公开(公告)号：WO2016008532A1

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：PCT/EP2014/065441

申请日：2014-07-17

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RASMUSSEN, Kurt

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/0104 ,  B81C2201/0176 ,  H04R19/005 ,  H04R31/006 ,  H04R2201/003

Abstract: The present invention concerns a transducer element (1) which comprises a substrate (5) which comprises a cavity (23) extending through the substrate (5), a backplate (3) which is arranged in the cavity (23) of the substrate (5) and a membrane (2) which is movable relative to the backplate (3). Further, the present invention concerns a method of manufacturing a transducer element (1).

Abstract translation: 本发明涉及一种换能器元件（1），其包括基板（5），该基板（5）包括延伸穿过基板（5）的空腔（23），设置在基板的空腔（23）中的背板（3） 5）和可相对于背板（3）移动的膜（2）。 此外，本发明涉及一种制造换能器元件（1）的方法。

公开(公告)号：WO2015197105A1

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：PCT/EP2014/063148

申请日：2014-06-23

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RASMUSSEN, Kurt

IPC: H04R19/00 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/00269 ,  B81C2203/0109 ,  H04R19/005 ,  H04R31/00 ,  H04R2201/003

Abstract: The present invention concerns a microphone (1) which comprises a substrate (7), a transducer element (2) defining a front volume (5), a lid (10) arranged such that the transducer element (2) is arranged between the substrate (7) and the lid (10), wherein the lid (10) comprises an opening (12) which is arranged non-overlapping to the front volume (5) of the transducer element (2), and an insert (13) which is arranged between the lid (10) and the transducer element (2), wherein the insert (13) comprises a path (14) which connects the front volume (5) of the transducer element (2) to the opening (12) of the lid (10). Moreover, the present invention concerns a method of manufacturing a microphone (1).

Abstract translation: 本发明涉及一种麦克风（1），其包括基板（7），限定前体积（5）的换能器元件（2），布置成使得换能器元件（2）布置在基板 （7）和所述盖（10），其中所述盖（10）包括与所述换能器元件（2）的前部容积（5）不重叠的开口（12）和插入件（13），所述插入件 布置在盖（10）和换能器元件（2）之间，其中插入件（13）包括将换能器元件（2）的前部容积（5）与开口（12）连接的通路（14） 盖（10）。 此外，本发明涉及一种制造麦克风（1）的方法。

公开(公告)号：WO2013071952A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：PCT/EP2011/070071

申请日：2011-11-14

Applicant: EPCOS AG ,  JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt

Inventor： JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt

IPC: H04R19/00

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B7/0025 ,  B81B2201/0257 ,  B81C2201/053 ,  H04R19/005 ,  H04R31/003 ,  H04R2201/003 ,  H04R2410/03

Abstract: A MEMS microphone with reduced parasitic capacitance is provided. Therefore, a microphone comprises a protection film covering a rim-sided area of the backplate.

Abstract translation: 提供具有降低的寄生电容的MEMS麦克风。 因此，麦克风包括覆盖背板的边缘区域的保护膜。

公开(公告)号：WO2013071951A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：PCT/EP2011/070070

申请日：2011-11-14

Applicant: EPCOS AG ,  JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt

Inventor： JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt

IPC: H04R1/22 ,  H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/00698 ,  H04R1/222 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00 ,  H04R31/006 ,  H04R2201/003

Abstract: A MEMS microphone having reduced parasitic capacitance is provided. Therefore, the microphone comprises a trench electrically separating an acoustically active section of the backplate from an acoustically inactive section of the backplate.

Abstract translation: 提供具有降低的寄生电容的MEMS麦克风。 因此，麦克风包括将背板的声学活动部分与背板的声学不起作用的部分电隔离的沟槽。

公开(公告)号：WO2015173009A1

公开(公告)日：2015-11-19

申请号：PCT/EP2015/059203

申请日：2015-04-28

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RASMUSSEN, Kurt ,  ROMBACH, Pirmin Hermann Otto

IPC: H04R1/08 ,  H04R1/28

CPC classification number: H04R1/086 ,  B81B7/0058 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2207/012 ,  B81C2203/0109 ,  H04R1/2884 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikrofon (1), das ein Substrat (8), ein Wandlerelement (2), das auf dem Substrat (8) angeordnet ist,einen Deckel (11) mit einer Öffnung (13), wobei die Öffnung (13) des Deckels (11) das Wandlerelement (2) vollständig überdeckt, und einer Schalltrennung (14), die den Deckel (11) an dem Wandlerelement (2) befestigt, aufweist.

Abstract translation: 本发明涉及一种麦克风（1），包括基板（8），一个换能器元件设置在所述基板（8）上，盖（11）具有开口（13）（2），所述开口（13 ）在盖（11）的换能器元件（2）完全覆盖，并且一个声音隔离（14），其固定在换能器元件（2），包括在所述盖（11）的。

公开(公告)号：WO2014094831A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：PCT/EP2012/076022

申请日：2012-12-18

Applicant: EPCOS AG

Inventor： RAVNKILDE, Jan Tue ,  GIESEN, Marcel ,  RASMUSSEN, Kurt ,  GINNERUP, Morten ,  ROMBACH, Pirmin Hermann Otto ,  PAHL, Wolfgang ,  LEIDL, Anton ,  SCHOBER, Armin ,  PORTMANN, Jürgen

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R19/005 ,  B81B7/0016 ,  B81B2207/115 ,  H04R1/04 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00 ,  H04R31/006 ,  H04R2201/003

Abstract: An top-port MEMS microphone TPMM allowing further miniaturization while maintaining a good performance is provided. The microphone comprises an MEMS chip MC with a monolithically connected protection element PE at the upper side enhancing the mechanical stability of the MEMS chip.

Abstract translation: 提供了一种顶端的MEMS麦克风TPM，允许进一步小型化，同时保持良好的性能。 麦克风包括在上侧具有单片连接的保护元件PE的MEMS芯片MC，增强了MEMS芯片的机械稳定性。

公开(公告)号：WO2013071950A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：PCT/EP2011/070067

申请日：2011-11-14

Applicant: EPCOS AG ,  JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt ,  MORTENSEN, Dennis

Inventor： JOHANSEN, Leif Steen ,  RAVNKILDE, Jan Tue ,  ROMBACH, Pirmin ,  RASMUSSEN, Kurt ,  MORTENSEN, Dennis

IPC: H04R19/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/00698 ,  H04R19/005 ,  H04R31/006 ,  H04R2201/003 ,  Y10T428/24273

Abstract: A MEMS backplate enabling MEMS microphones with reduced parasitic capacitance is provided. Therefore, the backplate comprises apertures in a suspension area.

Abstract translation: 提供了一种MEMS背板，实现了具有降低的寄生电容的MEMS麦克风。 因此，背板包括悬挂区域中的孔。

公开(公告)号：EP3158776A1

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：EP14731671.5

申请日：2014-06-23

Applicant: Epcos AG

Inventor： RASMUSSEN, Kurt

IPC: H04R19/00 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/00269 ,  B81C2203/0109 ,  H04R19/005 ,  H04R31/00 ,  H04R2201/003

Abstract: A microphone and a method for manufacturing a microphone are disclosed. In an embodiment the microphone includes a substrate, a transducer element defining a front volume and a lid arranged such that the transducer element is arranged between the substrate and the lid, wherein the lid comprises an opening which is arranged non-overlapping to the front volume of the transducer element. The microphone further includes an insert arranged between the lid and the transducer element, wherein the insert includes a path which connects the front volume of the transducer element to the opening of the lid.

Abstract translation: 本发明涉及一种麦克风（1），其包括基板（7），限定前部容积（5）的换能器元件（2），布置成使得换能器元件（2）布置在基板 其特征在于，所述盖（10）包括与所述换能器元件（2）的前部体积（5）不重叠布置的开口（12），以及插入件（13），所述插入件 其特征在于，所述插入件（13）包括将所述换能器元件（2）的前部空间（5）连接到所述盖（10）和所述换能器元件（2）的所述开口（12） 盖（10）。 此外，本发明涉及一种制造麦克风（1）的方法。