公开(公告)号：DE602005000696D1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：DE602005000696

申请日：2005-04-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KOLESNYCHENKO ALEKSEY YURIEVIC ,  BASELMANS JOHANNES JACOBUS ,  DONDERS SJOERD NICOLAAS ,  HOOGENDAM CHRISTIAAN ALEXANDER ,  MERTENS JEROEN JOHANNES ,  MULKENS JOHANNES CATHARINUS ,  PEETERS FELIX GODFRIED ,  STREEFKERK BOB ,  TEUNISSEN FRANCISCUS JOHANNES ,  VAN SANTEN HELMAR ,  JANSEN HANS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：DE602005000696T2

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：DE602005000696

申请日：2005-04-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KOLESNYCHENKO ALEKSEY YURIEVIC ,  BASELMANS JOHANNES JACOBUS ,  DONDERS SJOERD NICOLAAS ,  HOOGENDAM CHRISTIAAN ALEXANDER ,  MERTENS JEROEN JOHANNES ,  MULKENS JOHANNES CATHARINUS ,  PEETERS FELIX GODFRIED ,  STREEFKERK BOB ,  TEUNISSEN FRANCISCUS JOHANNES ,  VAN SANTEN HELMAR ,  JANSEN HANS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027