公开(公告)号：NL2012362A

公开(公告)日：2014-09-30

申请号：NL2012362

申请日：2014-03-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WILEY JAMES NORMAN ,  SCACCABAROZZI LUIGI ,  BROUNS DERK SERVATIUS GERTRUDA ,  ARIAS ESPINOZA JUAN DIEGO ,  WINTER LAURENTIUS ,  DHALLUIN FLORIAN DIDIER ALBIN ,  RIZO DIAGO PEDRO

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2013826A

公开(公告)日：2015-06-08

申请号：NL2013826

申请日：2014-11-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： JANSEN MAARTEN MATHIJS MARINUS ,  ARIAS ESPINOZA JUAN DIEGO ,  KUSTER JOHANNES PETERUS HENRICUS

IPC: G03F7/20