公开(公告)号：KR1020150146076A

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：KR1020140075944

申请日：2014-06-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 조복래 ,  안상정 ,  박인용 ,  한철수 ,  하태균 ,  박종도

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  H01J37/08 ,  H01J37/06

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08

Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种由低碳钢材料制成的超高真空室和对外部电磁场敏感的超高真空带电粒子束分析工具。 更具体地说，通过使用碳含量低的低碳钢（软钢）真空室来屏蔽磁场。 同时，保持超高真空和极高的真空环境，因此可以对材料，装置等进行分析。 为此，超高真空室包括：形成为中空柱状的容器，具有一个敞开侧; 以及联接以密封容器的一个敞开侧的盖。 带电粒子束分析工具容纳在容器中，容器由低碳钢材料制成。 容器内部的超高真空度为1×10 ^（ - 7）乇或更低。 因此，可以同时实现超高真空环境和磁屏蔽，并且可以以廉价的成本获得真空室。

公开(公告)号：KR101623256B1

公开(公告)日：2016-05-23

申请号：KR1020140075944

申请日：2014-06-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 조복래 ,  안상정 ,  박인용 ,  한철수 ,  하태균 ,  박종도

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  H01J37/08 ,  H01J37/06

Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.