Dampfabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur kontinuierlichen Abscheidung einer dotierten Dünnfilmschicht auf einem Substrat

    公开(公告)号:DE102011056645A1

    公开(公告)日:2012-06-21

    申请号:DE102011056645

    申请日:2011-12-19

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: Es sind eine Vorrichtung und ein zugehöriges Verfahren zur Dampfphasenabscheidung eines sublimierten Quellenmaterials als einen dünnen Film auf einem Photovoltaik(PV)-Modulsubstrat geschaffen. Ein Gefäß ist innerhalb einer Vakuumkopfkammer angeordnet und zur Aufnahme eines Quellenmaterials eingerichtet, das von einem ersten Zuführrohr zugeführt wird. Ein zweites Zuführrohr kann ein Dotiermaterial in den Abscheidekopf liefern. Ein beheizter Verteiler ist unterhalb des Gefäßes angeordnet und enthält mehrere durch ihn hindurch definierte Kanäle. Das Gefäß wird durch den Verteiler in einem Maße, das zur Sublimation des Quellenmaterials innerhalb des Gefäßes ausreicht, indirekt beheizt. Eine Verteilungsplatte ist unterhalb des Verteilers und in einem definierten Abstand oberhalb einer horizontalen Ebene eines durch die Vorrichtung hindurch beförderten Substrates angeordnet, um das sublimierte Quellenmaterial, das durch den Verteiler hindurch auf die Oberfläche des darunter liegenden Substrats strömt, weiter zu verteilen.

    METHODS OF TREATING A SEMICONDUCTOR LAYER

    公开(公告)号:SG2013062914A

    公开(公告)日:2014-03-28

    申请号:SG2013062914

    申请日:2013-08-19

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: Methods for treating a semiconductor layer including a semiconductor material are presented. A method includes contacting at least a portion of the semiconductor material with a passivating agent. The method further includes forming a first region in the semiconductor layer by introducing a dopant into the semiconductor material; and forming a chalcogen-rich region. The method further includes forming a second region in the semiconductor layer, the second region including a dopant, wherein an average atomic concentration of the dopant in the second region is greater than an average atomic concentration of the dopant in the first region. Photovoltaic devices are also presented.

    METHODS OF TREATING A SEMICONDUCTOR LAYER

    公开(公告)号:MY162202A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:MYPI2013002828

    申请日:2013-07-29

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: Methods for treating a semiconductor layer (110, 210) including a semiconductor material are presented. A method includes contacting at least a portion of the semiconductor material with a passivating agent. The method further includes forming a first region (112, 212) in the semiconductor layer (110, 210) by introducing a dopant into the semiconductor material; and forming a chalcogen-rich region. The method further includes forming a second region (114, 214) in the semiconductor layer (110, 210), the second region (114, 214) including a dopant, wherein an average atomic concentration of the dopant in the second region (114, 214) is greater than an average atomic concentration of the dopant in the first region (112, 212). Photovoltaic devices (100) are also presented.

    Verfahren zur Behandlung einer Halbleiterschicht

    公开(公告)号:DE102013109202A1

    公开(公告)日:2014-03-06

    申请号:DE102013109202

    申请日:2013-08-26

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: Es werden Verfahren zur Behandlung einer Halbleiterschicht, die ein Halbleitermaterial beinhaltet, vorgelegt. Ein Verfahren beinhaltet das Inkontaktbringen zumindest eines Teils des Halbleitermaterials mit einem Passivierungsmittel. Das Verfahren beinhaltet ferner das Ausbilden einer ersten Region in der Halbleiterschicht durch Einführen eines Dotierungsmittels in das Halbleitermaterial; und das Ausbilden einer chalkogenreichen Region. Das Verfahren beinhaltet ferner das Ausbilden einer zweiten Region in der Halbleiterschicht, wobei die zweite Region ein Dotierungsmittel aufweist, wobei die durchschnittliche Atomkonzentration des Dotierungsmittels in der zweiten Region größer ist als eine durchschnittliche Atomkonzentration des Dotierungsmittels in der ersten Region. Es werden außerdem photovoltaische Vorrichtungen vorgelegt.

    PHOTOVOLTAIC DEVICES
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:AU2013216698A1

    公开(公告)日:2014-03-20

    申请号:AU2013216698

    申请日:2013-08-19

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: Photovoltaic devices are presented. A photovoltaic device includes a window layer and a semiconductor layer including a semiconductor material disposed on window layer. The semiconductor layer includes a first region and a second region, the first region disposed proximate to the window layer, and the second region including a chalcogen-rich region, wherein the first region and the second region include a dopant, and an average atomic concentration of the dopant in the second region is greater than an average atomic concentration of the dopant in the first region. Forming a chalcogen-rich region by contacting at least a portion of the semiconductor material with a chemical agent, 31 wherein the chemical agent comprises iodine Introducing a dopant into the chalcogen-rich region ~32 Contacting at least a portion of the semiconductor material 41 with a chemical agent, wherein the chemical agent comprises iodine Contacting at least a portion of the 42 semiconductor material with copper

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