公开(公告)号：TWI499686B

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：TW099127595

申请日：2010-08-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 雪洛 艾立克J ,  SHERO, ERIC J. ,  維埃茲 莫西斯 ,  VERGHESE, MOHITH ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/3141 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45527 ,  H01L21/02181 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/31645

公开(公告)号：TWI394862B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：TW093112463

申请日：2004-05-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  艾立克J. 雪洛 ,  SHERO, ERIC J.

IPC: C23C16/54

CPC classification number: B82Y30/00 ,  C23C16/403 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45525 ,  C23C22/68 ,  C30B25/14 ,  H01J37/32477

公开(公告)号：TWI493071B

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：TW096124005

申请日：2007-07-02

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克J. ,  SHERO, ERIC J. ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/44

CPC classification number: H01L21/3141 ,  C23C16/401 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45542 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/31612 ,  H01L21/31645