Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To disclose a means of adjusting the absolute value of CTE, which simultaneously leads to both of improved transmission characteristics and an adjustment of the absolute value of the CTE, through a change in the speed of annealing.SOLUTION: This silica-titania glass has internal transmission of: >90%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm; >93%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm; or >95%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm, or the silica-titania glass has an overall transmission of an optical member made of the glass of: >84% at wavelengths from 340 to 840 nm; >86% at wavelengths from 340 to 840 nm; or >88% at wavelengths from 330 to 840 nm, or furthermore, the silica-titania glass has a Ticoncentration level less than 3 ppm by weight.
Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low thermal expansion glass which has stable thermal expansion in a temperature range wider than that in the present ULE glass and can be polished so as to satisfy surface roughness requirements. SOLUTION: The low thermal expansion glass includes a base glass material 3 having a front surface 5, a back surface 7, and a thickness T; and a glass coating material 9 applied on at least the front surface 5 of the base glass material 3. The base glass material 3 consists essentially of 10 wt.% to 20 wt.% titania and 80 wt.% to 90 wt.% silica. The glass coating material 9 also consists essentially of titania and silica, but the total amount of titania in the glass coating material 9 is lower than the total amount of titania in the base glass material 3. The base glass material 3 preferably has a coefficient of thermal expansion of substantially zero in the temperature range of about 10 to 100°C. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for effectively filling hydrogen into a fused silica of post-consolidation. SOLUTION: A method of producing a fused silica article having a concentration of hydroxyl (OH) groups of up to about 60 ppm by weight and a combined concentration of light hydrogen and deuterium in a range from about 1×10 16 molecules/cm 3 up to about 6×10 19 molecules/cm 3 is provided. In some embodiments, deuterium is present in an amount greater than its natural isotopic abundance. The method includes the steps of providing a fused silica boule, diffusing at least one of light hydrogen and deuterium into the boule, and annealing the boule to form the fused silica article. A method of diffusing hydrogen into fused silica and a fused silica article filled with hydrogen formed by the method are also described. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
Abstract:
Verfahren zur Herstellung eines Kieselglas-Artikels wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: a. Bereitstellen eines Kieselglas-Boules, wobei der Kieselglas-Boule verfestigt wurde, und wobei der Kieselglas-Boule eine Konzentration von Hydroxyl-Gruppen von weniger als 100 Gewichts-ppm aufweist; b. Diffundieren von Deuterium in den Kieselglas-Boule bei einer vorher bestimmten Temperatur, wobei das Deuterium in einer Menge vorhanden ist, die größer ist als seine natürliche Isotopenhäufigkeit; und c. Annealing des Kieselsäuerglas-Boules nach Diffundieren des Deuteriums bei einer vorherbestimmten Annealingtemperatur in den Kieselglas-Boule zur Bildung des Kieselglas-Artikels, wobei der Kieselglas-Artikel eine kombinierte Konzentration von Protium und Deuterium in einem Bereich von 1 × 1016 Moleküle/cm3 bis zu 6 × 1019 Moleküle/cm3 aufweist und wobei Deuterium in einer Konzentration vorhanden ist, die größer ist als die natürliche Isotopenhäufigkeit, wobei der Schritt des Diffundierens von Deuterium in den Kieselglas-Boule bei einer vorherbestimmten Temperatur das Exponieren des Kieselglas-Boules gegenüber zumindest einem Impuls eines ersten Deuteriumdruckes umfasst, wobei jeder Impuls eine vorherbestimmte Zeitdauer aufweist, und wobei der Deuteriumdruck größer als der Umgebungsdruck ist; und das Exponieren des Kieselglas-Boules gegenüber einem zweiten Deuteriumdruck unmittelbar nach jedem Impuls für eine zweite Zeitdauer umfasst, wobei der zweite Deuteriumdruck geringer als der erste Deuteriumdruck ist.
Abstract:
Ein Glas mit geringer Wärmeausdehnung schließt ein Glasgrundmaterial mit einer Vorderseite, einer Rückseite und einer Dicke und ein Glasbeschichtungsmaterial, das wenigstens auf die Vorderseite des Glasgrundmaterials aufgebracht ist, ein. Das Glasgrundmaterial besteht im Wesentlichen aus 10 Gew.-% bis 20 Gew.-% Titandioxid und 80 Gew.-% bis 90 Gew.-% Siliziumdioxid. Das Glasbeschichtungsmaterial besteht auch im Wesentlichen aus Titandioxid und Siliziumdioxid, die Gesamtmenge an Titandioxid im Glasbeschichtungsmaterial ist jedoch kleiner als die Gesamtmenge an Titandioxid im Glasgrundmaterial. Ein Siliziumdioxid-Titandioxid-Glaselement, das für Lithographie-Anwendungen im extremen Ultraviolett geeignet ist, besteht aus 12 Gew.-% bis 20 Gew.-% Titandioxid und 80 Gew.-% bis 88 Gew.-% Siliziumdioxid und weist einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von im Wesentlichen 0 &Dgr;L/L in einem Temperaturbereich von -20°C bis +100°C auf.
Abstract:
A method of making a fused silica article having a combined concentration of protium and deuterium in a range from about 1×1016 molecules/cm3 up to about 6×1019 molecules/cm3. In some embodiments, deuterium is present in an amount greater than its natural isotopic abundance. The method includes the steps of providing a fused silica boule, diffusing at least one of protium and deuterium into the boule, and annealing the boule to form the fused silica article. A method of diffusing hydrogen into fused silica and a fused silica article loaded with hydrogen formed by the method are also described.