公开(公告)号：DE102019108116A1

公开(公告)日：2019-10-02

申请号：DE102019108116

申请日：2019-03-28

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： SUZUKI MASATO ,  TOMIMATSU SATOSHI ,  SATO MAKOTO ,  ASAHATA TATSUYA

IPC: G01N1/28

Abstract: Um einen Betrieb des Isolierens eines Probenstücks, welches durch Bearbeiten einer Probe mit einem Ionenstrahl gebildet wird, und des Überführens des Probenstücks zu einem Probenstückhalter automatisch zu wiederholen, umfasst eine Vorrichtung mit geladenem Partikelstrahl einen Computer, welcher dafür ausgelegt ist, eine Steuerung durchzuführen, so dass ohne Drehen einer Nadel, mit welcher das Probenstück an dem Probenstückhalter befestigt ist eine auf der Nadel abgelagerte Ablagerungsschicht mit einem geladenen Partikelstrahl aus einem optischen Bestrahlungssystem für geladenen Partikelstrahl bestrahlt wird.

公开(公告)号：EP3163283A4

公开(公告)日：2018-02-21

申请号：EP15815501

申请日：2015-06-29

Applicant: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORP

Inventor： UEMOTO ATSUSHI ,  ASAHATA TATSUYA ,  SATO MAKOTO ,  YAMAMOTO YO

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

CPC classification number: G01N1/44 ,  G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

Abstract: A charged particle beam device (10a) includes a computer (21) which controls multiple charged particle beam irradiation optical systems, the needle (18), and a gas supply portion (17) to transfer a sample piece Q to a predetermined position of the sample piece holder P, based on at least images of a sample piece holder (P), a needle (18), and the sample piece (Q) previously acquired by multiple charged particle beams.

公开(公告)号：DE102020211737A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：DE102020211737

申请日：2020-09-18

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： ASO TAKUMA ,  MAN XIN ,  SATO MAKOTO ,  ASAHATA TATSUYA

IPC: G01N23/22 ,  H01J37/30

Abstract: Bereitgestellt wird ein Bestrahlungsgerät mit Ladungsteilchenstrahl, mit welchem die Zeit, welche erforderlich ist, um eine Substanz oder Struktur jeder einer in einer mehrschichtigen Probe enthaltenen Vielzahl von Beobachtungszielschichten zu beobachten, reduziert werden kann. Das Bestrahlungsgerät mit Ladungsteilchenstrahl umfasst: eine fokussierte Ionenstrahlsäule, welche dafür ausgelegt ist, um eine mehrschichtige Probe mit einem fokussierten Ionenstrahl zu bestrahlen; eine Elektronenstrahlsäule, welche dafür ausgelegt ist, um die mehrschichtige Probe mit einem Elektronenstrahl zu bestrahlen; einen Elektronendetektor, welcher dafür ausgelegt ist, um von der mehrschichtigen Probe erzeugte sekundäre Elektronen oder Reflexionselektronen zu erfassen; eine Bilderzeugungseinheit, welche dafür ausgelegt ist, um ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines von dem Elektronendetektor ausgegebenen Signals zu bilden; und eine Steuereinheit, welche dafür ausgelegt ist, um wiederholt eine Freilegungssteuerung durchzuführen, bei welcher die fokussierte Ionenstrahlsäule gesteuert wird, um eine Schnittfläche der mehrschichtigen Probe in Richtung einer Stapelrichtung mit dem fokussierten Ionenstrahl freizulegen, wobei die Steuereinheit dafür ausgelegt ist, um jedes Mal, wenn eine Freilegung einer Beobachtungszielschicht an einer Schnittfläche der mehrschichtigen Probe bei einem Vorgang von wiederholtem Durchführen der Freilegungssteuerung erfasst wird, eine

公开(公告)号：DE102020211688A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：DE102020211688

申请日：2020-09-17

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： ASO TAKUMA ,  MAN XIN ,  SATO MAKOTO ,  ASAHATA TATSUYA

IPC: G01N23/2206 ,  H01J37/26

Abstract: Vorgesehen ist eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung, mit der auch bei Beobachtungen mit mehreren Erfassern eine Zeitspanne verkürzt werden kann, die für Helligkeitseinstellungen der mehreren Erfasser benötigt wird. Die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung umfasst: eine Bestrahlungseinheit, eine erste Erfassungseinheit; eine zweite Erfassungseinheit; eine Bilderzeugungseinheit; und eine Steuereinheit, die konfiguriert ist, um eine Helligkeit eines ersten Bereichs in einem gebildeten ersten Beobachtungsbild zu berechnen und eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durchzuführen, wenn die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit verschieden ist, und um eine Helligkeit eines zweiten Bereichs in dem gebildeten zweiten Beobachtungsbild zu berechnen und eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer zweiten Zielhelligkeit als eine zweite Helligkeitseinstellung durchzuführen, wenn die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit verschieden ist.

公开(公告)号：DE102018128718A1

公开(公告)日：2019-05-23

申请号：DE102018128718

申请日：2018-11-15

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： TOMIMATSU SATOSHI ,  ASAHATA TATSUYA ,  SATO MAKOTO ,  SUZUKI MASATO

IPC: H01J37/20

Abstract: (Aufgabe) Einen Vorgang der Entnahme eines Probenstücks, das geformt wird, indem eine Probe mit einem lonenstrahl bearbeitet wird, und des Übertragens des entnommenen Probenstücks auf einen Probenstückhalter wiederholt durchzuführen.(Mittel zum Lösen der Aufgabe) Eine Vorrichtung zum Aussenden eines Strahls geladener Teilchen umfasst einen Computer, der, nachdem eine Nadel das Probenstück hält, einen Formungsbearbeitungsbereich einstellt, der in einer Dickenrichtung des Probenstücks, die einer Tiefenrichtung zu dem Zeitpunkt des Bearbeitens eines Probenstücks entspricht, einen unteren Abschnitt des Probenstücks umfasst, und ein optisches FIB-Bestrahlungssystem steuert, um den Formungsbearbeitungsbereich mit einem fokussierten lonenstrahl zu bestrahlen, um hierdurch das Probenstück zu formen.

公开(公告)号：DE102018101147A1

公开(公告)日：2018-07-19

申请号：DE102018101147

申请日：2018-01-19

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： TOMIMATSU SATOSHI ,  SATO MAKOTO ,  SUZUKI MASATO

IPC: H01J37/20

Abstract: Es wird eine Vorrichtung zum Aussenden eines Strahls geladener Teilchen zum automatischen Vorbereiten eines Probenstücks von einer Probe offenbart. Die Vorrichtung enthält ein Einstrahlungsoptiksystem eines Strahls geladener Teilchen, das dafür konfiguriert ist, ein Objekt mit einem Strahl geladener Teilchen zu bestrahlen, einen Tisch, der dafür konfiguriert ist, sich mit der darauf platzierten Probe zu bewegen, eine Probenstück-Transfervorrichtung, die dafür konfiguriert ist, das von der Probe getrennte und entnommene Probenstück zu halten und zu transportieren, eine Halterbefestigungs-Grundplatte, die dafür konfiguriert ist, einen Probenstückhalter, mit dem das Probenstück umgesetzt werden soll, zu halten, einen elektrischen Leitfähigkeitssensor, der dafür konfiguriert ist, elektrische Leitung zwischen der Probenstück-Transfervorrichtung und einem Objekt zu detektieren, und einen Computer, der dafür konfiguriert ist, eine Zeitmanagementbetriebsart einzustellen, wenn keine elektrische Leitung zwischen der Probenstück-Transfervorrichtung und dem Probenstück detektiert wird, wenn die Probenstück-Transfervorrichtung und das Probenstück miteinander verbunden sind.

公开(公告)号：DE102013102666A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：DE102013102666

申请日：2013-03-15

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： SATO MAKOTO ,  ASAHATA TATSUYA ,  SUZUKI HIDEKAZU

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/305

Abstract: Es ist eine Querschnitts-Verarbeitungs- und Beobachtungs-Einrichtung bereitgestellt, welche einen Steuerabschnitt zum wiederholten Ausführen eines Prozesses enthält, welcher eine Schneide-Verarbeitung durch einen Ionenstrahl, und ein Erlangen von einem SIM-Bild durch ein Sekundär-Elektron, welches von einem Querschnitt, welcher durch die Schneide-Verarbeitung ausgebildet ist, emittiert ist, umfasst, in welcher der Steuerabschnitt ein Beobachtungsbild in eine Mehrzahl von Bereichen unterteilt und den Prozess abschließt, wenn eine Änderung zwischen einem Bild in einem Bereich der Mehrzahl von Bereichen und einem Bild in einem Bereich, welcher dem einen Bereich entspricht, von einem Beobachtungsbild eines weiteren Querschnitts, welcher durch den Prozess erlangt ist, aufgetreten ist.

公开(公告)号：EP3163283A1

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP15815501

申请日：2015-06-29

Applicant: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORP

Inventor： UEMOTO ATSUSHI ,  ASAHATA TATSUYA ,  SATO MAKOTO ,  YAMAMOTO YO

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

CPC classification number: G01N1/44 ,  G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

Abstract: A charged particle beam device (10a) includes a computer (21) which controls multiple charged particle beam irradiation optical systems, the needle (18), and a gas supply portion (17) to transfer a sample piece Q to a predetermined position of the sample piece holder P, based on at least images of a sample piece holder (P), a needle (18), and the sample piece (Q) previously acquired by multiple charged particle beams.

Abstract translation: 本发明的带电粒子束装置（10a）具备控制多个带电粒子束照射光学系统的计算机（21），针（18）和气体供给部（17），将样本片Q移送到 样品片保持器P，至少基于由多个带电粒子束预先获得的样品片保持器（P），针（18）和样品片（Q）的图像。

公开(公告)号：DE102018101154A1

公开(公告)日：2018-07-19

申请号：DE102018101154

申请日：2018-01-19

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： SUZUKI MASATO ,  TOMIMATSU SATOSHI ,  SATO MAKOTO

IPC: H01J37/20

Abstract: Es wird eine Vorrichtung zum Aussenden eines Strahls geladener Teilchen zum automatischen Vorbereiten eines Probenstücks von einer Probe offenbart. Die Vorrichtung enthält ein Einstrahlungsoptiksystem eines Strahls geladener Teilchen, das einen Strahl geladener Teilchen einstrahlt; einen Probentisch, der sich mit der darauf platzierten Probe bewegt; eine Probenstück-Transfervorrichtung, die das von der Probe getrennte und entnommene Probenstück hält und transportiert; eine Halterbefestigungs-Grundplatte, die einen Probenstückhalter, zu dem das Probenstück umgesetzt werden soll, hält; und einen Computer, der eine Steuerung zum Zerstören des durch die Probenstück-Transfervorrichtung gehaltenen Probenstücks ausführt, wenn eine Anomalie auftritt, nachdem die Probenstück-Transfervorrichtung das Probenstück hält.

公开(公告)号：JP2013200987A

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：JP2012068022

申请日：2012-03-23

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： SATO MAKOTO ,  ASAHATA TATSUYA ,  SUZUKI HIDEKAZU

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/30466

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an automatic cross-section processing and observation apparatus which finishes cross-section processing and observation when a desired observation target is exposed in a cross-section.SOLUTION: The cross-section processing and observation apparatus includes a control portion 11 for repeatedly executing a process including slice processing by an ion beam 9 and acquisition of a SIM image by secondary electrons emitted from a cross-section formed by the processing. The control portion 11 divides an observation image into a plurality of areas, and finishes the process when a change has occurred between an image in one area of the plurality of areas and an image in an area, which corresponds to the one area, of an observation image of another cross-section acquired by the process.

Abstract translation: 要解决的问题：实现当期望的观察目标在横截面中暴露时完成横截面处理和观察的自动横截面处理和观察装置。解决方案：横截面处理和观察装置包括控制 用于重复执行包括离子束9的切片处理和通过由该处理形成的横截面发射的二次电子获取SIM图像的处理的部分11。 控制部分11将观察图像划分成多个区域，并且当在多个区域中的一个区域中的图像与对应于一个区域的区域中的图像之间发生改变时完成处理 通过该过程获得的另一横截面的观察图像。