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公开(公告)号：DE102014019744B3
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：DE102014019744
申请日：2014-05-14
Applicant: EPCOS AG
Inventor： ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO , RASMUSSEN KURT
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikrofon (1), das ein Substrat (8), ein Wandlerelement (2), das auf dem Substrat (8) angeordnet ist, einen Deckel (11) mit einer Öffnung (13), wobei die Öffnung (13) des Deckels (11) das Wandlerelement (2) vollständig überdeckt, und einer Schalltrennung (14), die den Deckel (11) an dem Wandlerelement (2) befestigt, aufweist.
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公开(公告)号：DE102014019746B3
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：DE102014019746
申请日：2014-05-14
Applicant: EPCOS AG
Inventor： ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO , RASMUSSEN KURT
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikrofon (1), das ein Substrat (8), ein Wandlerelement (2), das auf dem Substrat (8) angeordnet ist, einen Deckel (11) mit einer Öffnung (13), wobei die Öffnung (13) des Deckels (11) das Wandlerelement (2) vollständig überdeckt, und einer Schalltrennung (14), die den Deckel (11) an dem Wandlerelement (2) befestigt, aufweist.
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公开(公告)号：DE102014106818B3
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：DE102014106818
申请日：2014-05-14
Applicant: EPCOS AG
Inventor： RASMUSSEN KURT , ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikrofon (1), das ein Substrat (8), ein Wandlerelement (2), das auf dem Substrat (8) angeordnet ist, einen Deckel (11) mit einer Öffnung (13), wobei die Öffnung (13) des Deckels (11) das Wandlerelement (2) vollständig überdeckt, und einer Schalltrennung (14), die den Deckel (11) an dem Wandlerelement (2) befestigt, aufweist.
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公开(公告)号：DE112011105847T5
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：DE112011105847
申请日：2011-11-14
Applicant: EPCOS AG
Inventor： JOHANSEN LEIF STEEN , RAVNKILDE JAN TUE , ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO , RASMUSSEN KURT , MORTENSEN DENNIS
IPC: H04R19/00
Abstract: Eine MEMS-Rückplatte, die MEMS-Mikrofone mit einer reduzierten parasitären Kapazität ermöglicht, wird bereitgestellt. Aus diesem Grund umfasst die Rückplatte Öffnungen in einem Aufhängungsbereich.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE112011105850T5
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：DE112011105850
申请日：2011-11-14
Applicant: EPCOS AG
Abstract: Ein MEMS-Mikrofon mit reduzierter parasitärer Kapazität wird vorgesehen. Daher umfasst das Mikrofon einen Graben, der einen akustisch aktiven Abschnitt der Rückplatte elektrisch von einem akustisch inaktiven Abschnitt der Rückplatte trennt.
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公开(公告)号：DE112014006817T5
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：DE112014006817
申请日：2014-07-17
Applicant: EPCOS AG
Inventor： RASMUSSEN KURT
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Wandlerelement (1), das ein Substrat (5) umfasst, das einen Hohlraum (23), der sich durch das Substrat (5) erstreckt, eine Rückplatte (3), die im Hohlraum (23) des Substrats (5) angeordnet ist, und eine Membran (2), die relativ zur Rückplatte (3) beweglich ist, umfasst. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein Wandlerelement (1).
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公开(公告)号：DE112011105845T5
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：DE112011105845
申请日：2011-11-14
Applicant: EPCOS AG
IPC: H04R19/00
Abstract: Es wird ein MEMS-Mikrofon mit reduzierter parasitärer Kapazität bereitgestellt. Daher weist ein Mikrofon eine Schutzschicht auf, der einen randseitigen Bereich der Rückplatte abdeckt.
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公开(公告)号：DE102017115405B3
公开(公告)日：2018-12-20
申请号：DE102017115405
申请日：2017-07-10
Applicant: EPCOS AG
Inventor： ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO , MORTENSEN DENNIS , RAVNKILDE JAN TUE , RASMUSSEN KURT , GINNERUP MORTEN
Abstract: Es wird ein MEMS-Mikrofon bereitgestellt, das eine Trägerplatte und darauf einen über einer Schallöffnung montierten MEMS-Chip umfasst. Ein Filterchip umfasst ein Vollmaterial mit einem durch ein Sieb überdeckten und verschlossenen Durchlass. Das Sieb umfasst eine Schicht des Filterchips mit parallelen durchgehenden ersten Löchern, die in der Schicht strukturiert sind. Der Filterchip ist so in oder auf der Trägerplatte angeordnet, dass das Sieb die Schallöffnung überdeckt.
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公开(公告)号：DE112012007235T5
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：DE112012007235
申请日：2012-12-18
Applicant: EPCOS AG
Inventor： RAVNKILDE JAN TUE , GIESEN MARCEL , RASMUSSEN KURT , GINNERUP MORTEN , ROMBACH PIRMIN HERMANN OTTO , PAHL WOLFGANG , LEIDL ANTON , SCHOBER ARMIN , PORTMANN JÜRGEN
Abstract: Es wird ein Top-Port-MEMS-Mikrofon TPMM bereitgestellt, durch das bei Beibehaltung einer guten Leistung eine weitere Miniaturisierung ermöglicht wird. Das Mikrofon umfasst einen MEMS-Chip MC mit einem monolithisch verbundenen Schutzelement PE auf der Oberseite, das die mechanische Stabilität des MEMS-Chips verbessert.
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