公开(公告)号：WO2016034391A1

公开(公告)日：2016-03-10

申请号：PCT/EP2015/068735

申请日：2015-08-14

Applicant: EPCOS AG

Inventor： SCHÄUFELE, Ansgar

IPC: H01L23/04 ,  B81C1/00 ,  H01L21/48

CPC classification number: H01L21/4817 ,  B81B2201/0271 ,  B81C1/00634 ,  B81C2203/0136 ,  H01L23/04 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung wenigstens einer Abdeckung (11, 12) für ein Bauelement (16) angegeben, bei dem eine Schicht (1, 9) eines Materials auf ein Trägersubstrat (4) aufgebracht wird, wobei die Schicht (1, 9) wenigstens eine Ausnehmung (5) aufweist und wobei die Schicht (1, 9) erwärmt wird, so dass die Ausnehmung (5) zumindest teilweise vom Material der Schicht (1, 9) aufgefüllt wird. Weiterhin wird ein Bauelement (16) angegeben, auf dem mehrere in Dünnschicht-Technologie hergestellte Abdeckungen (14, 15) unterschiedlicher lateraler Ausdehnungen (l 1 , l 2 ) nebeneinander angeordnet sind, wobei die Abdeckungen (14, 15) denselben Krümmungsradius (r 14 , r 15 ) aufweisen.

Abstract translation: 提供了一种方法，用于产生至少一个盖（11，12），用于一个组件（16），其中的层（1,9）的材料到载体基底的施加（4），其中所述层（1,9） 具有至少一个凹部（5），并且其中所述加热层（1,9），使得所述凹部（5）由该层的材料填充至少部分（1,9）。 此外，一个部件（16）设置，在不同的横向范围（L1，L2）的薄膜技术（14,15）制造的多个盖被并排布置，所述盖（14，15）具有相同的曲率半径（R14，R15） 有。

公开(公告)号：WO2012022586A1

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：PCT/EP2011/062751

申请日：2011-07-25

Applicant: EPCOS AG ,  SCHÄUFELE, Ansgar ,  LINSS, Margot ,  WOELKY, Martin

Inventor： SCHÄUFELE, Ansgar ,  LINSS, Margot ,  WOELKY, Martin

IPC: H03H9/10 ,  H03H9/05

CPC classification number: H01L23/564 ,  H01L23/296 ,  H01L2924/0002 ,  H03H9/02937 ,  H03H9/02984 ,  H03H9/059 ,  H03H9/1078 ,  H01L2924/00

Abstract: Es werden Bauelemente mit verbessertem Schutz, z. B. gegen Feuchtigkeit, sowie Verfahren zur Herstellung solcher Bauelemente angegeben. Ein Bauelement umfasst ein Gehäuse, im Gehäuse angeordnete Bauelementstrukturen sowie eine selbstorganisierende Monolage, die die Bauelementstrukturen bedeckt.

Abstract translation: 有改进的保护这样的设备。 B.防止湿气，以及用于制备这种特定组分的方法。 一种装置，包括设置在所述壳体部件的结构和自组装单分子层覆盖所述部件的结构的壳体。

公开(公告)号：WO2016087329A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：PCT/EP2015/077934

申请日：2015-11-27

Applicant: EPCOS AG

Inventor： BAUER, Thomas ,  SCHÄUFELE, Ansgar ,  EGGS, Christoph

IPC: H03H9/10

CPC classification number: H03H9/1057 ,  H03H9/1007 ,  H03H9/1064

Abstract: Es wird ein MEMS-Bauelement (B) mit einer klein bauenden Einhäusung und hoher mechanischer Stabilität sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements angegeben. Das Bauelement (B) umfasst eine Dünnschicht-Abdeckung (DSA), die zusammen mit einem Trägersubstrat (TS) einen Hohlraum (H) einschließt, in dem Bauelementstrukturen angeordnet sind. Die Dünnschicht-Abdeckung (DSA) weist eine Wölbung auf.

Abstract translation: 它是一种MEMS装置（B）具有小的尺寸的外壳I和高的机械稳定性以及提供一种用于制造这种部件的方法。 组分（B）包括薄膜盖（DSA），其包括与载体基板（TS）具有空腔（H），被布置在元件结构连接在一起。 薄膜盖（DSA）具有曲率。

公开(公告)号：WO2008155296A3

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/EP2008/057498

申请日：2008-06-13

Applicant: EPCOS AG ,  SCHÄUFELE, Ansgar ,  LEIDL, Anton ,  SAUER, Wolfgang

Inventor： SCHÄUFELE, Ansgar ,  LEIDL, Anton ,  SAUER, Wolfgang

IPC: H03H9/24

Abstract: Es wird ein Bauelement (1) vorgeschlagen, bei dem die Aufhängung des Bauelements (1) in spannungsreduzierter Art und Weise erfolgt. Das Bauelement (1) kann auf einer Membran (4) aufliegen oder durch ein Federelement (2) gehalten werden. Die Membran (4) oder das Federelement (2) befinden sich über einer Vertiefung (6) oder einer Öffnung (7), die von der Membran (4) teilweise überspannt wird. Bevorzugt weist die Membran (4) ein E-Modul auf, das kleiner oder gleich dem E-Modul des Bauelements (1) oder des Substrats (3) ist. Das Bauelement (1) kann auf zwei Seiten ganz oder teilweise flächig mit Metallelektroden (10) bedeckt sein.

公开(公告)号：WO2016034456A1

公开(公告)日：2016-03-10

申请号：PCT/EP2015/069453

申请日：2015-08-25

Applicant: EPCOS AG

Inventor： SCHÄUFELE, Ansgar

IPC: H03H9/10 ,  B81B3/00 ,  H01L21/56

CPC classification number: B81B7/0058 ,  B32B3/263 ,  B32B3/28 ,  B32B2307/50 ,  B32B2457/00 ,  B81B2201/0271 ,  B81C1/00333 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0163 ,  H01L23/04 ,  H01L2924/0002 ,  H03H3/007 ,  H03H3/08 ,  H03H9/105 ,  H03H9/1092 ,  H03H2003/0071 ,  H01L2924/00

Abstract: Es wird eine Abdeckung (1) für ein elektronisches Bauelement (z.B. vom Typ MEMS, BAW oder SAW) angegeben. Die Abdeckung umfasst wenigstens eine Schicht (5, 6, 7), die eine Strukturierung (19, 20, 21) mit mehreren Erhebungen (8, 9, 15) und/oder Vertiefungen (10, 11, 16) aufweist. Zudem wird ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Abdeckung (1) angegeben.

Abstract translation: 提供了一种用于（类型MEMS，BAW或SAW的例如，）的电子部件提供一个盖（1）。 所述盖包括至少一个层（5，6，7），其具有结构化（19，20，21）具有若干凸起（8，9，15）和/或凹陷（10，11，16）。 此外，被指定用于制造这样的盖（1）的方法。

公开(公告)号：WO2015018571A1

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：PCT/EP2014/064099

申请日：2014-07-02

Applicant: EPCOS AG

Inventor： GIESEN, Marcel ,  METZGER, Thomas ,  EKKELS, Phillip ,  SCHÄUFELE, Ansgar

IPC: H04R31/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: B81C1/00682 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00666 ,  B81C99/004 ,  G01L9/0073 ,  H04R31/003

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Wandlers, das die folgenden Schritte aufweist: -Herstellen einer Vielzahl von mikroelektromechanischen Wandlern (1) auf einem einzigen Wafer (13), wobei jeder Wandler (1) eine Membran (3) aufweist, -Aufteilen des Wafers (13) in zumindest einen ersten und einen zweiten Bereich (14, 15), -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des ersten Bereichs (14) und Vergleich mit einem vorgegebenen Soll-Wert, -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des zweiten Bereichs (14) und Vergleich mit dem vorgegebenen Soll-Wert, -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem ersten Bereich (14) an den vorgegebenen Soll-Wert, und -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem zweiten Bereich (15) an den vorgegebenen Soll-Wert.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造微机电换能器，其包括以下步骤：在单个晶片（13）上-Herstellen多个微机电转换器（1）的，每个换能器（1）包括一个膜片（3）， - 将晶片分割（13）在至少一个第一和一个第二区域（14，15），-Feststellen膜的样品（18）的机械应力（3）在第一区域（14）和对规定的目标值的， -Feststellen膜的样品（18）的机械应力（3）所述第二区域（14），并与预定的所需值进行比较，在所述第一区域（14）-Adapting膜（3）的电压与所述预定的期望 值，并且-Adapting在第二区域（15）的膜（3）的电压施加到规定的目标值。