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公开(公告)号：KR102241680B1
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：KR1020150123916A
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.-
公开(公告)号：WO2017039129A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/KR2016/006519
申请日：2016-06-20
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有布线电极的透明电极的方法，更具体地说，涉及一种具有布线电极的透明电极的制造方法，该方法一次性实现了块布线电极 其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极被电耦合，以及作为电极被激活的传感器电极，从而能够实现电极材料的填充特性和布线电极和传感器的对准作业特性 电极要满足。 本发明的主题是一种制造具有布线电极的透明电极的方法，包括：相移掩模制备步骤，准备第一相移掩模和第二相移掩模，所述相移掩模具有沿正交方向 第一相移掩模; 单向图案形成步骤，通过用光敏剂涂布基板的上部，在其上放置第一相移掩模，然后进行曝光，形成具有单向形成图案的单向图案金属样品 电镀; 网格图案形成步骤，通过用光敏剂涂覆单向图案金属样品的上部，在其上放置第二相移掩模，然后进行曝光和电镀，形成具有网状图案的网格图案金属样品 由具有相对较宽间距的传感器图案的传感器图案区域和具有相对较窄间距的布线图案的布线图案区域组成的网格图案; 以及电极形成步骤，其中形成块布线电极，其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极电耦合，从所述布线图案区域和传感器电极到所述传感器图案区域作为电极被激活， 使用网格图金属样品。
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公开(公告)号：KR102241680B1
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：KR1020150123916
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
Abstract: 본발명은배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 전극으로활성화되는센서전극을 1회적공정에의하여함께구현함으로써, 전극물질의충진특성및 배선전극과센서전극의정렬작업특성을동시에만족할수 있는배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기제1위상전이마스크와직교된방향으로패턴이구현된제2위상전이마스크를준비하는위상전이마스크준비단계; 기판상부에감광제를도포한다음, 상기제1위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여패턴이일방향으로형성된일방향패턴금속시편을형성하는일방향패턴형성단계; 상기일방향패턴금속시편상부에감광제를도포한다음, 상기제2위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여메시패턴이형성된메시패턴금속시편을형성하되, 상대적으로넓은피치의센서패턴을갖는센서패턴영역과상대적으로좁은피치의배선패턴을갖는배선패턴영역으로이루어진메시패턴형성단계; 및상기메시패턴금속시편을이용하여, 상기배선패턴영역중 전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 상기센서패턴영역중 전극으로활성화되는센서전극을형성하는전극형성단계;를포함하여이루어지는것을특징으로하는배선전극을가지는투명전극의제조방법을기술적요지로한다.
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公开(公告)号：KR1020170027380A
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150123916
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041
Abstract: 본발명은배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 전극으로활성화되는센서전극을 1회적공정에의하여함께구현함으로써, 전극물질의충진특성및 배선전극과센서전극의정렬작업특성을동시에만족할수 있는배선전극을가지는투명전극의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기제1위상전이마스크와직교된방향으로패턴이구현된제2위상전이마스크를준비하는위상전이마스크준비단계; 기판상부에감광제를도포한다음, 상기제1위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여패턴이일방향으로형성된일방향패턴금속시편을형성하는일방향패턴형성단계; 상기일방향패턴금속시편상부에감광제를도포한다음, 상기제2위상전이마스크를위치시킨후 노광및 도금하여메시패턴이형성된메시패턴금속시편을형성하되, 상대적으로넓은피치의센서패턴을갖는센서패턴영역과상대적으로좁은피치의배선패턴을갖는배선패턴영역으로이루어진메시패턴형성단계; 및상기메시패턴금속시편을이용하여, 상기배선패턴영역중 전극으로활성화되는배선전극이 1개이상전기적으로결합된블록배선전극과, 상기센서패턴영역중 전극으로활성화되는센서전극을형성하는전극형성단계;를포함하여이루어지는것을특징으로하는배선전극을가지는투명전극의제조방법을기술적요지로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有布线电极的透明电极的方法，更具体地说，涉及一种具有布线电极的透明电极的制造方法，该方法一次性实现了块布线电极 其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极被电耦合，以及作为电极被激活的传感器电极，从而能够实现电极材料的填充特性和布线电极和传感器的对准作业特性 电极要满足。 本发明的主题是一种制造具有布线电极的透明电极的方法，包括：相移掩模制备步骤，准备第一相移掩模和第二相移掩模，所述相移掩模具有沿正交方向 第一相移掩模; 单向图案形成步骤，通过用光敏剂涂布基板的上部，在其上放置第一相移掩模，然后进行曝光，形成具有单向形成图案的单向图案金属样品 电镀; 网格图案形成步骤，通过用光敏剂涂覆单向图案金属样品的上部，在其上放置第二相移掩模，然后进行曝光和电镀，形成具有网状图案的网格图案金属样品 由具有相对较宽间距的传感器图案的传感器图案区域和具有相对较窄间距的布线图案的布线图案区域组成的网格图案; 以及电极形成步骤，其中形成块布线电极，其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极电耦合，从所述布线图案区域和传感器电极到所述传感器图案区域作为电极被激活， 使用网格图金属样品。
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公开(公告)号：KR1020160023286A
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：KR1020140109455
申请日：2014-08-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 본발명은터치패널용투명전극제조방법에관한것으로, 보다상세하게는터치패널의감지전극및 배선전극의제조공정을단순화시킨터치패널용투명전극제조방법에관한것이다. 특히, 본발명에서는상대적으로작은선폭의감지전극과큰 선폭을갖는배선전극을 1회적공정에의하여간단하게제작할수 있는터치패널용투명전극제조방법을제공하고자한다. 이를위해본 발명에서는위상마스크를이용하여, 위상마스크의돌출된패턴부분과함몰된패턴부분이만나는경계부에대한패터닝을수행하되, 위상마스크상부에광투과조절층을위치시켜투과도조절을통해선폭을조절하도록구성된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于触摸面板的透明电极制造方法，更具体地，涉及一种简化触摸面板的布线电极和感测电极的制造工艺的触摸面板的透明电极制造方法。 特别地，根据本发明，触摸屏的透明电极制造方法被配置为通过一次制造工艺简单地制造具有较窄线宽的感测电极和具有更宽线宽的布线电极。 为此，根据本发明，通过使用相位掩模，对相位掩模的凹凸图形部分的边缘进行图案化处理，并且光传输控制层位于 相位掩模以控制光透射率以便控制线宽。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020160145952A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020150082369
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은마스터몰드및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판자체에원하는선폭과높이의패턴을형성하여패턴정밀도를향상시키며, 공정의간소화로비용절감화를달성할수 있는마스터몰드및 이의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 기판; 상기기판의상부에일정패턴으로형성되는크롬층; 및상기크롬층을포함하는기판의상부에도포된양각형감광제가선택적으로노광및 현상되어상기크롬층의상부에형성되는감광층;을포함하여이루어지는것을특징으로하는마스터몰드및 이의제조방법을기술적요지로한다.
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公开(公告)号：KR1020130113552A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020120035781
申请日：2012-04-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/26 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/265 , B05D3/061 , G03F7/001 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of articles having micro-patterns is provided to be able to solve the conventional process defect problem while the low cost production is possible, and to be able to reduce the failure rate and the cost, and to improve the production yield. CONSTITUTION: A manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that micro-patterns (12b) distinguished by a transparency difference within a resin layer (12) on a substrate (11) are formed by causing the transparency difference between the light-irradiated part and the light-not-irradiated part by coating a photoreactive resin (12a) reacting with light on the substrate and irradiating light in a selected domain on the photoreactive resin coated on the substrate. The manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that light is irradiated after a selective light-transmitting member (13) having a through region of a pattern layout in which light passes through is positioned on the resin coated on the substrate, or light focused by a condenser lens is directly irradiated on the desired resin domain so that light is irradiated only on the selected domain on the photoreactive resin. [Reference numerals] (AA) Ultraviolet rays
Abstract translation: 目的：提供具有微图案的制品的制造方法，以便能够在低成本生产的同时解决传统的工艺缺陷问题，并且能够降低故障率和成本，并且提高生产率 。 构成：具有微图案的制品的制造方法的特征在于，通过使基板（11）上的树脂层（12）内的透明度差异区分的微图案（12b） 通过将与光反应的光反应性树脂（12a）涂覆在基板上并在涂布在基板上的光反应性树脂上的选定域中照射光，照射部分和未照射光的部分。 具有微图形的制品的制造方法的特征在于，在具有光通过的图案布局的通过区域的选择性透光构件（13）位于涂覆在基板上的树脂上之后照射光，或 由聚光透镜聚焦的光直接照射在所需的树脂结构域上，使得仅在光反应性树脂上的选择的区域上照射光。 （附图标记）（AA）紫外线
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公开(公告)号：KR101641144B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020140109455
申请日：2014-08-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
Abstract: 본발명은터치패널용투명전극제조방법에관한것으로, 보다상세하게는터치패널의감지전극및 배선전극의제조공정을단순화시킨터치패널용투명전극제조방법에관한것이다. 특히, 본발명에서는상대적으로작은선폭의감지전극과큰 선폭을갖는배선전극을 1회적공정에의하여간단하게제작할수 있는터치패널용투명전극제조방법을제공하고자한다. 이를위해본 발명에서는위상마스크를이용하여, 위상마스크의돌출된패턴부분과함몰된패턴부분이만나는경계부에대한패터닝을수행하되, 위상마스크상부에광투과조절층을위치시켜투과도조절을통해선폭을조절하도록구성된다.
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公开(公告)号：KR101385976B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020120095459
申请日：2012-08-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법에 관한 것으로서, 노광 공정 없이 저렴한 공정 비용으로 나노-마이크로 복합 패턴 형성용 몰드를 제조할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하는데 이용되는 몰드의 제조 방법에 있어서, 마이크로 패턴을 갖는 몰드용 기판을 제조하는 과정; 나노 패턴을 갖는 나노 패턴 기판을 제조하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 위에 수지를 도포한 뒤 경화시켜 나노 패턴 몰드 층을 형성하고, 상기 나노 패턴 몰드 층 위에 접착층을 적층하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 몰드 층을 상기 접착층을 이용하여 몰드용 기판의 마이크로 패턴 위에 부착하는 과정; 및 상기 나노 패턴 기판을 나노 패턴 몰드 층으로부터 분리하여 제거함으로써 몰드용 기판 위의 마이크로 패턴 영역에 나노 패턴 몰드 층의 나노 패턴이 복합적으로 존재하는 몰드를 완성하는 과정;을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법을 제공한다.
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