公开(公告)号：WO2019059683A1

公开(公告)日：2019-03-28

申请号：PCT/KR2018/011169

申请日：2018-09-20

Applicant: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 ,  한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  이정환 ,  하마다사토미

IPC: A46D9/04 ,  A46D1/045 ,  A46B17/06

Abstract: PVA 브러쉬의 세정 방법이 제공된다. 상기 PVA 브러쉬의 세정 방법은, PVA 브러쉬를 준비하는 단계, 유기물을 포함하는 세정 용액으로 상기 PVA 브러쉬 내의 실록산(siloxane) 화합물을 제거하는 단계, 및 상기 PVA 브러쉬에 진동을 가하여, 상기 PVA 브러쉬 내의 불순물을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR101972212B1

公开(公告)日：2019-04-25

申请号：KR1020170054517

申请日：2017-04-27

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  김민수 ,  오혜근 ,  안진호 ,  이정환 ,  송희진 ,  장성해 ,  김현태

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G03F7/42

公开(公告)号：KR1020140081208A

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：KR1020120150730

申请日：2012-12-21

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  이혜연 ,  조시형 ,  이주경 ,  이정환

IPC: G03F7/20 ,  G01N33/50

Abstract: The present invention relates to a nanowell array biosensor on a large-sized substrate and a method for producing the same. More specifically, by means of the novel method, a nano-sized well array structure is reproducibly realized so that the detection sensitivity, selectivity, and reliability of a biomaterial can be improved. According to the present invention, a nano-sized well array structure which is highly integrated in a narrow region can be uniformly and reproducibly realized. Accordingly, a biosensor in which the detection sensitivity, selectivity, and reliability of biomolecules and biomaterials such as a variety of enzymes, proteins, and DNA are improved can be produced. Moreover, according to the present invention, in comparison to existing techniques, the biosensor can be mass produced on a large-sized substrate of 6 inches (diameter 150 mm) or larger so as to have high possibility for commercialization.

Abstract translation: 本发明涉及大尺寸基板上的纳米线阵列生物传感器及其制造方法。 更具体地说，通过这种新方法，可再现地实现纳米尺寸的阱阵列结构，从而可以提高生物材料的检测灵敏度，选择性和可靠性。 根据本发明，可以均匀且可再现地实现高度集成在窄区域中的纳米尺寸的阱阵列结构。 因此，可以生产生物传感器，其中生物分子和生物材料如各种酶，蛋白质和DNA的检测灵敏度，选择性和可靠性得到改善。 此外，根据本发明，与现有技术相比，生物传感器可以在6英寸（直径150mm）以上的大尺寸基板上批量生产，从而具有高的商业化可能性。

公开(公告)号：KR101304991B1

公开(公告)日：2013-09-06

申请号：KR1020110102765

申请日：2011-10-08

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  이정환 ,  조시형

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 실리콘 나노팁 어레이의 제조방법 및 그 방법에 따라 제조된 실리콘 나노팁 어레이가 개시된다. 본 발명의 실리콘 나노팁 어레이의 제조방법은, 실리콘 기판을 산화시켜 표면에 실리콘 산화막을 형성하고, 실리콘 산화막 상에 반사 방지층과 감광층을 차례로 형성하는 단계; 감광층에 규칙적인 배열을 갖는 미세패턴을 스텝퍼 노광장비에 의한 포토리소그래피로 형성하되, 미세패턴은 레티클에 형성된 최초의 마스크 패턴에 부합하도록 형성하며, 형성된 미세패턴에 따라 노출된 반사 방지층을 제거하는 단계; 미세패턴이 형성된 감광층을 마스크로 건식 식각하여 실리콘 산화막을 선택적으로 제거하는 단계; 선택적으로 제거된 실리콘 산화막을 마스크로 실리콘 기판을 건식 식각하여 나노팁을 형성하는 단계; 및 실리콘 산화막을 제거하는 단계;를 포함한다. 이에 의하여, 레티클의 최초 마스크 패턴을 원하는 형상 및 배열로 형성함으로써 실리콘 기판에 형성되는 나노팁의 형상 및 배열을 자유롭게 조절할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020160127242A

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150057870

申请日：2015-04-24

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선 ,  김민수

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/66 ,  H01L21/033 ,  G03F7/20

Abstract: 노광방법이제공된다. 상기노광방법은, 노광장치내에서, 마스크및 상기마스크덮는펠리클을이용하여노광공정을수행하는단계, 상기노광공정중에발생된열에의해, 상기마스크및 상기펠리클이변형되는경우, 상기마스크및 상기펠리클의변형정도를측정하는단계, 및상기마스크및 상기펠리클의변형정도에따라서, 상기마스크및 상기펠리클을교정하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101369736B1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：KR1020110104056

申请日：2011-10-12

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  이정환 ,  조시형

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/26 ,  G03F7/16

Abstract: 나노렌즈어레이몰드의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 몰드를 이용한 나노렌즈어레이의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 나노렌즈어레이몰드의 제조방법은, 실리콘 기판을 산화시켜 표면에 1차 실리콘 산화막을 형성하고, 1차 실리콘 산화막 상에 반사 방지층과 감광층을 차례로 형성하는 단계; 감광층에 규칙적인 배열을 갖는 미세패턴을 포토리소그래피에 의해 형성하고,형성된 미세패턴에 따라 노출된 반사 방지층을 제거하는 단계;감광층을 마스크로 건식 식각하여 1차 실리콘 산화막을 선택적으로 제거하는 단계; 및 선택적으로 제거된 1차 실리콘 산화막을 마스크로 실리콘 기판을 건식 식각하여 미세패턴을 형성하는 단계; 1차 실리콘 산화막을 제거하는 단계;미세패턴이 형성된 실리콘 기판에 열산화 공정을 수행하여 미세패턴 상에 2차 실리콘 산화막을 형성하는 단계; 및상기 2차 실리콘 산화막을 제거하는 단계를 포함한다. 이에 의하여, 나노렌즈 형상 조절이 매우 간단하고, 이에 의해 제조된 나노렌즈어레이는 나노수준의 미세한 렌즈들의 배열임에도 렌즈의 형태가 매우 균일하고 표면이 매끄러워 광학적 특성이 우수하다.

公开(公告)号：KR102030920B1

公开(公告)日：2019-10-10

申请号：KR1020180034421

申请日：2018-03-26

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  김명준 ,  류헌열 ,  이정환 ,  편해정 ,  한광민

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR101808285B1

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：KR1020160099092

申请日：2016-08-03

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김응혁 ,  이정환 ,  변지영

IPC: A45D44/00 ,  A45D40/16 ,  A45D40/00

CPC classification number: A45D44/005 ,  A45D40/16 ,  A45D2040/0006

Abstract: 본발명의기술적사상에의한일 양태에따른화장품색상변경장치는, 타깃색상정보를입력받는입력모듈, 화장품의색상정보를획득하기위한측정모듈, 및측정모듈로부터화장품의색상정보를전달받아, 화장품의색상이타깃색상정보에대응되는색상으로변경되도록화장품을향해색소를주입하는색소주입모듈을포함하는것을특징으로하며, 화장품의색상을사용자가원하는색상으로용이하게바꿀수 있는화장품색상변경장치및 색상변경방법을제공한다.

公开(公告)号：KR102156997B1

公开(公告)日：2020-09-16

申请号：KR1020190027274

申请日：2019-03-11

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  류헌열 ,  김여호 ,  이정환 ,  김지우 ,  현다빈

IPC: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24B37/20

公开(公告)号：KR101714908B1

公开(公告)日：2017-03-10

申请号：KR1020150148183

申请日：2015-10-23

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 오혜근 ,  이성규 ,  박진구 ,  안진호 ,  안일신 ,  김국진 ,  고기호 ,  김인선 ,  박성모 ,  이정환

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  G03F1/22 ,  H01L21/033 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02

Abstract: 마스크상에배치되고, 실리콘카바이드(SiC)를포함하는제1 보호층(first protective layer), 상기제1 보호층상의지르코늄(Zr)을포함하는코어층(core layer), 상기코어층상의실리콘나이트라이드(SiN)를포함하는제2 보호층(second protective layer), 및상기제2 보호층상의실리콘카바이드(SiC)를포함하는제3 보호층(third protective layer)을포함하는극자외선리소그래피용펠리클구조체가제공될수 있다.