는 방법에 있어서 은이온을 공침시켜 수산화 아파타이트 분말내에 고르게 분포하고 지속적으로 배출되도록 함으로써 항균효과의 지속시간과 백색도를 유지하는 시간을 연장한 무기 항균제의 합성법에 관한 것이다.
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