公开(公告)号：NL1036618A1

公开(公告)日：2009-09-25

申请号：NL1036618

申请日：2009-02-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： EUSSEN EMIEL JOZEF MELANIE ,  PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS VAN DER ,  LEEUWEN ROBERT EDGAR VAN ,  KLAVER RENATUS GERARDUS ,  HAMERS MARTIJN ROBERT

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1036474A1

公开(公告)日：2009-08-11

申请号：NL1036474

申请日：2009-01-28

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BRINK MARINUS AART VAN DEN ,  BUTLER HANS ,  EUSSEN EMIEL JOZEF MELANIE ,  PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS VAN DER ,  WIJST MARC WILHELMUS MARIA VAN DER ,  ANGELIS GEORGO ,  KLAVER RENATUS GERARDUS ,  HAMERS MARTIJN ROBERT ,  VERHAAR BOUDEWIJN THEODORUS ,  HOEKSTRA PETER

IPC: G03F7/20