公开(公告)号：KR102100029B1

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：KR1020180036176

申请日：2018-03-28

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단 ,  한양대학교 산학협력단

Inventor： 이성규 ,  오혜근 ,  박진구 ,  안진호 ,  김국진

IPC: G03F1/64 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR101714908B1

公开(公告)日：2017-03-10

申请号：KR1020150148183

申请日：2015-10-23

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 오혜근 ,  이성규 ,  박진구 ,  안진호 ,  안일신 ,  김국진 ,  고기호 ,  김인선 ,  박성모 ,  이정환

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  G03F1/22 ,  H01L21/033 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02

Abstract: 마스크상에배치되고, 실리콘카바이드(SiC)를포함하는제1 보호층(first protective layer), 상기제1 보호층상의지르코늄(Zr)을포함하는코어층(core layer), 상기코어층상의실리콘나이트라이드(SiN)를포함하는제2 보호층(second protective layer), 및상기제2 보호층상의실리콘카바이드(SiC)를포함하는제3 보호층(third protective layer)을포함하는극자외선리소그래피용펠리클구조체가제공될수 있다.

公开(公告)号：KR1020160127218A

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150057401

申请日：2015-04-23

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  김민수 ,  이준 ,  안재빈 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/62 ,  G03F1/00

Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의상기제1 면상의펠리클프레임(pellicle frame), 및상기멤브레인으로부터열을흡수하여외부로방출하고, 상기멤브레인의상기제2 면으로부터위로(upwardly) 연장하는복수의핀(fin)들을포함하고, 상기멤브레인의상기제2 면의가장자리상에배치된, 열방출층(heat emission layer)을포함한다.

公开(公告)号：KR101972212B1

公开(公告)日：2019-04-25

申请号：KR1020170054517

申请日：2017-04-27

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  김민수 ,  오혜근 ,  안진호 ,  이정환 ,  송희진 ,  장성해 ,  김현태

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G03F7/42

公开(公告)号：KR1020160127242A

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150057870

申请日：2015-04-24

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선 ,  김민수

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/66 ,  H01L21/033 ,  G03F7/20

Abstract: 노광방법이제공된다. 상기노광방법은, 노광장치내에서, 마스크및 상기마스크덮는펠리클을이용하여노광공정을수행하는단계, 상기노광공정중에발생된열에의해, 상기마스크및 상기펠리클이변형되는경우, 상기마스크및 상기펠리클의변형정도를측정하는단계, 및상기마스크및 상기펠리클의변형정도에따라서, 상기마스크및 상기펠리클을교정하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101690869B1

公开(公告)日：2017-01-10

申请号：KR1020150057870

申请日：2015-04-24

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선 ,  김민수

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/66 ,  H01L21/033 ,  G03F7/20

Abstract: 노광방법이제공된다. 상기노광방법은, 노광장치내에서, 마스크및 상기마스크덮는펠리클을이용하여노광공정을수행하는단계, 상기노광공정중에발생된열에의해, 상기마스크및 상기펠리클이변형되는경우, 상기마스크및 상기펠리클의변형정도를측정하는단계, 및상기마스크및 상기펠리클의변형정도에따라서, 상기마스크및 상기펠리클을교정하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101624078B1

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：KR1020150057962

申请日：2015-04-24

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  김민수 ,  박건호 ,  김동하 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선

IPC: G03F1/62

CPC classification number: G03F1/62

Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의제1 면상의제1 펠리클프레임(first pellicle frame), 및상기멤브레인의상기제2 면상의제2 펠리클프레임(second pellicle frame)을포함할수 있다.

Abstract translation: 提供一个防护薄膜。 防护薄膜组件包括：具有第一表面和面向第一表面的第二表面的膜; 设置在所述膜的第一表面上的第一防护薄膜框架; 以及设置在膜的第二表面上的第二防护薄膜框架。 热变形最小化，耐久性提高。