公开(公告)号：KR1020130113552A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：KR1020120035781

申请日：2012-04-06

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  김판겸 ,  권영우 ,  오현석 ,  전정우 ,  이지웅 ,  최찬규

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/265 ,  B05D3/061 ,  G03F7/001 ,  H01L21/0274

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of articles having micro-patterns is provided to be able to solve the conventional process defect problem while the low cost production is possible, and to be able to reduce the failure rate and the cost, and to improve the production yield. CONSTITUTION: A manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that micro-patterns (12b) distinguished by a transparency difference within a resin layer (12) on a substrate (11) are formed by causing the transparency difference between the light-irradiated part and the light-not-irradiated part by coating a photoreactive resin (12a) reacting with light on the substrate and irradiating light in a selected domain on the photoreactive resin coated on the substrate. The manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that light is irradiated after a selective light-transmitting member (13) having a through region of a pattern layout in which light passes through is positioned on the resin coated on the substrate, or light focused by a condenser lens is directly irradiated on the desired resin domain so that light is irradiated only on the selected domain on the photoreactive resin. [Reference numerals] (AA) Ultraviolet rays

Abstract translation: 目的：提供具有微图案的制品的制造方法，以便能够在低成本生产的同时解决传统的工艺缺陷问题，并且能够降低故障率和成本，并且提高生产率 。 构成：具有微图案的制品的制造方法的特征在于，通过使基板（11）上的树脂层（12）内的透明度差异区分的微图案（12b） 通过将与光反应的光反应性树脂（12a）涂覆在基板上并在涂布在基板上的光反应性树脂上的选定域中照射光，照射部分和未照射光的部分。 具有微图形的制品的制造方法的特征在于，在具有光通过的图案布局的通过区域的选择性透光构件（13）位于涂覆在基板上的树脂上之后照射光，或 由聚光透镜聚焦的光直接照射在所需的树脂结构域上，使得仅在光反应性树脂上的选择的区域上照射光。 （附图标记）（AA）紫外线

公开(公告)号：KR101416625B1

公开(公告)日：2014-07-08

申请号：KR1020120062344

申请日：2012-06-11

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  김판겸 ,  권영우 ,  오현석 ,  전정우 ,  이지웅 ,  최찬규

IPC: B29C59/02 ,  B29C33/42

Abstract: 본 발명은 PDMS나 자외선 경화 수지를 사용하여 제조한 종래의 고분자 몰드가 가지는 문제점을 해결할 수 있는 새로운 재질의 고분자 몰드 및 그 제조 방법을 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판에 전사하고자 할 나노 또는 마이크로 패턴이 형성된 마스터 몰드를 제공하는 공정; 상기 패턴이 형성된 마스터 몰드의 표면에 PVA 수용액을 도포한 후 경화시켜 PVA 몰드층을 형성하는 공정; 상기 PVA 몰드층에 접합층을 개재한 상태로 몰드 베이스층을 적층 형성하는 공정; 및 상기 마스터 몰드를 분리하여 PVA 몰드층 및 접합층, 몰드 베이스층으로 이루어진 일체의 고분자 몰드를 완성하는 공정;을 포함하는 미세 패턴 형성용 고분자 몰드의 제조 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR101416629B1

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：KR1020120035781

申请日：2012-04-06

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  김판겸 ,  권영우 ,  오현석 ,  전정우 ,  이지웅 ,  최찬규

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

Abstract: 본 발명은 미세 패턴을 갖는 제품의 제조 방법에 관한 것으로서, 공정이 간단하면서도 종래의 공정 결함 문제가 해소될 수 있고, 불량률 감소, 원가 절감, 생산 수율의 향상이 가능해지는 판상 제품의 제조 방법을 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 또한 본 발명은 낮은 생산 단가로 저가 제품을 생산하는데 적합하며, 견고하고 다양한 시각적 효과를 제공하는 기능성 다층 구조의 미세 패턴을 형성할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 빛에 반응하는 광 반응 수지를 기판 위에 도포한 뒤, 기판 위에 도포된 광 반응 수지의 선택된 영역에 빛을 조사하여 빛이 조사된 부분과 빛이 조사되지 않은 부분의 투명도 차이를 유발함으로써, 기판 위의 수지층 내부에 투명도 차이에 의해 구분되는 미세 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴을 갖는 판상 제품의 제조 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020130138609A

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：KR1020120062344

申请日：2012-06-11

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  김판겸 ,  권영우 ,  오현석 ,  전정우 ,  이지웅 ,  최찬규

IPC: B29C59/02 ,  B29C33/42

CPC classification number: B29C33/3842 ,  B29C33/40 ,  B29C33/42 ,  B29C33/44 ,  B29C33/56 ,  B29C35/02 ,  B29C2033/385 ,  B29K2829/04 ,  B29L2031/757

Abstract: The present invention provides a polymer mold made of a novel material capable of solving problems of an existing polymer mold using PDMS or a UV curable resin, and a method of manufacturing the polymer mold. For the purpose, the present invention provides the method of manufacturing the polymer mold for fine pattern formation comprising: a process of providing a master mold in which nanopatterns or microparttern to be printed on a substrate are formed; a process of forming a PVC mold layer by coating the surface of the master mold, in which the pattern is formed, with a PVC aqueous solution and curing the solution; a process of laminating a mold base layer in a state in which a junction layer is placed on the PVC mold layer; and a process of completing an integrated polymer mold comprising the PVC mold layer, junction layer and mold base layer by separating the master mold. [Reference numerals] (AA) Provide a master mold;(BB) Spray PVC aqueous solutions and cure them at a temperature of 70-90°C;(CC) Attach a film for a mold base on which a primer layer is coated;(DD) Separate the master mold;(EE) thermal treatment at a temperature of 130-150°C

Abstract translation: 本发明提供一种由能够解决使用PDMS或UV固化树脂的现有聚合物模具的问题的新型材料制成的聚合物模具，以及制造聚合物模具的方法。 为此，本发明提供了制造精细图案形成用聚合物模具的方法，其特征在于，包括：提供母模，其中形成有印刷在基材上的纳米图案或微粒; 通过用PVC水溶液涂布形成图案的母模的表面并固化该溶液来形成PVC模具层的工艺; 将结合层置于PVC模层上的状态下层叠模底基层的工序; 以及通过分离母模来完成包括PVC模层，接合层和模底基层的集成聚合物模具的工艺。 （标号）（AA）提供母模;（BB）喷涂PVC水溶液，并在70-90℃的温度下固化;（CC）在其上涂覆底漆层的模具底座上安装薄膜; （DD）在130-150℃的温度下分离母模;（EE）热处理