公开(公告)号：CN105590822A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510768953.7

申请日：2015-11-12

Applicant: FEI公司

Inventor： M.H.P.莫尔斯 ,  A.维斯彻尔

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/02 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/16 ,  H01J37/268 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及具有气压修正的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：在样品保持器上提供样品；引导来自源的带电粒子的射束通过照明器从而照射样品；使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的辐射通量，特别地包括以下步骤：为显微镜提供气压传感器；从所述气压传感器为自动控制器提供压强测量信号；调用所述控制器以使用所述信号作为到控制程序的输入，以基于所述信号来补偿所述射束和所述样品保持器的相对位置误差。

公开(公告)号：CN103681187B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201310385591.4

申请日：2013-08-30

Applicant: FEI公司 ,  马克斯·普朗克索赔科学公司

Inventor： B.布伊斯塞 ,  M.H.P.莫尔斯 ,  R.S.达内夫

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J31/283 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。

公开(公告)号：CN103681187A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310385591.4

申请日：2013-08-30

Applicant: FEI公司 ,  马克斯·普朗克索赔科学公司

Inventor： B.布伊斯塞 ,  M.H.P.莫尔斯 ,  R.S.达内夫

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J31/283 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。