公开(公告)号：DE69329537T2

公开(公告)日：2001-06-07

申请号：DE69329537

申请日：1993-07-30

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESCHWER R ,  KEESLER ROSS W ,  SINCLAIR TERRY D ,  BHATT ANILKUMAR C ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：ES2151501T3

公开(公告)日：2001-01-01

申请号：ES93480108

申请日：1993-07-30

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESCHWER R ,  KEESLER ROSS W ,  SINCLAIR TERRY D ,  BHATT ANILKUMAR C ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：DE69329537D1

公开(公告)日：2000-11-16

申请号：DE69329537

申请日：1993-07-30

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESCHWER R ,  KEESLER ROSS W ,  SINCLAIR TERRY D ,  BHATT ANILKUMAR C ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：AT196902T

公开(公告)日：2000-10-15

申请号：AT93480108

申请日：1993-07-30

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESCHWER R ,  KEESLER ROSS W ,  SINCLAIR TERRY D ,  BHATT ANILKUMAR C ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：CA2094407A1

公开(公告)日：1994-02-05

申请号：CA2094407

申请日：1993-04-20

Applicant: IBM

Inventor： BANTU NAGESHWER R ,  BAHAT ANILKUMAR C ,  KEESLER ROSS W ,  PAPATHOMAS KONSTANTINOS ,  SINCLAIR TERRY D ,  WAGNER JEROME J

IPC: B01D3/00 ,  C07D317/36 ,  G03F7/30 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  B01D1/00