公开(公告)号：DE102021111847A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：DE102021111847

申请日：2021-05-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  BLACKMER CHARLES ,  DUNN TYLER ADAM ,  HWANG EUGENE OH ,  KUANG JINBO ,  JIA KEMIAO ,  POPA LAURA CORNELIA ,  PRIKHODKO IGOR P ,  TATAR ERDINC

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/18

Abstract: Es werden hier säulenförmige mehrachsige MEMS-Vorrichtungen (MEMS, mikroelektromechanisches System) beschrieben, die gegen unerwünschte Linear- und Winkelschwingungen ausgeglichen sind. Bei einigen Ausführungsformen kann die säulenförmige MEMS-Vorrichtung mindestens zwei Mehrfachmassensäulen umfassen, die jeweils mindestens drei Prüfmassen aufweisen und dazu ausgebildet sind, eine Drehung um eine jeweilige Achse zu erfassen. Die Bewegung und die Masse der Prüfmassen können dahingehend gesteuert werden, einen Linear- und Drehausgleich der MEMS-Vorrichtung zu erzielen. Die säulenförmige MEMS-Vorrichtung kann ferner eine oder mehrere modulare Antriebsstrukturen umfassen, die neben jeder Mehrfachmassensäule angeordnet sind, um eine Verschiebung der Prüfmassen an einer jeweiligen Säule zu ermöglichen. Die hier beschriebenen MEMS-Vorrichtungen können dazu verwendet werden, Roll-, Gier- und Nickwinkelraten zu erfassen.

公开(公告)号：AT518115T

公开(公告)日：2011-08-15

申请号：AT06749476

申请日：2006-04-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GEEN JOHN ,  KUANG JINBO

IPC: G01C19/56

Abstract: An inertial sensor includes a cross-quad configuration of four interconnected sensor elements. Each sensor element has a frame and a resonator suspended within the frame. The sensor elements are arranged so that the frames of adjacent sensor elements are allowed to move in anti-phase to one another but are substantially prevented from moving in phase with one another. The sensor elements may be configured in a horizontally coupled arrangement, a vertically coupled arrangement, or a fully coupled arrangement. A pair of sensor elements may be vertically coupled.