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公开(公告)号：KR100846148B1
公开(公告)日：2008-07-15
申请号：KR1020070002024
申请日：2007-01-08
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 본 발명은 고상 파우더를 이용한 증착박막의 형성방법 및 그 장치를 제공하기 위한 것으로, 증착원료인 고상 파우더를 수송 가스로써 에어로졸화한 후 에어로졸화된 미립자를 모재에 충돌시킴에 있어서 모재가 위치한 공간을 포함하는 영역을 간헐적으로 밀폐시킴으로써 간헐적으로 감압을 증폭시켜 에어로졸화된 미립자의 충돌속도를 가속화하여 충돌시킴으로써 상온에서 양질의 박막을 얻어내는 발명이다.
초음속, 박막-
公开(公告)号：KR100824339B1
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：KR1020060120363
申请日：2006-12-01
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
IPC: C23C16/00
Abstract: A three-dimensional chemical vapor deposition apparatus is provided to provide a product or a part with a three-dimensional coating having high quality by solving a temperature gradient problem, a concentration gradient problem, and a by-product problem, and a method for obtaining a three-dimensional coating having high quality using the apparatus is provided. A three-dimensional coating apparatus comprises: a reaction chamber having an internal space defined by a top face, a bottom face, and side faces; reaction gas showers which are installed on at least two faces of the top face, the bottom face, and the side faces of the reaction chamber to flow in reaction gas; exhaust pipes which are installed on at least two faces of the top face, the bottom face, and the side faces of the reaction chamber to flow out the reaction gas; a porous distribution plate installed within the reaction chamber adjacently to the reaction gas showers to atomize reaction gas flown in from the reaction gas showers; a plurality of heaters installed in the porous distribution plate; an exhaust mechanism connected to the exhaust pipes to exhaust the reaction gas in the reaction chamber; and a reaction gas inflow/outflow controller for controlling the reaction gas showers and the exhaust mechanism such that the reaction gas flows into at least one reaction gas shower selected from the reaction gas showers on the top face, the bottom face, and the side faces of the reaction chamber, and the reaction gas is exhausted to at least one exhaust pipe selected from the exhaust pipes on the top face, the bottom face, and the side faces of the reaction chamber, and changing the selected reaction gas shower or the selected exhaust pipe during the deposition process. The three-dimensional coating apparatus further comprises a gas introduction pipe(210) extending to a central part of the chamber, and a porous gas distributor(216) attached to an end of the gas introduction pipe.
Abstract translation: 提供一种三维化学气相沉积装置，通过解决温度梯度问题，浓度梯度问题和副产物问题来提供具有高质量的三维涂层的产品或部件，以及获得 提供了使用该设备具有高质量的三维涂层。 三维涂布装置包括：具有由顶面，底面和侧面限定的内部空间的反应室; 反应气体骤冷器，其安装在反应室的顶面，底面和侧面的至少两个面上，以在反应气体中流动; 排气管，其安装在反应室的顶面，底面和侧面的至少两个面上，以流出反应气体; 安装在与反应气体淋浴器相邻的反应室内的多孔分配板，以雾化从反应气体骤冷器流出的反应气体; 安装在多孔分配板中的多个加热器; 排气机构，与排气管连接，排出反应室内的反应气体; 以及用于控制反应气体喷射器和排气机构的反应气体流入/流出控制器，使得反应气体流入选自上表面，底面和侧面的反应气体淋浴中的至少一个反应气体淋浴 并且将反应气体排出到选自反应室的顶面，底面和侧面上的排气管中的至少一个排气管，并且改变所选择的反应气体淋浴或所选择的反应气体 排气管在沉积过程中。 三维涂布装置还包括延伸到室的中心部分的气体导入管（210）和附着在气体导入管的端部的多孔气体分配器（216）。
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公开(公告)号：KR100824328B1
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：KR1020060095428
申请日：2006-09-29
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 본 발명은 코팅 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 국부적인 양압과 마이크로 액적을 이용한 양압 코팅 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 본 발명의 특징은 (a) 일체형 반응조 내부 하단부에 위치한 기판을 가열하는 단계; (b) 상기 일체형 반응조 내부 상단부에 위치한 적어도 일부영역에 적어도 하나 이상의 분사부를 통하여 증착물질 성분의 전구체를 상기 반응조 내부로 주입하는 단계; 및 (c) 상기 전구체가 기판으로 하강하면서 상기 반응조 내부의 압력 분포를 반전시켜, 무화된 전구체를 상기 기판에 증착 시키는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명을 제공하게 되면, 코팅시약-용매 시스템에서 기화된 용매 및 첨가제가 국부적인 고압 혹은 양압을 유도하여 전구체 복합체들을 자연스럽게 기판부로 이동시켜 용이하게 박막제작이 가능하게 된다.
또한, 일반적인 투명전도막을 포함한 세라믹 박막에 필요한 고가의 장비 즉 고진공 장비가 필요하지 않아 다양한 세라믹 박막들을 손쉽게 제공하고, 연속적으로 공정할 수 있는 방법을 제공하여 제조단가를 낮추어 대량생산이 가능하게 된다.
양압, 반응조, 마이크로 액적, 코팅, 세라믹, 무화-
公开(公告)号：KR100776252B1
公开(公告)日：2007-11-13
申请号：KR1020060057785
申请日：2006-06-27
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: A method for forming oxidation resistant multi-coating on carbon material is provided to manufacture the multi-coating having superior airtight property by coating a surface after a CVR process with carbosilane polymer. A method for forming anti-oxidative multi-coating on carbon material comprises a step of allowing carbon material to react with silicon gas or silicon oxidation gas, which is provided by pack power containing carbide, to deposit a first coating layer containing SiC on the surface of the carbon material. The carbon material having the first coating layer is coated with polycarbosilane solution to form a second coating layer. The carbon material is subject to a heat treatment process in order to form carbide by thermally decomposing the second coating layer. The polycarbosilane comprises at least one selected from the group consisting of polymethylcarbosilane, polymethylphenylcarbosilane, polyvinylcarbosilane and polymethylsilane.
Abstract translation: 提供了一种在碳材料上形成耐氧化多层涂层的方法，以通过在碳氢硅烷聚合物进行CVR处理之后涂覆表面来制造具有优异气密性的多层涂层。 用于在碳材料上形成抗氧化多层涂层的方法包括使碳材料与包含碳化物的包装电力提供的硅气体或硅氧化气体反应的步骤，以在表面上沉积含有SiC的第一涂层 的碳材料。 具有第一涂层的碳材料涂覆有聚碳硅烷溶液以形成第二涂层。 碳材料经受热处理工艺，以通过热分解第二涂层形成碳化物。 聚碳硅烷包括选自聚甲基碳硅烷，聚甲基苯基碳硅烷，聚乙烯基碳硅烷和聚甲基硅烷中的至少一种。
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公开(公告)号：KR100888769B1
公开(公告)日：2009-03-17
申请号：KR1020070009287
申请日：2007-01-30
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 본 발명은 입자간 및 기판과의 사이에 결합력을 제고하면서 보다 큰 비표면적을 제공할 수 있는 나노 입자 집적화막 형성방법에 관한 것이다. 본 발명은 액상 전구체를 분무하는 단계, 분무된 액적을 가열실로 도입하는 단계, 가열실에서 상기 액적을 가열하여 기상 나노입자를 생성하는 단계, 상기 기상 나노 입자를 증착실로 도입하는 단계 및 상기 도입된 기상 나노 입자를 기판에 증착하여 나노입자막을 형성하는 단계를 포함하는 나노 입자 집적화 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 나노 입자의 물성과 입자간 및 기판과의 사이에 결합력을 유지하면서 높은 비표면적을 나타내어 기존의 방법에서는 제공할 수 없었던 새로운 형태의 새로운 물성을 갖는 고집적 나노입자막을 제공할 수 있게 된다.
나노입자, 고집적화, NGF, 가지, 비표면적-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100842850B1
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：KR1020060128368
申请日：2006-12-15
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 양극산화법을 이용하여 모재표면에 자기 정렬된 산화물 나노세공(Nanopore)을 제공하는 방법 및 이에 의해 제조되는 피막 부재에 관한 것이다. 본 발명은, 모재의 표면에 다공성 산화물 피막을 형성하는 방법에 있어서, 모재에 전압을 인가하여 1차 양극 산화를 하는 단계; 상기 1차 양극 산화 단계에서 형성된 피막을 제거하여 모재 표면에 프리텍스쳐를 형성하는 단계; 및 프리텍스쳐가 형성된 모재에 1차 양극산화 때보다 낮은 전압을 인가하여 상기 모재를 2차 양극 산화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 다공성 피막 형성 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 불규칙적인 나노 세공이 집단별로 일정한 패턴으로 배열되어 자기 정렬된 나노 세공 피막 부재를 제공할 수 있게 되며, 종래에는 얻을 수 없었던 20 nm 이하의 나노 세공의 자기 정렬도 본 발명의 방법에 의해 가능하다. 본 발명은 고밀도 디바이스, CNT 디바이스, 포토닉 디바이스등 차세대 나노디바이스 및 나노응용 기술에 큰 역할을 할 것이다.
양극산화, 자기조립, 나노세공-
公开(公告)号：KR1020080026686A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：KR1020060091523
申请日：2006-09-21
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: A sintering method of heavy metals at an ultra-low temperature of 1500 deg.C or less that is far lower than their melting points, and sintered heavy metals produced by the same are provided. A sintering method of heavy metal powder comprises the steps of: providing a metal powder having an average particle diameter of 10 nm prepared by pyrolyzing a metal carbonyl; and heat-treating the metal powder at a temperature of 900 to 1500 deg.C to sinter the metal powder. A sintered heavy metal is produced by sintering a heavy metal powder with FCC(Face Centered cubic) structure selected from the group consisting of Mo, Cr, W, Rh, Ru, Re, and Os at a temperature of 500 to 1500 deg.C, and has a sintering density of 90% or more and BCC(Body Centered Cubic) structure. The sintered heavy metal is an alloy of the metal. The sintered heavy metal is a composite material. In a method for producing a metal nanopowder by pyrolyzing an organic metal reagent containing at least one ring-shaped hydrocarbon ligand with a precursor, the method comprises installing at least two embedding type ceramic heaters in a reactor and heating the heaters to produce a nanopowder.
Abstract translation: 提供了在低于其熔点的1500℃或更低的超低温下的重金属的烧结方法，以及由其制造的烧结重金属的烧结方法。 重金属粉末的烧结方法包括以下步骤：提供通过热解羰基金属制备的平均粒径为10nm的金属粉末; 并在900〜1500℃的温度下对金属粉末进行热处理，烧结金属粉末。 通过在500至1500℃的温度下通过用选自Mo，Cr，W，Rh，Ru，Re和Os的FCC（面心立方）结构烧结重金属粉末来制造烧结重金属。 ，并且具有90％以上的烧结密度和BCC（体心立方体）结构。 烧结重金属是金属的合金。 烧结重金属是复合材料。 在通过将含有至少一个环状烃配体的有机金属试剂与前体热解制造金属纳米粉末的方法中，该方法包括在反应器中安装至少两个嵌入式陶瓷加热器，并加热加热器以产生纳米粉末。
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公开(公告)号：KR100869065B1
公开(公告)日：2008-11-18
申请号：KR1020060091523
申请日：2006-09-21
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: 본 발명은 고융점 금속 및 그의 합금 및 복합재료를 초저온에서 소결하는 소결방법에 관한 것으로서, 금속 카르보닐을 열분해하여 제조되는 평균 입경 10 nm 이하인 금속 나노 분말을 제공하는 단계; 및 상기 금속 나노 분말을 900-1500도의 온도에서 열처리하는 단계를 포함하고 상기 열처리 과정에서 상기 금속 분말이 상전이 되는 것을 특징으로 하는 중금속 분말의 소결 방법을 제공한다.
나노입자, 텅스텐, 저온 소결-
公开(公告)号：KR1020080071272A
公开(公告)日：2008-08-04
申请号：KR1020070009287
申请日：2007-01-30
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
CPC classification number: C23C16/4486 , B82Y40/00
Abstract: A method for preparing high-density nanoparticle films is provided to produce high-density nanoparticle films having strong bonding between nanoparticles and nanoparticles and between nanoparticles and a substrate and a large specific surface area even without using organic materials and expensive equipment. A method for integrating nanoparticles includes the steps of: spraying a liquid-phase precursor; introducing the sprayed droplets into a heating chamber(II); heating the droplets in the heating chamber to produce gas-phase nanoparticles; introducing the gas-phase nanoparticles into a deposition chamber(III); and depositing the introduced gas-phase nanoparticles on a substrate to form a nanoparticle film. The method further comprises a step of introducing a reaction gas.
Abstract translation: 提供了一种制备高密度纳米颗粒膜的方法，以生产即使不使用有机材料和昂贵的设备，纳米颗粒和纳米颗粒之间以及纳米颗粒和基材之间以及大的比表面积也具有很强结合的高密度纳米颗粒膜。 纳米颗粒的整合方法包括以下步骤：喷涂液相前体; 将喷雾的液滴引入加热室（II）中; 加热加热室中的液滴以产生气相纳米颗粒; 将气相纳米颗粒引入沉积室（III）中; 并将引入的气相纳米颗粒沉积在基底上以形成纳米颗粒膜。 该方法还包括引入反应气体的步骤。
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公开(公告)号：KR1020080065080A
公开(公告)日：2008-07-11
申请号：KR1020070002024
申请日：2007-01-08
Applicant: 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
Abstract: Method and device for forming a deposition film using solid powder material are provided to accelerate collision velocity of aerosol particles to a base material by increasing an initial pressure of a transfer gas by reducing vacuum degree of a deposition part and increasing an instant supply amount of the transfer gas. A method of forming a deposition film using solid powder material comprises the steps of: forming raw powder into aerosols by supplying external transfer gas into space where the raw powder having a size larger than 1nm, and forming a thin film by spraying aerosol particles to space where a base material is placed, where collision velocity of the aerosol particles is increased by causing amplified decompression by intermittently closing a region including the space where the base material is placed.
Abstract translation: 提供了使用固体粉末材料形成沉积膜的方法和装置，以通过降低沉积部件的真空度来增加转移气体的初始压力，从而加速气溶胶颗粒与基材的碰撞速度， 转移气体。 使用固体粉末材料形成沉积膜的方法包括以下步骤：通过将外部转移气体供给到尺寸大于1nm的原料粉末的空间中，将原料粉末形成气溶胶，并通过将气溶胶颗粒喷涂到空间上形成薄膜 其中放置基材，通过间歇地封闭包括放置基材的空间的区域，通过引起放大的减压来增加气溶胶颗粒的碰撞速度。
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