公开(公告)号：CN102760628B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。

公开(公告)号：CN102760628A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

Applicant: FEI公司

Inventor： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。