公开(公告)号：TWI467636B

公开(公告)日：2015-01-01

申请号：TW101136581

申请日：2012-10-03

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 恩古言 沙恩 川 ,  NGUYEN, THANH TRUNG ,  芬德斯 喬澤夫 瑪利亞 ,  FINDERS, JOZEF MARIA ,  凱特拉斯 威赫木斯 賽巴斯汀納 馬寇斯 馬力亞 ,  KETELAARS, WILHELMUS SEBASTIANUS MARCUS MARIA ,  威斯特 山達 佛芮得瑞克 ,  WUISTER, SANDER FREDERIK ,  凡 德 海登 愛迪 康那力斯 安東尼司 ,  VAN DER HEIJDEN, EDDY CORNELIS ANTONIUS ,  梅森 席洛倪莫斯 尤漢思 克力斯帝昂 ,  MEESSEN, HIERONYMUS JOHANNUS CHRISTIAAN ,  庫爾 羅伊洛夫 ,  KOOLE, ROELOF ,  彼得斯 愛蜜麗 ,  PEETERS, EMIEL ,  凡 西取 克利斯丁納 馬汀納斯 ,  VAN HEESCH, CHRISTIANUS MARTINUS ,  布瑞薩德 歐瑞利 馬力 安德利 ,  BRIZARD, AURELIE MARIE ANDREE ,  布慈 亨利 馬利 喬瑟夫 ,  BOOTS, HENRI MARIE JOSEPH ,  卓吉妮雅 塔瑪拉 ,  DRUZHININA, TAMARA ,  笛 瑞提 潔西卡 ,  DE RUITER, JESSICA

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: C30B1/12 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0337 ,  Y10T117/10

公开(公告)号：TW201320154A

公开(公告)日：2013-05-16

申请号：TW101136581

申请日：2012-10-03

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 恩古言 沙恩 川 ,  NGUYEN, THANH TRUNG ,  芬德斯 喬澤夫 瑪利亞 ,  FINDERS, JOZEF MARIA ,  凱特拉斯 威赫木斯 賽巴斯汀納 馬寇斯 馬力亞 ,  KETELAARS, WILHELMUS SEBASTIANUS MARCUS MARIA ,  威斯特 山達 佛芮得瑞克 ,  WUISTER, SANDER FREDERIK ,  凡 德 海登 愛迪 康那力斯 安東尼司 ,  VAN DER HEIJDEN, EDDY CORNELIS ANTONIUS ,  梅森 席洛倪莫斯 尤漢思 克力斯帝昂 ,  MEESSEN, HIERONYMUS JOHANNUS CHRISTIAAN ,  庫爾 羅伊洛夫 ,  KOOLE, ROELOF ,  彼得斯 愛蜜麗 ,  PEETERS, EMIEL ,  凡 西取 克利斯丁納 馬汀納斯 ,  VAN HEESCH, CHRISTIANUS MARTINUS ,  布瑞薩德 歐瑞利 馬力 安德利 ,  BRIZARD, AURELIE MARIE ANDREE ,  布慈 亨利 馬利 喬瑟夫 ,  BOOTS, HENRI MARIE JOSEPH ,  卓吉妮雅 塔瑪拉 ,  DRUZHININA, TAMARA ,  笛 瑞提 潔西卡 ,  DE RUITER, JESSICA

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: C30B1/12 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0337 ,  Y10T117/10

Abstract: 一種用以使一自我組合式嵌段聚合物對準之石墨磊晶模板，該自我組合式嵌段聚合物經調適以自我組合成具有不連續第一域之平行列之一2-D陣列，該等平行列平行於一第一軸線而延伸、沿著一正交第二軸線而相互間隔且係藉由一連續第二域而分離。該石墨磊晶模板具有第一實質上平行側壁及第二實質上平行側壁，該第一實質上平行側壁及該第二實質上平行側壁平行於該第一軸線而延伸且界定該第一軸線且沿著該第二軸線而相互間隔以提供一隔室，該隔室用以將該基板上之該自我組合式嵌段共聚物的不連續第一域之至少一列固持於該等側壁之間且固持成平行於該等側壁，且係藉由一連續第二域而與該至少一列分離。該隔室具有經配置以將該等不連續第一域中至少一者定位於該隔室內之一特定位置處之一石墨磊晶凝核特徵。本發明亦揭示用於形成該石墨磊晶模板之方法及該石墨磊晶模板用於器件微影之用途。

Abstract in simplified Chinese: 一种用以使一自我组合式嵌段聚合物对准之石墨磊晶模板，该自我组合式嵌段聚合物经调适以自我组合成具有不连续第一域之平行列之一2-D数组，该等平行列平行于一第一轴线而延伸、沿着一正交第二轴线而相互间隔且系借由一连续第二域而分离。该石墨磊晶模板具有第一实质上平行侧壁及第二实质上平行侧壁，该第一实质上平行侧壁及该第二实质上平行侧壁平行于该第一轴线而延伸且界定该第一轴线且沿着该第二轴线而相互间隔以提供一隔室，该隔室用以将该基板上之该自我组合式嵌段共聚物的不连续第一域之至少一列固持于该等侧壁之间且固持成平行于该等侧壁，且系借由一连续第二域而与该至少一列分离。该隔室具有经配置以将该等不连续第一域中至少一者定位于该隔室内之一特定位置处之一石墨磊晶凝核特征。本发明亦揭示用于形成该石墨磊晶模板之方法及该石墨磊晶模板用于器件微影之用途。