公开(公告)号：WO2015139951A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：PCT/EP2015/054448

申请日：2015-03-03

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： HSU, Duan-Fu, Stephen ,  JIA, Jianjun ,  LIU, Xiaofeng ,  ZHANG, Youping

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/36

CPC classification number: G03F7/7055 ,  G03F1/36 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/705

Abstract: Disclosed herein is a computer-implemented method to improve a lithographic process for imaging a portion of a design layout onto a substrate using a lithographic projection apparatus, the method comprising: computing a multi-variable cost function of a plurality of design variables that are characteristics of the lithographic process, and reconfiguring the characteristics of the lithographic process by adjusting the design variables until a predefined termination condition is satisfied. The multi-variable cost function may be a function of one or more pattern shift errors. Reconfiguration of the characteristics may be under one or more constraints on the one or more pattern shift errors.

Abstract translation: 本文公开了一种计算机实现的方法，用于改进用于使用光刻投影设备将设计布局的一部分成像到基板上的光刻工艺，所述方法包括：计算作为特征的多个设计变量的多变量成本函数 并且通过调整设计变量来重新配置光刻工艺的特性，直到满足预定的终止条件。 多变量成本函数可以是一个或多个模式偏移误差的函数。 特征的重新配置可能在一个或多个模式偏移误差的一个或多个约束下。

公开(公告)号：WO2016192964A1

公开(公告)日：2016-12-08

申请号：PCT/EP2016/060891

申请日：2016-05-13

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： HSU, Duan-Fu, Stephen ,  HOWELL, Rafael C. ,  JIA, Jianjun

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/705 ,  G03F7/70125 ,  G06F17/5036 ,  G06F2217/12

Abstract: Disclosed herein is a computer-implemented method including: determining a first partial image formed from a first radiation portion propagating along a first group of one or more directions, by a lithographic projection apparatus; determining a second partial image formed from a second radiation portion propagating along a second group of one or more directions, by the lithographic projection apparatus; determining an image by incoherently adding the first partial image and the second partial image; wherein the first group of one or more directions and the second group of one or more directions are different.

Abstract translation: 这里公开了一种计算机实现的方法，包括：通过光刻投影设备确定由沿一个或多个方向的第一组传播的第一辐射部分形成的第一部分图像; 确定由沿着一个或多个方向的第二组传播的第二辐射部分由光刻投影装置形成的第二部分图像; 通过非相干地添加所述第一部分图像和所述第二部分图像来确定图像; 其中一个或多个方向的第一组和一个或多个方向的第二组是不同的。