公开(公告)号：DE102017130218A1

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：DE102017130218

申请日：2017-12-15

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  GREGORY JEFFREY A

IPC: G01C19/5733 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: Es werden mikrobearbeitete Trägheitsbauelemente vorgestellt, die mehrere sich linear bewegende Massen aufweisen, welche durch Koppler miteinander gekoppelt sind, die sich linear bewegen, wenn die gekoppelten Massen eine lineare Gegenphasenbewegung zeigen. Einige der beschriebenen Koppler sind biegbar und stellen zwei Bewegungsfreiheitsgrade der gekoppelten Massen bereit. Einige solche Koppler sind zwischen den gekoppelten Massen positioniert. Die Verwendung mehrerer Koppler, die zur Bewegung in linear entgegengesetzte Richtungen während der linearen Gegenphasenbewegung der gekoppelten Massen angeordnet sind, stellt einen impulsausgeglichenen Betrieb bereit.

公开(公告)号：DE102017130384B4

公开(公告)日：2022-03-31

申请号：DE102017130384

申请日：2017-12-18

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  GREGORY JEFFREY A ,  GEEN JOHN A

IPC: G01C19/5733 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01C19/574

Abstract: MEMS-Bauelement mit synchronisierter Masse, das Folgendes aufweist:ein Substrat;eine erste Prüfmasse, die durch ein erstes Halteband mit dem Substrat gekoppelt ist und zur linearen Bewegung parallel sowohl zur ersten als auch zur zweiten Querachse ausgebildet ist;eine zweite Prüfmasse, die durch ein zweites Halteband mit dem Substrat gekoppelt ist und zur linearen Bewegung parallel sowohl zur ersten als auch zur zweiten Querachse ausgebildet ist; undeinen ersten Koppler, der die erste und die zweite Prüfmasse miteinander koppelt und dazu ausgebildet ist, sich parallel zur ersten Achse linear zu bewegen und die Bewegung der ersten und zweiten Prüfmasse auf eine synchrone, lineare Gegenphasenbewegung zu beschränken, so dass, wenn sich die erste Prüfmasse in eine erste Richtung parallel zur zweiten Achse bewegt, sich die zweite Prüfmasse in eine der ersten Richtung entgegengesetzte zweite Richtung parallel zur zweiten Achse bewegt.

公开(公告)号：DE102017130218B4

公开(公告)日：2022-03-31

申请号：DE102017130218

申请日：2017-12-15

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  GREGORY JEFFREY A

IPC: G01C19/5733 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01C19/5747

Abstract: MEMS-Bauelement, das mehrere gekoppelte Massen aufweist, aufweisend:eine erste und eine zweite Prüfmasse, die jeweils zur linearen Bewegung entlang einer ersten Achse in Übereinstimmung mit einem Antriebmodus und zur linearen Bewegung entlang einer zweiten Achse in Übereinstimmung mit einem Messmodus, wobei die zweite Achse im Wesentlichen orthogonal zu der ersten Achse ist, ausgebildet sind; undeinen Koppler, der die erste und die zweite Prüfmasse miteinander koppelt und zur linearen Bewegung entlang der ersten Achse, wenn sich die erste und die zweite Prüfmasse in Übereinstimmung mit dem Messmodus bewegen, und zur linearen Bewegung entlang der zweiten Achse, wenn sich die erste und die zweite Prüfmassemasse in Übereinstimmung mit dem Antriebsmodus bewegen, ausgebildet ist.

公开(公告)号：DE102021111847A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：DE102021111847

申请日：2021-05-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  BLACKMER CHARLES ,  DUNN TYLER ADAM ,  HWANG EUGENE OH ,  KUANG JINBO ,  JIA KEMIAO ,  POPA LAURA CORNELIA ,  PRIKHODKO IGOR P ,  TATAR ERDINC

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/18

Abstract: Es werden hier säulenförmige mehrachsige MEMS-Vorrichtungen (MEMS, mikroelektromechanisches System) beschrieben, die gegen unerwünschte Linear- und Winkelschwingungen ausgeglichen sind. Bei einigen Ausführungsformen kann die säulenförmige MEMS-Vorrichtung mindestens zwei Mehrfachmassensäulen umfassen, die jeweils mindestens drei Prüfmassen aufweisen und dazu ausgebildet sind, eine Drehung um eine jeweilige Achse zu erfassen. Die Bewegung und die Masse der Prüfmassen können dahingehend gesteuert werden, einen Linear- und Drehausgleich der MEMS-Vorrichtung zu erzielen. Die säulenförmige MEMS-Vorrichtung kann ferner eine oder mehrere modulare Antriebsstrukturen umfassen, die neben jeder Mehrfachmassensäule angeordnet sind, um eine Verschiebung der Prüfmassen an einer jeweiligen Säule zu ermöglichen. Die hier beschriebenen MEMS-Vorrichtungen können dazu verwendet werden, Roll-, Gier- und Nickwinkelraten zu erfassen.

公开(公告)号：DE102021104935A1

公开(公告)日：2021-09-09

申请号：DE102021104935

申请日：2021-03-02

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  BERGERON JOSEPH ,  O'CONNOR ALAN CHRISTOPHER

IPC: G01C21/26

Abstract: Navigationssysteme und Verfahren für autonome Fahrzeuge sind bereitgestellt. Das Navigationssystem kann mehrere Navigationssysteme aufweisen, einschließlich eines mit einer Inertialmesseinheit (IMU). Die Einheit kann als die Primäreinheit für Navigationszwecke dienen, wobei andere Subsysteme als sekundär behandelt werden. Die anderen Navigationssysteme können Globales-Positionierungssystem(GPS)-Sensoren und Wahrnehmungssensoren aufweisen. Bei manchen Ausführungsformen kann das Navigationssystem ein erstes Filter für den IMU-Sensor und separate Filter für die andere Navigationssysteme aufweisen.

公开(公告)号：DE102020102104A1

公开(公告)日：2020-08-06

申请号：DE102020102104

申请日：2020-01-29

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  JUDY MICHAEL

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5719

Abstract: Es wird ein Dehnungsmoden-Elektrostatik-MEMS-Gyroskop beschrieben. Das MEMS-Gyroskop arbeitet in einer Dehnungsmode. Das MEMS-Gyroskop weist eine schwingende Ringstruktur auf, die elektrostatisch in die Dehnungsmode erregt wird.

公开(公告)号：DE102017130384A1

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：DE102017130384

申请日：2017-12-18

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： PRIKHODKO IGOR P ,  GREGORY JEFFREY A ,  GEEN JOHN A

IPC: G01C19/5733 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: Es werden mikrobearbeitete Trägheitsbauelemente vorgestellt, die mehrere sich linear bewegende Massen aufweisen, welche durch Koppler miteinander gekoppelt sind, die sich linear bewegen, wenn die gekoppelten Massen eine Gegenphasenbewegung zeigen. Die Koppler bewegen sich in entgegengesetzte Richtungen, so dass sich ein Koppler auf einer Seite der beweglichen Massen in eine erste lineare Richtung bewegt und sich ein anderer Koppler auf der gegenüberliegenden Seite der beweglichen Massen in eine der ersten linearen Richtung entgegengesetzte zweite lineare Richtung bewegt. Die Koppler gewährleisten eine ordnungsgemäße Gegenphasenbewegung der Massen.