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公开(公告)号：KR1020130025698A
公开(公告)日：2013-03-12
申请号：KR1020110089172
申请日：2011-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A plasma measuring device and a method thereof are provided to measure changes in an electron-neutral collision frequency according to time by applying the device and the method to a process utilizing plasma. CONSTITUTION: A plasma measuring device comprises a transmission antenna(122), a reception antenna(124), a network analysis unit(126), and a processing unit(128). The transmission antenna is inserted into inside plasma and transmitting electromagnetic waves. The reception antenna is inserted into inside the plasma and arranged side by side with the reception antenna. The network analysis unit provides variable frequencies to the transmission antenna.
Abstract translation: 目的：提供一种等离子体测量装置及其方法，通过将装置和方法应用于利用等离子体的方法来测量电子中性碰撞频率随时间的变化。 构成：等离子体测量装置包括发射天线（122），接收天线（124），网络分析单元（126）和处理单元（128）。 发射天线插入等离子体内并传输电磁波。 接收天线插入等离子体内并且与接收天线并列布置。 网络分析单元向发射天线提供可变频率。
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公开(公告)号：KR101916702B1
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：KR1020170140397
申请日：2017-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/32
Abstract: 본발명의외부정자기장측정장치및 측정방법을제공한다. 이외부정자기장측정방법은, 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장과나란히연장되는한 쌍의제1 방사안테나와제1 수신안테나를구비하는제1 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제1 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최대가되는제1 각도를결정하는단계; 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장에수직하게연장되는한 쌍의제2 방사안테나와제2 수신안테나를구비한제2 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제2 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최소가되는제2 각도를결정하는단계; 및상기제1 각도에서측정된제1 플라즈마공명주파수와상기제2 각도에서측정된제2 플라즈마공명주파수를이용하여상기외부정자기장의세기를산출하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101324990B1
公开(公告)日：2013-11-04
申请号：KR1020110089172
申请日：2011-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 플라즈마 측정 장치 및 플라즈마 측정 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 내부에 삽입되고 전자기파를 발산하는 송신 안테나, 플라즈마 내부에 삽입되고 송신 안테나와 나란히 배치되는 수신 안테나, 가변 주파수를 안테나에 송신 안테나에 제공하고, 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 전기적 특성을 측정하여 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 출력하는 네트워크 분석부, 및 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 분석하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 처리부를 포함한다.
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