公开(公告)号：DE102021114957A1

公开(公告)日：2021-12-23

申请号：DE102021114957

申请日：2021-06-10

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  POPA LAURA CORNELIA

IPC: G01C19/5733 ,  G01P15/14

Abstract: Koppler zum selektiven Koppeln von einer Bewegung innerhalb einer Ebene und außerhalb einer Ebene zwischen sich bewegenden Massen werden hierin bereitgestellt. Insbesondere stellen Aspekte der vorliegenden Anmeldung einen Koppler bereit, der dazu konfiguriert ist, eine Bewegung innerhalb einer Ebene zwischen sich bewegenden Massen zu koppeln, während eine Bewegung außerhalb einer Ebene zwischen den sich bewegenden Massen entkoppelt wird. Die selektiven Koppler können, wie hierin beschrieben, in einer Vorrichtung verwendet werden, wie beispielsweise einem Trägheitssensor für ein mikroelektromechanisches System (MEMS). In einigen Ausführungsformen umfasst ein MEMS-Trägheitssensor eine erste Masse, die dazu konfiguriert ist, sich innerhalb einer Ebene zu bewegen, eine zweite Masse, die dazu konfiguriert ist, sich innerhalb einer Ebene und außerhalb einer Ebene zu bewegen, und einen Koppler, der die ersten und zweiten Massen aneinanderkoppelt und zwei Hebel umfasst, die an einen Ankerpunkt durch jeweilige Anbindungen gekoppelt sind und aneinander durch eine Feder gekoppelt sind.

公开(公告)号：DE102021111847A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：DE102021111847

申请日：2021-05-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  BLACKMER CHARLES ,  DUNN TYLER ADAM ,  HWANG EUGENE OH ,  KUANG JINBO ,  JIA KEMIAO ,  POPA LAURA CORNELIA ,  PRIKHODKO IGOR P ,  TATAR ERDINC

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/18

Abstract: Es werden hier säulenförmige mehrachsige MEMS-Vorrichtungen (MEMS, mikroelektromechanisches System) beschrieben, die gegen unerwünschte Linear- und Winkelschwingungen ausgeglichen sind. Bei einigen Ausführungsformen kann die säulenförmige MEMS-Vorrichtung mindestens zwei Mehrfachmassensäulen umfassen, die jeweils mindestens drei Prüfmassen aufweisen und dazu ausgebildet sind, eine Drehung um eine jeweilige Achse zu erfassen. Die Bewegung und die Masse der Prüfmassen können dahingehend gesteuert werden, einen Linear- und Drehausgleich der MEMS-Vorrichtung zu erzielen. Die säulenförmige MEMS-Vorrichtung kann ferner eine oder mehrere modulare Antriebsstrukturen umfassen, die neben jeder Mehrfachmassensäule angeordnet sind, um eine Verschiebung der Prüfmassen an einer jeweiligen Säule zu ermöglichen. Die hier beschriebenen MEMS-Vorrichtungen können dazu verwendet werden, Roll-, Gier- und Nickwinkelraten zu erfassen.