公开(公告)号：NL2002838A1

公开(公告)日：2009-12-01

申请号：NL2002838

申请日：2009-05-05

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BANINE VADIM ,  BOEIJ WILHELMUS DE ,  LOOPSTRA JOHANNES ,  SWINKELS GERARDUS ,  DIJSSELDONK ANTONIUS VAN ,  SCHOOT JAN VAN

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2003192A1

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：NL2003192

申请日：2009-07-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLAASSEN MICHEL ,  SCHOOT JAN VAN ,  DUTARTRE SYLVAIN

IPC: G21K1/06 ,  G03F7/20