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1.发明授权미세 패턴 형성용 고분자 몰드의 제조 방법, 이에 의해 제조되는 미세 패턴 형성용 고분자 몰드, 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 有权用于形成精细图案的聚合物模具的制造方法，由其制造的聚合物模具以及使用该胶片形成精细图案的方法
公开(公告)号：KR101416625B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120062344
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 PDMS나 자외선 경화 수지를 사용하여 제조한 종래의 고분자 몰드가 가지는 문제점을 해결할 수 있는 새로운 재질의 고분자 몰드 및 그 제조 방법을 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판에 전사하고자 할 나노 또는 마이크로 패턴이 형성된 마스터 몰드를 제공하는 공정; 상기 패턴이 형성된 마스터 몰드의 표면에 PVA 수용액을 도포한 후 경화시켜 PVA 몰드층을 형성하는 공정; 상기 PVA 몰드층에 접합층을 개재한 상태로 몰드 베이스층을 적층 형성하는 공정; 및 상기 마스터 몰드를 분리하여 PVA 몰드층 및 접합층, 몰드 베이스층으로 이루어진 일체의 고분자 몰드를 완성하는 공정;을 포함하는 미세 패턴 형성용 고분자 몰드의 제조 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101410743B1
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020120142435
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01J37/22 , H01J37/317 , H01L21/302
Abstract: 본 발명은 플라즈마 잠입 이온을 이용한 나노패턴 가공 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가속 이온을 이용한 저온 플라즈마 잠입 이온으로 시편의 표면에 다양한 형태의 나노패턴을 형성하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
이에 본 발명은, 전기적으로 절연되며, 플라즈마가 채워지는 진공 챔버; 가공물이 놓여지는 부분으로서, 진공 챔버의 내부에 설치되어 가공물과 함께 회전가능한 받침대; 상기 가공물 및 받침대의 회전을 위한 회전수단; 전도성을 가지면서 가공물을 둘러싸서 가공물을 플라즈마로부터 분리시키며, 전기적으로 가공물과 연결되는 덮개; 적어도 상기 덮개의 한 면 이상에 회전가능하게 구비되고, 가공물의 표면을 따라 배치되는 슬롯;을 포함하며, 상기 슬롯을 회전시켜 형성하고자 하는 나노패턴의 형상에 따라 소정의 각도로 세팅함으로써, 플라즈마로부터 나온 이온이 슬롯을 통해 덮개와 가공물 사이의 공간으로 이끌리게 되어 가공물의 표면에 충돌하게 될 때, 상기 슬롯의 각도에 따라 가공물의 표면에 원하는 나노패턴을 형성할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 잠입 이온을 이용한 나노패턴 가공 장치를 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020140074464A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020120142435
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01J37/22 , H01J37/317 , H01L21/302
Abstract: The present invention relates to a device and a method for processing nanopatterns using plasma immersion ions and, more specifically, to a device and a method for forming nanopatterns of various types on the surface of a sample by low temperature plasma immersion ions by using acceleration ions. The device for processing nanopatterns using plasma immersion ions comprises: a vacuum chamber which is electrically insulated and is filled with plasma; a rack which is installed in the vacuum chamber to receive a processed article and is rotatable along with the processed article; a rotating means to rotate the processed article and the rack; a cover which has conductivity, covers the processed article to separate the processed article from the plasma, and is electrically connected to the processed article; and a slot which is included to be rotated in at least one or more surfaces of the cover and is arranged along the surface of the processed article. The desired nanopatterns are formed on the surface of the processed article according to an angle of the slot by rotating the slot to be set at a certain angle according to the shape of nanopatterns to be formed when the ions extracted from the plasma are led to the space between the cover and the processed article through the slot and the ions collide with the surface of the processed article.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用等离子体浸没离子处理纳米图案的装置和方法，更具体地涉及通过使用加速离子通过低温等离子体浸入离子在样品表面上形成各种类型的纳米图案的装置和方法 。 使用等离子体浸没离子处理纳米图案的装置包括：电绝缘并填充有等离子体的真空室; 安装在真空室中以容纳处理物品并与处理物品一起旋转的搁架; 用于旋转经处理的物品和搁架的旋转装置; 具有导电性的覆盖物覆盖加工制品以将处理的物品与等离子体分离，并与处理物品电连接; 以及包括在所述盖的至少一个或多个表面中旋转并沿着所述处理物品的表面布置的槽。 根据当从等离子体提取的离子被引导到所形成的纳米图案的形状时，根据槽的角度将所需的纳米图案的形状转换成一定角度，形成所需的纳米图案。 通过狭槽，盖子和被处理物品之间的空间和离子与处理物品的表面碰撞。
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公开(公告)号：KR101264224B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020100138525
申请日：2010-12-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: 본발명은원통형자기부상스테이지에관한것으로서, 원통의부상이이루어지는수직방향(상하방향), 직선이송방향이되는축방향, 그리고원통의회전방향과더불어, 원통단면상좌우방향이되는수평방향으로도원통의위치를정밀하게제어할수 있는원통형자기부상스테이지를제공하는데주된목적이있는것이다. 상기한목적을달성하기위해, 원통금형에일체로장착되고영구자석배열체를구비하여영구자석배열체와하기베이스부의전자석배열체간 상호작용에의한자기부상력, 자기회전력, 자기이송력에의해부상하여비접촉식으로회전및 직선이송이가능한원통이동부와; 전자석배열체를구비하고상기원통이동부의하측으로배치되어비접촉으로원통이동부를회전및 직선이송가능하게지지하는베이스부와; 상기원통이동부의측방으로배치되고전자석배열체를구비하여상기전자석배열체와원통이동부의영구자석배열체간 상호작용에의해발생하는수평이송력으로원통이동부및 원통금형의수평방향위치를제어하는수평자기부상보조부;를포함하여구성되는원통형자기부상스테이지가개시된다.
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公开(公告)号：KR101243182B1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：KR1020100126316
申请日：2010-12-10
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 지문 상의 인체 분비물에 의하여 필름 표면이 오염되는 것을 방지하기 위하여 지문 생성을 억제하는 내지문 기능을 갖는 내지문 필름 및 이러한 내지문 필름의 제조 방법에 관한 것이다.
이와 관련하여, 본 발명에서는 인체 분비물이 필름의 기재의 표면에 머무르는 것을 저해할 수 있도록 간단한 제조 공정에 의하여 내지문 기능을 수행하기 위한 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법 및 이러한 방법에 의하여 제조된 내지문 필름을 제공하고자 한다.
이를 위해, 본 발명에서는 내지문 필름의 제조 방법에 있어서, 나노 구조물이 형성된 원통형 금형을 이용하여 UV 임프린트 롤 투 롤 공정을 수행함에 따라, 필름 표면 상에 상기 나노 구조물에 대응되는 나노 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명에서는 이러한 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법을 구현함에 있어서, 상기 원통형 금형은 진공 챔버 내에서 플라즈마 처리를 수행함에 따라 형성된 표면의 나노 구조물을 갖도록 구성하는 한편, 상기 UV 임프린트 롤 투 롤 공정에서는 필름 표면에 UV 경화성 수지를 도포한 다음, 원통형 금형에 밀착하여 나노 구조물을 전사시킨 후, UV를 조사하여 경화시키는 공정으로 구현함으로써 간단한 공정을 통하여 대량 생산이 가능한 내지문 필름의 제조 방법 및 이러한 방법을 통하여 제작된 나노 패턴이 형성된 내지문 필름을 제공한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101087583B1
公开(公告)日：2011-11-29
申请号：KR1020090117520
申请日：2009-12-01
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , G03F7/70716 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: PURPOSE: An electromagnetic holder device for an exposing device is provided to improve processing performance by decreasing the length of a mover by removing the chuck part of a magnetic levitation stage mover. CONSTITUTION: A rotating side electromagnet holder(16) is arranged on the upper side of a rotating side mover(11). A rotating side mover includes a rotating side permanent magnet(10). The rotating side electromagnet holder is comprised of a core(14a) and a coil(15a). The rotating side electromagnet holder controls the current to lift the rotating side mover and the transferring side mover up and down. The rotating side electromagnet holder includes a bracket(18a) which connects a core to a transfer stage.
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公开(公告)号：KR1020080049386A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：KR1020060119873
申请日：2006-11-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: A large area and high precision roll exposure apparatus is provided to manufacture a roll mold having a large area of several hundreds of millimeters and a line width of high precision of several decades of nanometers or less. A large area and high precision roll exposure apparatus comprises a rotation roll(10) which is arranged in horizontal direction; the first and second fixing chucks(11) which supports the both end parts of the rotation roll with placing the rotation roll between them; a roll support(13) which supports the fixing chucks and the rotation roll; a beam source(17) which irradiates beam in the direction perpendicular to the rotation roll; a roll rotation unit which is installed at the first and/or second fixing chucks to rotate the rotation roll; and a linear transfer part which supports the lower end part of the roll support and moves right and left the roll support linearly.
Abstract translation: 提供了一种大面积和高精度的辊式曝光装置来制造具有几百毫米的大面积和几十纳米或更小的高精度的线宽的辊模。 大面积，高精度的卷筒曝光装置包括沿水平方向布置的旋转辊（10） 第一和第二固定卡盘（11），其通过在其间放置旋转辊来支撑旋转辊的两个端部; 支撑固定卡盘和旋转辊的辊支撑件（13）; 沿垂直于旋转辊的方向照射光束的光束源（17）; 辊旋转单元，其安装在第一和/或第二固定卡盘处以旋转旋转辊; 以及线性传递部件，其支撑辊支撑件的下端部分，并且使辊支架线性地左右移动。
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公开(公告)号：KR101416628B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본 발명은 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노패턴을 갖는 금형 및 전주 도금공정을 이용하여 단순하면서도 생산 효율이 높은 구조로 제조되는 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 나노 패턴이 가공된 평판형 금형 또는 원통 금형과, 자외선 또는 열에 경화되는 고분자 재료를 구비하여, 기판의 금속층 표면에 레진 패턴을 형성함과 함께 전주 도금 공정을 이용하여 레진 패턴 사이에 도금 패턴이 형성되도록 한 후, 레진 패턴 및 금속 도금 패턴이 유연성 기판의 투명 접착제에 접착되며 전사되도록 함으로써, 연속 공정으로 와이어 그리드 편광자 제조가 가능하고, 제조 시간 및 생산 단가를 크게 줄일 수 있도록 한 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법을 제공하고자 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020130113552A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020120035781
申请日：2012-04-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/26 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/265 , B05D3/061 , G03F7/001 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of articles having micro-patterns is provided to be able to solve the conventional process defect problem while the low cost production is possible, and to be able to reduce the failure rate and the cost, and to improve the production yield. CONSTITUTION: A manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that micro-patterns (12b) distinguished by a transparency difference within a resin layer (12) on a substrate (11) are formed by causing the transparency difference between the light-irradiated part and the light-not-irradiated part by coating a photoreactive resin (12a) reacting with light on the substrate and irradiating light in a selected domain on the photoreactive resin coated on the substrate. The manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that light is irradiated after a selective light-transmitting member (13) having a through region of a pattern layout in which light passes through is positioned on the resin coated on the substrate, or light focused by a condenser lens is directly irradiated on the desired resin domain so that light is irradiated only on the selected domain on the photoreactive resin. [Reference numerals] (AA) Ultraviolet rays
Abstract translation: 目的：提供具有微图案的制品的制造方法，以便能够在低成本生产的同时解决传统的工艺缺陷问题，并且能够降低故障率和成本，并且提高生产率 。 构成：具有微图案的制品的制造方法的特征在于，通过使基板（11）上的树脂层（12）内的透明度差异区分的微图案（12b） 通过将与光反应的光反应性树脂（12a）涂覆在基板上并在涂布在基板上的光反应性树脂上的选定域中照射光，照射部分和未照射光的部分。 具有微图形的制品的制造方法的特征在于，在具有光通过的图案布局的通过区域的选择性透光构件（13）位于涂覆在基板上的树脂上之后照射光，或 由聚光透镜聚焦的光直接照射在所需的树脂结构域上，使得仅在光反应性树脂上的选择的区域上照射光。 （附图标记）（AA）紫外线
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公开(公告)号：KR1020120076805A
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020100138525
申请日：2010-12-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , H01L21/02027 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to directly process a pattern of nanometer size on the cylinder surface of large size by actively controlling the location of a cylinder with an error of the nanometer size. CONSTITUTION: A cylinder movable unit is composed of a rotary cylinder movable unit(110b) and a linear transfer cylinder movable unit(110a). A base unit supports the cylinder movable unit which can be rotated without contact. The base unit comprises electromagnet arrangement bodies(122a, 123a, 122b, 123b). A horizontal magnetic levitation auxiliary unit(140) controls the horizontal direction location of a cylinder mold and the cylinder movable unit. The horizontal magnetic levitation auxiliary unit comprises an electromagnet arrangement body(141).
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过主动控制圆柱体的位置，以纳米尺寸的误差直接处理大尺寸圆柱体表面的纳米尺寸图案。 构成：缸体可动单元由旋转圆筒可动单元（110b）和直线传动滚筒活动单元（110a）构成。 基座单元支撑可旋转而不接触的气缸可动单元。 基座单元包括电磁铁排列体（122a，123a，122b，123b）。 水平磁悬浮辅助单元（140）控制气缸模具和气缸活动单元的水平方向位置。 水平磁悬浮辅助单元包括电磁体排列体（141）。
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