公开(公告)号：CA2094407A1

公开(公告)日：1994-02-05

申请号：CA2094407

申请日：1993-04-20

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESHWER R ,  BAHAT ANILKUMAR C ,  KEESLER ROSS W ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  SINCLAIR TERRY D ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  B01D1/00

公开(公告)号：BR9302987A

公开(公告)日：1994-03-01

申请号：BR9302987

申请日：1993-07-26

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESHWER R ,  BHATT ANIKUMAR C ,  KEESLER ROSS W ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  C07C69/96