公开(公告)号：WO2011078414A2

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：PCT/JP2010073884

申请日：2010-12-24

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD ,  MIYASAKA JUNKO ,  KOIKE AKIO ,  OGAWA TOMONORI

Inventor： MIYASAKA JUNKO ,  KOIKE AKIO ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  G02B1/00 ,  G03F1/22 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

Abstract: The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/°C (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5°C or more.

Abstract translation: 本发明涉及一种EUV光刻用光学部件用基板，其特征在于，包含含有TiO 2的石英玻璃，该基板具有两个相对面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /° C（交叉温度：COT），并且其中两个相对表面在5℃或更高的COT中具有差异。

公开(公告)号：DE102013002357A1

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：DE102013002357

申请日：2013-02-08

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： MIYASAKA JUNKO ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03B8/04 ,  C03B19/01 ,  C03B20/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines dotierten Quarzglases, welches aufweist: einen Schritt des Bildens eines Ausgangsmaterialgases, bei dem ein flüssiges Ausgangsmaterial, das eine Siliziumverbindung und eine sublimierbare organische Metallverbindung enthält, verdampft wird, so dass ein Ausgangsmaterialgas gebildet wird, und einen Schritt des Bildens von feinen Glasteilchen, bei dem das Ausgangsmaterialgas einer Knallgasflamme zugeführt wird und das Gas in der Flamme umgesetzt wird, so dass feine Glasteilchen gebildet werden.

公开(公告)号：DE102013002802A1

公开(公告)日：2013-08-22

申请号：DE102013002802

申请日：2013-02-19

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： OGAWA TOMONORI ,  NIHEI TOSHIFUMI ,  TAMITSUJI CHIKAYA ,  WATANABE KUNIO

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Titandioxid-enthaltenden mit Fluor dotierten Quarzglas-Körpers, wobei das Verfahren umfasst: (a) einen Schritt der Einstellung der Titandioxid-Konzentration, Fluor-Konzentration und fiktiven Temperatur, basierend auf einem Zielwert von COT und auf einem Zielwert von &Dgr;T; (b) einen Schritt des Bildens eines porösen Glas-Körpers durch Flamm-Hydrolyse; (c) einen Schritt des Dotierens des porösen Glas-Körpers mit Fluor; (d) einen Schritt des Unterziehens des Fluor-enthaltenden porösen Glas-Körpers einer Verdichtungs-Behandlung; (e) einen Schritt des Messens der Titandioxid-Konzentration des porösen Glas-Körpers und/oder des dichten Körpers; (f) einen Schritt des Messens der Fluor-Konzentration des dichten Körpers; (g) einen Schritt des Bestimmens der fiktiven Temperatur durch Anwenden eines gemessenen Wertes der Titandioxid-Konzentration, erhalten in dem Schritt (e), und eines gemessenen Wertes der Fluor-Konzentration, erhalten in dem Schritt (f), (h) einen Schritt des Unterziehens des dichten Körpers einer transparenten Verglasung; und (i) einen Schritt des Glühens des transparenten Glas-Körpers, um die in dem Schritt (g) bestimmte fiktive Temperatur zu erzielen.

公开(公告)号：EP2441736A4

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：EP10777682

申请日：2010-05-11

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： KOIKE AKIO ,  MITSUMORI TAKAHIRO ,  IWAHASHI YASUTOMI ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03B19/14 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/24

CPC classification number: C03B25/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  G03F1/24 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/24355

公开(公告)号：EP2377826A4

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：EP10731255

申请日：2010-01-13

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： KOIKE AKIO ,  TAMITSUJI CHIKAYA ,  WATANABE KUNIO ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  G02B1/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1461 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60

公开(公告)号：EP2463250A4

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：EP10774919

申请日：2010-05-11

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： KOIKE AKIO ,  MITSUMORI TAKAHIRO ,  IWAHASHI YASUTOMI ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03B19/14 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/24

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

公开(公告)号：EP2518030A4

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：EP10834516

申请日：2010-11-24

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： KOIKE AKIO ,  MITSUMORI TAKAHIRO ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/089 ,  C03C3/097

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/42

公开(公告)号：EP2463245A4

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：EP09848070

申请日：2009-08-07

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD

Inventor： TAKATA MASAAKI ,  SHAO LONG ,  IWATA KEI ,  OGAWA TOMONORI

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B2201/04 ,  G03F7/70966 ,  Y02P40/57