公开(公告)号：KR20200136833A

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：KR20200062900

申请日：2020-05-26

Applicant: CANON KK

Inventor： KURI MASAHIRO ,  HASEGAWA NORIYASU ,  NAMBA HISASHI ,  KATSUTA KEN ,  SAKAI KEITA ,  KAWAHARA NOBUTO ,  KOBAYASHI KENICHI

IPC: B29C59/00 ,  B29C31/04 ,  B29C59/02 ,  B29L31/34 ,  B41J2/095 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16

Abstract: 액체상태의토출재를토출하는토출구를갖는토출헤드; 토출재를내부에수용하고토출헤드와연통하는수용용기; 및수용용기내부의압력을부압으로유지하는압력제어유닛을포함하는토출장치가제공된다. 압력제어유닛은통상동작시에는상기수용용기에제1 압력을발생시키며, 상기제1 압력은토출구내에토출재의메니스커스를형성할수 있다. 상기압력제어유닛은상기수용용기내부의압력이제1 압력을초과한미리결정된압력에도달하는경우에는수용용기내부의압력을적어도제1 압력까지저하시킨다.

公开(公告)号：KR20200125475A

公开(公告)日：2020-11-04

申请号：KR20200047822

申请日：2020-04-21

Applicant: CANON KK

Inventor： NAMBA HISASHI ,  HASEGAWA NORIYASU ,  KATSUTA KEN ,  KAWAHARA NOBUTO ,  MATSUMOTO HIDEKI

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/175 ,  B41J29/38 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16

Abstract: 토출장치는패턴을형성하도록기판상에토출되는토출재에대해몰드를압박하는임프린트장치에사용된다. 토출장치는기판상에토출재를토출하도록구성되는토출헤드및 토출재를수용하도록구성되는하우징을구비한하우징유닛, 및토출장치의처리를제어하도록구성되는제어유닛을포함한다. 제어유닛은하우징유닛에포함된소모품의사용상황에따라처리를전환한다.

公开(公告)号：EP2269511A4

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：EP09814209

申请日：2009-08-03

Applicant: CANON KK

Inventor： OKUNUKI MASAHIKO ,  SATO MAKOTO ,  TSUJII OSAMU ,  OGURA TAKASHI ,  NAMBA HISASHI

IPC: A61B6/00 ,  A61B6/03 ,  G01N23/04 ,  H01J35/06 ,  H01J35/08 ,  H01J35/18 ,  H05G1/46 ,  H05G1/52 ,  H05G1/56 ,  H05G1/70

CPC classification number: H01J35/065 ,  A61B6/032 ,  A61B6/4007 ,  A61B6/4028 ,  A61B6/4441 ,  A61B6/5241 ,  A61B6/547 ,  H01J35/06 ,  H01J35/08 ,  H01J35/18 ,  H01J2235/062 ,  H01J2235/064 ,  H01J2235/068 ,  H01J2235/087 ,  H05G1/70