公开(公告)号：DE102021111847A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：DE102021111847

申请日：2021-05-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  BLACKMER CHARLES ,  DUNN TYLER ADAM ,  HWANG EUGENE OH ,  KUANG JINBO ,  JIA KEMIAO ,  POPA LAURA CORNELIA ,  PRIKHODKO IGOR P ,  TATAR ERDINC

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/18

Abstract: Es werden hier säulenförmige mehrachsige MEMS-Vorrichtungen (MEMS, mikroelektromechanisches System) beschrieben, die gegen unerwünschte Linear- und Winkelschwingungen ausgeglichen sind. Bei einigen Ausführungsformen kann die säulenförmige MEMS-Vorrichtung mindestens zwei Mehrfachmassensäulen umfassen, die jeweils mindestens drei Prüfmassen aufweisen und dazu ausgebildet sind, eine Drehung um eine jeweilige Achse zu erfassen. Die Bewegung und die Masse der Prüfmassen können dahingehend gesteuert werden, einen Linear- und Drehausgleich der MEMS-Vorrichtung zu erzielen. Die säulenförmige MEMS-Vorrichtung kann ferner eine oder mehrere modulare Antriebsstrukturen umfassen, die neben jeder Mehrfachmassensäule angeordnet sind, um eine Verschiebung der Prüfmassen an einer jeweiligen Säule zu ermöglichen. Die hier beschriebenen MEMS-Vorrichtungen können dazu verwendet werden, Roll-, Gier- und Nickwinkelraten zu erfassen.