公开(公告)号：NL2003192A1

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：NL2003192

申请日：2009-07-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLAASSEN MICHEL ,  SCHOOT JAN VAN ,  DUTARTRE SYLVAIN

IPC: G21K1/06 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2006644A

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：NL2006644

申请日：2011-04-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLAASSEN MICHEL ,  KREUWEL HERMANUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2003202A1

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：NL2003202

申请日：2009-07-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLAASSEN MICHEL ,  GROENEVELD ROGIER ,  STRUYCKEN ALEXANDER ,  SWINKELS GERARDUS HUBERTUS

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20